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公开(公告)号：CN202631568U
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201220275151.4
申请日：2012-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01Q60/24
Abstract: 本实用新型公开了一种显微监控型可选区原子力显微成像装置。采用将光学显微监控与原子力显微镜（AFM）显微成像相结合以及将AFM扫描器与二维步进微动台相结合的方法，实现AFM扫描区域的显微监控及可选区AFM成像。它具有由激光器、半透半反棱镜、微探针、位置敏感元件、样品、样品台、扫描器、显微物镜、CCD、二维步进微动台等组成的AFM探头，以及由前置放大器、XY扫描与Z反馈控制单元、XYZ高压放大模块、步进控制模块、视频采集模块、计算机及硬件接口等组成的AFM成像与控制系统。本实用新型的优点是：实现微纳米样品扫描区域的实时监控与选区，可监控光路的调节与对准以及样品与微探针的逼近过程，克服了常规AFM技术在这些方面的随机性、盲目性和局限性。
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公开(公告)号：CN202599978U
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201220275149.7
申请日：2012-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01Q60/24
Abstract: 本实用新型公开了一种三扫描器原子力显微扫描检测装置。采用样品扫描和探针扫描相结合的检测方法，同时实现轻小型样品和较大较重样品的高精度微纳米检测。它具有由探针扫描与光电检测单元、样品扫描单元及二维步进扫描单元等组成的三扫描器原子力显微探测头，以及由前置放大器、PID反馈单元、XYZ控制模块一、XYZ控制模块二、步进控制模块、计算机与接口等组成的扫描与反馈控制系统。本实用新型的优点是：提供三种探针和样品扫描方式，保持纳米级扫描精度，对不同尺寸、不同重量的样品实现1~100μm范围的单幅图像扫描、0.1~1mm范围的图像拼接，克服了常规AFM的局限性，为实现各种尺寸与重量的微纳米样品的高精度、大范围、多扫描方式微纳米扫描成像提供新途径。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN202285373U
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201120372294.2
申请日：2011-09-28
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本实用新型公开了一种激光诱导表面波马达。由脉冲激光、压电晶片定子、基底、聚焦透镜、配重块、第二动子、不锈钢微珠、导向杆、第一固定块、第二固定块构成直线型马达。由包括脉冲激光、聚焦透镜、固定轴、透明有机玻璃转子、环形压电晶片定子、微沟槽、周边开孔转子构成旋转型马达。本实用新型的激光诱导表面波马达实现了真正意义上的激光直接驱动新方法，具有结构简洁、速度快、步距小、推动力(矩)大、无需叉指电极、无需导线连接、不受电磁干扰、可实现非接触控制和遥控、马达主体可微小化等优点。
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公开(公告)号：CN202008492U
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN201120018378.6
申请日：2011-01-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本实用新型公开了一种光学显微－原子力显微双探头成像装置。它包括原子力显微探头、光学显微探头、第一滑动块、第二滑动块、光学平台、Y向步进电控平移台、样品台、待测样品、第一固定块、第2固定块、第一支撑柱、第二支撑柱、支撑梁、X向步进电控平移台；原子力显微探头和光学显微探头分别固定在第一滑动块和第二滑动块上，然后安装在X向步进电控平移台上，X向步进电控平移台固定在支撑梁上，光学平台上依次安装有Y向步进电控平移台和样品台，以及由第一固定块、第2固定块、第一支撑柱、第二支撑柱、支撑梁构成的支撑架。本实用新型可以同时解决大范围的实时光学显微观察和局部的高分辨纳米结构和性能的观察和测量。
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公开(公告)号：CN201429627Y
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200920124491.5
申请日：2009-07-13
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本实用新型公开了一种大样品大范围高分辨原子力显微检测装置。采用压电陶瓷探头扫描和步进电机大范围移动相结合的方法，同时设计了开放式的样品台，实现大型超精密工件的微纳米检测。它具有激光器、光路跟踪透镜、压电陶瓷、微悬臂探针及光电探测元件组成的大范围高分辨扫描探头系统和对大尺寸样品进行大范围移动的X、Y向步进电控平移台以及光学平台、扫描成像及反馈控制系统。本实用新型的优点是克服了常规AFM仅适用于小样品的小范围检测的局限性，设计了简单实用的透镜系统解决探针大范围扫描时的光路跟踪问题，采用开放式的样品台和二维步进电机，可对大型超精密工件样品，在保持AFM的超高分辨率下实现任意区域大范围扫描检测。
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公开(公告)号：CN2934204Y
公开(公告)日：2007-08-15
申请号：CN200620103468.4
申请日：2006-05-11
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本实用新型公开了一种三维微结构制备成型系统。三维微结构制备成型系统具有相连接的计算机、D/A接口、低压放大器、高压放大器、微结构加工核心单元，激光器、电源及控制电路。微结构加工核心单元，激光器具有透明有机玻璃平台，液体容器，热塑性材料，液体进口，液体出口，蒸馏水，XY移动平台。本实用新型可对各种热塑性材料制备微点阵、微柱阵、微线阵、微光学元件、微机械元件、微流体学元件等三维微结构，制备的结构线宽在1～100um量级内可调、纵横比可控(最大6∶1)。可望在微光学技术、微机械、微电子技术、MOEMS及微纳米技术等领域得到广泛应用。
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公开(公告)号：CN2617003Y
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：CN03230262.2
申请日：2003-04-09
Applicant: 浙江大学
CPC classification number: G01Q60/38
Abstract: 本实用新型公开了一种卧式原子力显微镜探头。它具有XYZ压电陶瓷及样品台组成的扫描与反馈控制器和由微悬臂探针、激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统。本实用新型的优点是结构简捷，技术条件易于实现。由于采用了卧式结构，使原子力方向与微悬臂的重力方向相互垂直，从而有效地避免了重力对原子力的影响，提高了原子力的作用效率和精度。因此，本实用新型除了原理新颖，结构简洁，易于操作等特点外，更主要的是克服了立式原子力显微镜探头的局限性。因此可获得更好的纳米检测与成像性能。广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
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