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公开(公告)号：CN102963863B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201210532035.0
申请日：2012-12-11
Applicant: 北京大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种亲疏水性可调谐柔性碳化硅薄膜制备方法，采用优化深反应离子刻蚀(DRIE)工艺，无需掩膜实现高密度纳米碳化硅球状阵列，极大增大表面面积体积比；同时由于优化DRIE工艺中钝化步骤在表面淀积的氟碳聚合物，极大降低表面能，则所制备碳化硅材料具有超疏水特性，静态接触角CA>160°；再通过强碱性溶液腐蚀去除硅基底，则能够实现柔性碳化硅薄膜；且由于强碱性溶液腐蚀去除表面聚合物钝化层，形成裸露高密度碳化硅尖端阵列，则所制备柔性碳化硅薄膜具有超亲水特性，静态接触角CA
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公开(公告)号：CN102586890A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210074956.7
申请日：2012-03-20
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种用于黑硅制备的设备，包括反应室(100)、气体流量控制装置(110)、压强调控装置(140)、冷却装置(150)线圈功率源组件、平板功率源组件，其特性在于：所述反应室(100)上方设置石英盖(101)，所述反应室(100)下部安装有用于放置待加工硅片样品的支撑台(102)；所述气体流量控制装置(110)，包括不少于两条用于通工作气体的气路(111)，所述压强调控装置(140)，包括：出气口(141)、机械泵(142)、分子泵(143)；所述冷却装置(150)直接连接到所述支撑台(102)。本发明制备高密度、高深宽比的黑硅，且制备效率高、成本低，控制自动化、简单方便。
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公开(公告)号：CN102117850A
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN201010543460.0
申请日：2010-11-12
Applicant: 北京大学
IPC: H01L31/042 , H01L31/0216 , H01L31/18 , B82Y40/00 , C23F1/12
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种微纳复合结构的太阳能电池及其制备方法。其中，该微纳复合结构的太阳能电池的一侧设置有：在硅基衬底上表面制作的掺杂扩散层、在所述掺杂扩散层上腐蚀获取的微米尺度吸光层；以及在所述微米尺度吸光层上刻蚀获得的纳米尺度黑硅减反射层。本发明充分利用了纳米尺度黑硅材料的超宽带低反射率特性，与微米尺度吸光层结构转化效率高、开路电压高等优点相结合，在200nm～3300nm波长范围内实现了＜1％的极低反射率超宽带硅基太阳能电池，在拓展对太阳光谱的吸收范围的前提下，能保持高的转化效率。
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公开(公告)号：CN102923645B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201210489470.X
申请日：2012-11-27
Applicant: 北京大学
Abstract: 一种高密度纳米电极阵列制备方法，在导电性好的金属或半导体基底上，将纳米金属颗粒均匀紧密单层排布，通过高温退火工艺使纳米金属颗粒与基底紧密结合，再利用等离子体处理工艺刻蚀基底，制备实现高密度高深宽比纳米电极阵列结构。本发明可利用常规微加工设备，实现纳米尺度电极阵列结构，无需特殊昂贵的纳米加工设备，降低成本，且工艺兼容性好，可实现大面积晶片级加工。且RIE与DRIE工艺均为产业成熟可靠生产工艺，通过参数调控，可控制基底刻蚀深度，即纳米阵列高度可控，可适用于不同需求下纳米电极阵列的制备。
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公开(公告)号：CN102627256B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201210111788.4
申请日：2012-04-16
Applicant: 北京大学
Abstract: 基于微纳集成加工技术的三维减阻微流道结构及制备方法，涉及微加工技术领域。利用无掩膜优化深反应离子刻蚀(DRIE)工艺，直接在微米尺度沟槽各表面制备实现高密度高深宽比纳米尺度锥尖阵列，增大其表面积和体积比；同时可在其表面淀积一层氟基聚合物，降低表面能，实现具有超疏水特性的表面结构，进而实现真正三维减阻微流道结构。本发明的有益效果：在不破坏原有微米尺度结构的基础上，生长高密度高深宽比纳米尺度锥尖阵列，可实现纳米森林对微米尺度沟槽的100％覆盖，从而实现真正的三维减阻微流道。可以极大地提高其面积体积比，降低表面能，使得微流道表面具有超疏水特性，从而实现优异减阻的效果。工艺简单，成本低廉，易于产业化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103391021A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201310319347.8
申请日：2013-07-26
Applicant: 北京大学
IPC: H02N1/04
Abstract: 本发明涉及一种高性能纳米摩擦发电机的制备方法，所述方法包括步骤1：从已有纳米摩擦发电机中取出易得电子的摩擦材料层；步骤2：对等离子体设备进行初始化和等离子体稳定，以使等离子体辉光放电；步骤3：调控等离子体设备工艺参数，采用八氟环丁烷作为反应气体，对易得电子的摩擦材料层表面进行化学修饰；步骤4：将化学修饰后的易得电子的摩擦材料层装配回纳米摩擦发电机，即得高性能纳米摩擦发电机。本发明提出的一种高性能纳米摩擦发电机的制备方法工艺简单、成本低、产率高、可批量生产，且工艺兼容性优异，不受器件结构、材料等限制，可广泛应用于已有摩擦式纳米发电机，提高其输出性能。
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公开(公告)号：CN103389325A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201310317692.8
申请日：2013-07-26
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种基于纳米摩擦发电机的主动式可视化湿度检测系统，所述系统包括：纳米摩擦发电机、控制电路和显示单元，其中，纳米摩擦发电机的上下电极板通过导线与控制电路和显示单元进行连接。本发明利用纳米摩擦发电机输出特性随环境湿度变化而变化的特性，通过控制电路采集变化的电信号，再通过显示单元进行湿度数值实时可视化显示。综上，本发明提出的一种基于纳米摩擦发电机的主动式可视化湿度检测系统，利用纳米摩擦发电机，既可实现系统自供能，又能实现环境湿度检测，其结构简单、成本低、可批量生产，无需外部供能，在物联网领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN103178744B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201310099750.4
申请日：2013-03-26
Applicant: 北京大学
IPC: H02N1/04
Abstract: 本发明涉及一种基于压电摩擦电磁的复合纳米发电机，在转子外侧相对应位置上设置有一对突起的扣罩式摩擦层。在外壳内侧相对应位置上设置有一对突起的扣罩式压电层。在外壳内侧设置有相对应的一对磁极。本发明将基于压电的能量采集方式的高电量特性，与基于摩擦的能量采集方式的高电压特性，以及基于电磁的能量采集方式的连续高输出特性相结合。本发明在摩擦材料表面制备了微纳米阵列结构，极大地提高了摩擦效率和有效摩擦面积，从而极大地提高了输出。本发明利用转子转动同时实现压电输出、摩擦输出和电磁输出，从而可以轻松地采集风能和水能，提供了一种新型的从大自然采集能量的方式。本发明加工工艺简单，成本低廉，产率高，易于产业化。
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公开(公告)号：CN104065297A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410189091.8
申请日：2014-05-06
Applicant: 北京大学
IPC: H02N1/04
Abstract: 本发明是一种基于现有地板的摩擦发电机，包括普通地板，在地板下方安装有与地板接触在一起的导电电极。地板为现有的木制地板、地板砖或者其他类型地面。导电电极为有较强导电能力的金属如铝、铁、铜、银、金，或为半导体材料。本发明与传统的发电地板相比，不需使用额外的功能材料与器件，仅需在现有地板下面加一导电电极即可构成。本发明制造方法简单、成本低、易于制作、可用性高、生产周期短，而且具有高电压输出和很强的充电能力，可以大批量大面积铺设。本发明可用于安防、智能家居等领域，可作为一种自驱动报警、主动式可动目标活动监测的传感器。
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公开(公告)号：CN104021782A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410189774.3
申请日：2014-05-06
Applicant: 北京大学
Abstract: 一种自驱动无噪音录音键盘乐器，包括键盘、液晶显示屏、r型复合式发电机、整流桥、测量设备、电脑软件。琴键的每一个白键下面对应一个r型复合式发电机，发电机的压电模块输出连接至整流桥，输出连接至液晶显示屏。发电机的摩擦模块输出连接至测量设备；其记录的电信号输出至电脑软件。当按下琴键时，压电模块产生形变，产生电能驱动相应的液晶显示屏，起到指示按键音的作用。当演奏乐曲时，摩擦模块产生形变，测量设备会记录摩擦模块产生的电信号，电脑软件将电信号转化为数字声音，将演奏的音乐转化为数字音乐信息，实现录音的效果。应用本键盘乐器进行录音时，仅录制琴键按下时产生的声音，其它外界声音一概不会被记录，从而实现无噪音录音。
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