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公开(公告)号：CN102723839A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210170631.9
申请日：2012-05-28
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供一种电磁式能量采集器，包括由柔性结构层形成的腔体，以及封装于所述腔体内的永磁体块；所述柔性结构层包括柔性基底，以及位于所述柔性基底上的平面线圈和永磁体阵列。所述永磁体阵列采用电镀方法制备，所述腔体优选采用折叠方式形成。本发明的能量采集器与IC工艺相兼容，可适用于需要器件变形的特殊环境；采用生物兼容性柔性材料作为柔性基底时，可以适合生物体应用，如内置生物传感器、生物医药监控和生物活体探测等。
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公开(公告)号：CN101577174B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200910080540.4
申请日：2009-03-20
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种静电驱动导体薄膜的MEMS可调电感及制备方法。本发明采用体硅和表面微机械加工技术相结合的三维微机械加工方法，利用体硅微机械加工技术的方法刻蚀硅片V型槽，在V型槽内制作静电驱动的固定极板，利用表面微机械加工技术的方法制备可调电感的静电驱动的可动导体薄膜(包括“蟹脚”状悬臂梁和导体薄膜平板)和平面螺旋线圈。本发明采用静电驱动可动导体薄膜，对微电感的电感量进行连续可调，可调范围大。可调电感器件尺寸小、加工工艺与IC工艺相兼容，易于封装，适于大规模生产，在无线通讯领域有广泛应用价值。
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公开(公告)号：CN102868318B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201210326051.4
申请日：2012-09-05
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供一种基于PVDF的微型复合式能量采集器及制备方法，利用柔性聚合物压电材料PVDF制备成悬臂梁结构，通过PVDF压电悬臂梁发生谐振，利用压电效应将振动能转化为电能；同时，与之固接的包含磁性纳米颗粒的PDMS质量块随着PVDF压电悬臂梁的振动也一起振动，使穿过电镀在基底上的平面螺旋线圈的磁通量发生变化，产生感应电动势，从而在外加负载上输出功率。本发明的复合式能量采集器采用聚合物压电材料PVDF来代替传统压电材料PZT，并通过压电式和电磁式两种方式进行能量采集，使得能量采集器的输出功率及效率可以显著提高，并且与生物兼容。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101515746A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200910080541.9
申请日：2009-03-20
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种微机电系统(MEMS)电磁式能量采集器及制备方法，它采用体硅和表面微机械加工技术相结合的三维微机械加工方法，利用体硅微机械加工技术的方法刻蚀硅片V型槽，在V型槽内电镀能量采集器的永磁体(阵列)，利用表面微机械加工技术的方法制备能量采集器的振动膜(“蟹脚”状悬臂梁和振动平板)和平面螺旋线圈。本发明的电磁式能量采集器采用电镀法制备永磁体(阵列)，来代替传统能量采集器的永磁体的微装配或者粘连手段，使得能量采集器及制备可以与IC工艺相兼容。
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公开(公告)号：CN102723839B
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201210170631.9
申请日：2012-05-28
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供一种电磁式能量采集器，包括由柔性结构层形成的腔体，以及封装于所述腔体内的永磁体块；所述柔性结构层包括柔性基底，以及位于所述柔性基底上的平面线圈和永磁体阵列。所述永磁体阵列采用电镀方法制备，所述腔体优选采用折叠方式形成。本发明的能量采集器与IC工艺相兼容，可适用于需要器件变形的特殊环境；采用生物兼容性柔性材料作为柔性基底时，可以适合生物体应用，如内置生物传感器、生物医药监控和生物活体探测等。
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公开(公告)号：CN102868318A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210326051.4
申请日：2012-09-05
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供一种基于PVDF的微型复合式能量采集器及制备方法，利用柔性聚合物压电材料PVDF制备成悬臂梁结构，通过PVDF压电悬臂梁发生谐振，利用压电效应将振动能转化为电能；同时，与之固接的包含磁性纳米颗粒的PDMS质量块随着PVDF压电悬臂梁的振动也一起振动，使穿过电镀在基底上的平面螺旋线圈的磁通量发生变化，产生感应电动势，从而在外加负载上输出功率。本发明的复合式能量采集器采用聚合物压电材料PVDF来代替传统压电材料PZT，并通过压电式和电磁式两种方式进行能量采集，使得能量采集器的输出功率及效率可以显著提高，并且与生物兼容。
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公开(公告)号：CN101515746B
公开(公告)日：2011-03-02
申请号：CN200910080541.9
申请日：2009-03-20
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种微机电系统(MEMS)电磁式能量采集器及制备方法，它采用体硅和表面微机械加工技术相结合的三维微机械加工方法，利用体硅微机械加工技术的方法刻蚀硅片V型槽，在V型槽内电镀能量采集器的永磁体(阵列)，利用表面微机械加工技术的方法制备能量采集器的振动膜(“蟹脚”状悬臂梁和振动平板)和平面螺旋线圈。本发明的电磁式能量采集器采用电镀法制备永磁体(阵列)，来代替传统能量采集器的永磁体的微装配或者粘连手段，使得能量采集器及制备可以与IC工艺相兼容。
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公开(公告)号：CN101577174A
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200910080540.4
申请日：2009-03-20
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种静电驱动导体薄膜的MEMS可调电感及制备方法。本发明采用体硅和表面微机械加工技术相结合的三维微机械加工方法，利用体硅微机械加工技术的方法刻蚀硅片V型槽，在V型槽内制作静电驱动的固定极板，利用表面微机械加工技术的方法制备可调电感的静电驱动的可动导体薄膜(包括“蟹脚”状悬臂梁和导体薄膜平板)和平面螺旋线圈。本发明采用静电驱动可动导体薄膜，对微电感的电感量进行连续可调，可调范围大。可调电感器件尺寸小、加工工艺与IC工艺相兼容，易于封装，适于大规模生产，在无线通讯领域有广泛应用价值。
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