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公开(公告)号：CN102576231B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201080047852.6
申请日：2010-12-22
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G05D7/0652 , Y10T137/7784
Abstract: 本发明提供一种质量流量控制器系统，可以高精度地控制质量流量控制器输出的流量。所述质量流量控制器系统存储表示基准气体的流量值与试样气体CF值的对应关系的关系数据，使用规定的CF值将目标流量换算为基准气体流量，根据换算得到的基准气体流量和与该基准气体流量对应的CF值计算出试样气体流量，并将试样气体流量和目标流量进行比较，基于试样气体流量和目标流量之间的误差，使用对应关系更新在基准气体流量换算或试样气体流量计算中使用的CF值。
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公开(公告)号：CN102541103B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201110435861.9
申请日：2011-12-22
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 南雅和
IPC: G05D11/13
Abstract: 本发明提供一种材料气体控制系统，即使在调整阀全开或全关时的材料气体的浓度值或流量值与设定值大致一致的情况下，也可诊断出浓度或流量的控制状态是否异常。材料气体控制系统包括：收容室；导入管，导入运载气体；导出管，导出包含材料气体及运载气体的混合气体；第一调整阀；测定计，测定材料气体的浓度或流量；第一阀控制部，以使测定计所测定出的测定浓度值或测定流量值达到预定的设定值的方式，将开放程度控制信号输出至第一调整阀；压力计，测定收容室内的压力；以及诊断部，当开放程度控制信号的值的时间变化量及压力计所测定出的测定压力值的时间变化量满足规定条件时，诊断出所述材料气体的浓度或流量的控制状态异常。
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公开(公告)号：CN104213100A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410218730.9
申请日：2014-05-22
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 寺阪正训
IPC: C23C16/448
CPC classification number: C23C16/4485 , B01D1/0082 , F17C2270/0518 , F27D2019/0028
Abstract: 本发明提供加热汽化系统和加热汽化方法。所述加热汽化系统(1)具备：容器(2)，通过将材料加热和汽化而生成材料气体；配管(3)，将所述材料气体导出；传感器用流道(3a)，设置在配管(3)上；流量检测部(4a)，具备设置在传感器用流道(3a)上的热式流量传感器(6)，利用所述热式流量传感器(6)测量流过配管(3)的材料气体的流量；流量调节部(4b)，调节流过流量检测部(4a)上游的配管(3)的所述材料气体的流量；以及控制部(4c)，使用流量检测部(4a)的检测结果，控制流量调节部(4b)。
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公开(公告)号：CN104183520A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410036927.0
申请日：2014-01-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: H01L21/67
CPC classification number: B67D7/0266 , B67D7/22 , B67D7/32
Abstract: 本发明提供一种材料供给装置，在更换填充容器时，能安全地更换填充容器而不会给使用者带来巨大负担。所述材料供给装置（1）包括：外容器（3），以将内容器（2）与外部空气隔离的方式收纳内容器（2），该内容器（2）收容材料并且具有用于导出所述材料的导出口（20）；连接接头，用于将供给配管（6b）与导出口（20）连接，供给配管（6b）将材料供给到位于外容器（3）的外侧的规定的装置中；以及接头操作机构（5），能从外容器（3）的外侧在维持与外部空气隔离的状态下操作配置在外容器（3）内的连接接头。
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公开(公告)号：CN103675172A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310389475.X
申请日：2013-08-30
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 佐佐木智启
IPC: G01N30/86
CPC classification number: G01N30/02 , G01N30/32 , G01N30/8658 , G01N30/8693
Abstract: 本发明为气相色谱仪用数据处理装置、数据处理方法。为了以较高的精度计算任意温度下的链烷的调整保留时间，进而能够提高基于已知的保留指数计算的任意温度下的保留指数的计算精度，包含柱入口压力设定部（23），其至少接收第二试样温度，并输出使第二试样温度下的作为不在柱中保留的物质的非保留物质的保留时间的死时间与第一试样温度下的死时间大致相等的第二柱入口压力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101627302B
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN200880006881.0
申请日：2008-04-02
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N27/62
CPC classification number: H01J49/0009 , G01L21/30 , H01J41/02 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: 本发明的气体分析器包含：离子化部(211)，用以离子化试样气体；第1离子检测部(212)及第2离子检测部(213)，夹着所述离子化部(211)而设置，并且离开所述离子化部(211)起算的距离相互不同，以检测来自所述离子化部(211)的离子；过滤器部(214)，设在所述离子化部(211)及所述第1离子检测部(212)之间，选择性地使来自所述离子化部(211)的离子通过；运算装置(3)，利用通过所述第1离子检测部(212)所得的试样气体的第1全压TP1及通过所述第2离子检测部(213)所得的试样气体的第2全压TP2，修正通过所述第1离子检测部(212)所得的由所述过滤器部(214)所选择的特定成分的分压PP1；且在利用四极质谱分析法等的气体分析器中，可维持分辨率，并即使在测定值无法追随周围气体压力变化的区域也可进行修正。
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公开(公告)号：CN102549393B
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201080045528.0
申请日：2010-09-17
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G01F1/36 , G01F1/88 , G05D7/0635 , Y10T137/7759
Abstract: 本发明提供流量测量机构、质量流量控制器以及压力传感器。所述流量测量机构包括：主体单元，具有被测量的对象流体流动的内部流路；以及压力传感器，安装在所述主体单元上，对内部流路的压力进行检测，所述流量测量机构能够基于所述压力传感器检测到的流体压力算出所述流体的流量，所述主体单元具有长边方向，并且将部件安装面设定为与所述长边方向平行的面，以感压面与所述部件安装面大致垂直且与所述长边方向大致平行的方式，将所述压力传感器安装在所述部件安装面上。由此不会导致压力测量的灵敏度降低，并且与以往相比较，可以显著地减小宽度方向尺寸。
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公开(公告)号：CN103185771A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201210576137.2
申请日：2012-12-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N33/00 , C23C16/448 , C23C16/52
Abstract: 本发明提供一种样品液体气化系统、诊断系统及诊断方法，无需准备基准气体及流入基准气体的专用配管与时序，便可进行气体浓度计等是否异常的判断。在样品液体气化装置内的气体浓度计的诊断系统中，样品液体气化装置包括：样品液体槽；气体导出管，将通过样品液体槽气化而成的气体导出至外部；气体浓度计，设置于气体导出管，且测定气体浓度测定值；诊断系统包括：气体浓度计算部，根据由测定样品液体槽内的温度的温度计获得的温度及由测定样品液体槽内的压力的压力计获得的压力，算出样品液体槽内经气化的气体浓度计算值；状态判断部，将由气体浓度计算部算出的气体浓度计算值及由气体浓度计获得的气体浓度测定值作为参数，判断气体浓度计的异常。
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公开(公告)号：CN101903840B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200880121724.4
申请日：2008-12-16
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 安田忠弘
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D11/132 , Y10T137/2521 , Y10T137/2524 , Y10T137/2529 , Y10T137/7762
Abstract: 本发明的目的在于提供一种流量比率控制装置，其无须多个种类的设备，能够减少部件种类的数量，降低成本。本发明的流量比率控制装置具备相同的差压式流量控制装置(MFC1，MFC2)以及把指令赋予所述流量控制装置(MFC1，MFC2)并对其进行控制的控制处理装置(C)，在从主流道(ML)的终端开始分支的分支流道(BL1，BL2)上，以相互反向的方式设置所述流量控制装置(MFC1，MFC2)，让设置在其中一条分支流道(BL1)上的流量控制装置(MFC1)动作，使得其检测压力成为预定的目标压力，另一方面，对设置在另一条分支流道(BL2)上的流量控制装置(MFC2)而言，根据测定流量的总量与预先设定的流量比率，设定应该流过该流量控制装置(MFC2)的目标流量，并让该流量控制装置(MFC2)动作，使得流过该流量控制装置(MFC2)的流量成为所述目标流量。
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公开(公告)号：CN102644787A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210033527.5
申请日：2012-02-15
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: F16K31/02
CPC classification number: G05D7/0635
Abstract: 本发明提供流体控制装置和压力控制装置，即使阀控制器采用了数字控制，也能实现与以往的使用模拟控制的情况相近的响应性。流体控制装置(100)包括：流体控制阀(2)，设置在流体流过的流道(5)上；流体测量部(1)、(3)，测量与所述流体相关的物理量；以及阀控制器(4)，根据由所述流体测量部(1)测量的物理量的测量值与预先设定的设定值的偏差，通过数字控制控制所述流体控制阀(2)的开度，所述阀控制器(4)包括：操作量计算部(41)，对输入的值进行规定的计算并输出与所述流体控制阀(2)的开度的操作量相关的值；以及相位补偿部(42)，输出通过速度型数字计算对输入的值补偿相位延迟后得到的值。
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