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公开(公告)号：CN102723270B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201210187294.4
申请日：2012-06-07
Applicant: 北京大学
IPC: H01L21/311
Abstract: 本发明公开了一种使柔性材料层表面平坦化的方法，所述柔性材料层生长于器件表面，首先根据柔性材料层所覆盖的器件表面的凹凸结构制备硬质模版；然后将该模版置于柔性材料层上，使二者对准、紧密接触并固定，在模版的图形区域柔性材料层上的凸起被露出；接着通过等离子体刻蚀方法刻蚀柔性材料层表面的凸起。该方法能将柔性材料层存在的2微米以上的高度差缩减到1微米以内，实现柔性材料层的表面平坦化。
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公开(公告)号：CN104065297A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410189091.8
申请日：2014-05-06
Applicant: 北京大学
IPC: H02N1/04
Abstract: 本发明是一种基于现有地板的摩擦发电机，包括普通地板，在地板下方安装有与地板接触在一起的导电电极。地板为现有的木制地板、地板砖或者其他类型地面。导电电极为有较强导电能力的金属如铝、铁、铜、银、金，或为半导体材料。本发明与传统的发电地板相比，不需使用额外的功能材料与器件，仅需在现有地板下面加一导电电极即可构成。本发明制造方法简单、成本低、易于制作、可用性高、生产周期短，而且具有高电压输出和很强的充电能力，可以大批量大面积铺设。本发明可用于安防、智能家居等领域，可作为一种自驱动报警、主动式可动目标活动监测的传感器。
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公开(公告)号：CN104022677A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410188905.6
申请日：2014-05-06
Applicant: 北京大学
IPC: H02N1/04
Abstract: 本发明涉及一种基于摩擦起电及静电感应原理，用于收集生物运动能量及监测生物运动的摩擦式发电机，它包括脚底或生物体、贴于人体或生物体上的导电电极、普通地面、地或导体。所述的脚底为人脚底或生物体的脚掌，生物体为人或动物的身体，贴于人体或生物体上任意部位的导电电极作为生物体电极，从其引出导线通过负载与地或导体相连。本发明与传统的能量采集器相比，不需使用额外的功能材料、器件和导电电极，且有相当高的电压输出和很强的充电能力。本发明提出的制造方法简单、成本低、易于制作、可用性高，并且易于与传统电子器件集成。
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公开(公告)号：CN104021782A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410189774.3
申请日：2014-05-06
Applicant: 北京大学
Abstract: 一种自驱动无噪音录音键盘乐器，包括键盘、液晶显示屏、r型复合式发电机、整流桥、测量设备、电脑软件。琴键的每一个白键下面对应一个r型复合式发电机，发电机的压电模块输出连接至整流桥，输出连接至液晶显示屏。发电机的摩擦模块输出连接至测量设备；其记录的电信号输出至电脑软件。当按下琴键时，压电模块产生形变，产生电能驱动相应的液晶显示屏，起到指示按键音的作用。当演奏乐曲时，摩擦模块产生形变，测量设备会记录摩擦模块产生的电信号，电脑软件将电信号转化为数字声音，将演奏的音乐转化为数字音乐信息，实现录音的效果。应用本键盘乐器进行录音时，仅录制琴键按下时产生的声音，其它外界声音一概不会被记录，从而实现无噪音录音。
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公开(公告)号：CN103752357A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201310745589.3
申请日：2013-12-30
Applicant: 北京大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明公开了一种基于摩擦发电机的自驱动数字微流道，由数字微流道和摩擦发电机组成，其中，数字微流道部分由下支撑材料1、下驱动电极2、电介质层3、下疏水层4、液滴5、上疏水层6、上驱动电极7、上支撑材料8组成；摩擦发电机部分由下摩擦电极9、下摩擦材料10、上摩擦材料11、上摩擦电极12组成。本发明的基于摩擦发电机的自驱动数字微流道在无需外加电源的情况下，即可完成传统数字微流道的功能，实现了自驱动，无需特殊的压电材料，易于制备、成本低、可批量生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102995083A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210526589.X
申请日：2012-12-07
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明的目的在于提供一种采用电镀来制备软磁材料铁镍合金阵列的方法，该方法采用特定的电镀液配方达到最优化的合金的比例，从而实现最好的软磁性能。可以在0.15μm的种子层上生长出高度均一的10μm-50μm的薄膜。并且具有工艺简单，易于实现，成本低廉、便于控制实验过程等优点。同时电镀液配方可以自行调整，具有极大的灵活性。在光刻之后进行便于与其他工艺集成化。制作出来的阵列在2000μm*2000μm的单元中，便于测量。通过阵列的制造方法，铁镍合金材料的软磁性能得到了极大的提升。同时纳米磁颗粒的加入也对材料的磁性有较大的提升。
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公开(公告)号：CN102723839A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210170631.9
申请日：2012-05-28
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供一种电磁式能量采集器，包括由柔性结构层形成的腔体，以及封装于所述腔体内的永磁体块；所述柔性结构层包括柔性基底，以及位于所述柔性基底上的平面线圈和永磁体阵列。所述永磁体阵列采用电镀方法制备，所述腔体优选采用折叠方式形成。本发明的能量采集器与IC工艺相兼容，可适用于需要器件变形的特殊环境；采用生物兼容性柔性材料作为柔性基底时，可以适合生物体应用，如内置生物传感器、生物医药监控和生物活体探测等。
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公开(公告)号：CN102117850B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201010543460.0
申请日：2010-11-12
Applicant: 北京大学
IPC: H01L31/042 , H01L31/0216 , H01L31/18 , B82Y40/00 , C23F1/12
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种微纳复合结构的太阳能电池及其制备方法。其中，该微纳复合结构的太阳能电池的一侧设置有：在硅基衬底上表面制作的掺杂扩散层、在所述掺杂扩散层上腐蚀获取的微米尺度吸光层；以及在所述微米尺度吸光层上刻蚀获得的纳米尺度黑硅减反射层。本发明充分利用了纳米尺度黑硅材料的超宽带低反射率特性，与微米尺度吸光层结构转化效率高、开路电压高等优点相结合，在200nm～3300nm波长范围内实现了＜1％的极低反射率超宽带硅基太阳能电池，在拓展对太阳光谱的吸收范围的前提下，能保持高的转化效率。
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公开(公告)号：CN102653390A
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN201210115141.9
申请日：2012-04-18
Applicant: 北京大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种使用混合气体刻蚀制备纳米森林结构的方法。将硅片放入等离子体刻蚀设备反应室后，抽取反应室内气体至本底真空，混合通入刻蚀气体与钝化气体，调节工作压强至预设范围；然后启动射频电源，产生稳定等离子体，使等离子体与硅发生反应，进行刻蚀，形成纳米森林结构。本发明在无需任何纳米掩膜的条件下即可在晶片范围内均匀地制备高密度、高深宽比的纳米森林结构，工艺简单，便于实现，且制备效率高、成本低廉。刻蚀气体和钝化气体在刻蚀过程中混合后连续通入，线圈射频电源和平板射频电源也是以恒定功率连续工作，不需要间歇，过程简单，因而对设备性能的要求和控制的精确度都有很大程度的降低，刻蚀速率也有提高。
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公开(公告)号：CN102583233A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210066386.7
申请日：2012-03-14
Applicant: 北京大学
IPC: B81C3/00
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米森林模板的超亲水聚二甲基硅氧烷薄膜制备方法，包括如下步骤：步骤1：将聚二甲基硅氧烷聚合物本体与聚合物引发剂按照一定的质量比，混合均匀形成聚二甲基硅氧烷预聚体；步骤2：通过压印或铸造的方法，控制温度和时间，将模板表面的纳米森林结构图形转移至聚二甲基硅氧烷表面，形成具有密集纳米阵列结构表面的聚二甲基硅氧烷薄膜；步骤3：控制深反应离子刻蚀设备的工艺参数，利用不同气体组合，对具有纳米阵列结构表面的聚二甲基硅氧烷薄膜进行物理和化学处理。本发明优点效果：利用纳米森林结构表面作为模板，并结合等离子体刻蚀工艺进行表面改性，从而实现接触角小于5°的稳定超亲水聚二甲基硅氧烷膜。
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