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公开(公告)号：CN101627302B
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN200880006881.0
申请日：2008-04-02
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N27/62
CPC classification number: H01J49/0009 , G01L21/30 , H01J41/02 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: 本发明的气体分析器包含：离子化部(211)，用以离子化试样气体；第1离子检测部(212)及第2离子检测部(213)，夹着所述离子化部(211)而设置，并且离开所述离子化部(211)起算的距离相互不同，以检测来自所述离子化部(211)的离子；过滤器部(214)，设在所述离子化部(211)及所述第1离子检测部(212)之间，选择性地使来自所述离子化部(211)的离子通过；运算装置(3)，利用通过所述第1离子检测部(212)所得的试样气体的第1全压TP1及通过所述第2离子检测部(213)所得的试样气体的第2全压TP2，修正通过所述第1离子检测部(212)所得的由所述过滤器部(214)所选择的特定成分的分压PP1；且在利用四极质谱分析法等的气体分析器中，可维持分辨率，并即使在测定值无法追随周围气体压力变化的区域也可进行修正。
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公开(公告)号：CN101627302A
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200880006881.0
申请日：2008-04-02
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N27/62
CPC classification number: H01J49/0009 , G01L21/30 , H01J41/02 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: 本发明的气体分析器包含：离子化部(211)，用以离子化试样气体；第1离子检测部(212)及第2离子检测部(213)，夹着所述离子化部(211)而设置，并且离开所述离子化部(211)起算的距离相互不同，以检测来自所述离子化部(211)的离子；过滤器部(214)，设在所述离子化部(211)及所述第1离子检测部(212)之间，选择性地使来自所述离子化部(211)的离子通过；运算装置(3)，利用通过所述第1离子检测部(212)所得的试样气体的第1全压TP 1 及通过所述第2离子检测部(213)所得的试样气体的第2全压TP 2 ，修正通过所述第1离子检测部(212)所得的由所述过滤器部(214)所选择的特定成分的分压PP 1 ；且在利用四极质谱分析法等的气体分析器中，可维持分辨率，并即使在测定值无法追随周围气体压力变化的区域也可进行修正。
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公开(公告)号：CN101680856A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880015797.5
申请日：2008-04-14
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: G01N27/62 , G01L21/30 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: 该质谱分析单元是包括对被测量气体的各质荷比的离子电流值进行检测并测量分压的质谱分析部的质谱分析单元，其进一步包括：控制部，预先保持使该质谱分析单元的特定部位的功能降低的特定气体的质荷比的记录；在通过所述质谱分析部检测出的所述特定气体的质荷比的离子电流值为规定值以上时，所述控制部输出表示所述特定部位功能降低的警告信号。
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公开(公告)号：CN101180531A
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：CN200680017655.3
申请日：2006-05-17
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明涉及一种安装在腔室的壁部，对在该腔室内存在的分析对象气体进行分析的质量分析装置，其特征在于，该装置包括：测定部，向所述腔室安装时插入所述腔室内，测定所述分析对象气体中气体成分的每一质荷比的分压；操作部，向所述腔室安装时位于所述壁部的外侧，操作所述测定部；和显示部，向所述腔室安装时位于所述壁部的外侧，显示所述测定部的测定结果，所述测定部、所述操作部和所述显示部相互靠近配设。
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