公开(公告)号：CN102735878B

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：CN201210209374.5

申请日：2012-06-25

Applicant: 浙江大学

Inventor： 章海军 ,  李甸 ,  张冬仙 ,  王淑莹

IPC: G01Q60/06

Abstract: 本发明公开了一种基于微悬臂与微球组合探针的超分辨显微成像方法及系统。它具有由微悬臂与微球组合探针、压电陶瓷、激光器、半透半反棱镜、位置敏感元件、步进移动台、物镜、CCD等组成的超分辨显微成像装置，以及由电流电压转换器、反馈控制模块、高压放大器、步进控制器、计算机及接口等组成的控制系统。采用微悬臂与微球组合探针将微球抬离而又十分逼近样品表面的方法及采用基于原子力的微纳米反馈控制方法，将微球—样品间距控制在近场范围，实现超分辨光学显微成像。本发明的优点是：提出基于微悬臂—微球探针的超分辨显微成像新方法，实现样品的多区域、全视场、超分辨光学显微成像，突破光学衍射极限，克服了传统微球显微成像技术在诸多等方面的局限性。

公开(公告)号：CN102707094B

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201210192186.6

申请日：2012-06-12

Applicant: 浙江大学

Inventor： 章海军 ,  桑青 ,  张冬仙 ,  李甸

IPC: G01Q60/24

Abstract: 本发明公开了一种三扫描器原子力显微扫描检测方法及装置。采用样品扫描和探针扫描相结合的检测方法，同时实现轻小型样品和较大较重样品的高精度微纳米检测。它具有由探针扫描与光电检测单元、样品扫描单元及二维步进扫描单元等组成的三扫描器原子力显微探测头，以及由前置放大器、PID反馈单元、XYZ控制模块一、XYZ控制模块二、步进控制模块、计算机与接口等组成的扫描与反馈控制系统。本发明的优点是：提供三种探针和样品扫描方式，保持纳米级扫描精度，对不同尺寸、不同重量的样品实现1~100μm范围的单幅图像扫描、0.1~1mm范围的图像拼接，克服了常规AFM的局限性，为实现各种尺寸与重量的微纳米样品的高精度、大范围、多扫描方式微纳米扫描成像提供新途径。

公开(公告)号：CN102735878A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210209374.5

申请日：2012-06-25

Applicant: 浙江大学

Inventor： 章海军 ,  李甸 ,  张冬仙 ,  王淑莹

IPC: G01Q60/06

Abstract: 本发明公开了一种基于微悬臂与微球组合探针的超分辨显微成像方法及系统。它具有由微悬臂与微球组合探针、压电陶瓷、激光器、半透半反棱镜、位置敏感元件、步进移动台、物镜、CCD等组成的超分辨显微成像装置，以及由电流电压转换器、反馈控制模块、高压放大器、步进控制器、计算机及接口等组成的控制系统。采用微悬臂与微球组合探针将微球抬离而又十分逼近样品表面的方法及采用基于原子力的微纳米反馈控制方法，将微球—样品间距控制在近场范围，实现超分辨光学显微成像。本发明的优点是：提出基于微悬臂—微球探针的超分辨显微成像新方法，实现样品的多区域、全视场、超分辨光学显微成像，突破光学衍射极限，克服了传统微球显微成像技术在诸多等方面的局限性。

公开(公告)号：CN102707094A

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201210192186.6

申请日：2012-06-12

Applicant: 浙江大学

Inventor： 章海军 ,  桑青 ,  张冬仙 ,  李甸

IPC: G01Q60/24

Abstract: 本发明公开了一种三扫描器原子力显微扫描检测方法及装置。采用样品扫描和探针扫描相结合的检测方法，同时实现轻小型样品和较大较重样品的高精度微纳米检测。它具有由探针扫描与光电检测单元、样品扫描单元及二维步进扫描单元等组成的三扫描器原子力显微探测头，以及由前置放大器、PID反馈单元、XYZ控制模块一、XYZ控制模块二、步进控制模块、计算机与接口等组成的扫描与反馈控制系统。本发明的优点是：提供三种探针和样品扫描方式，保持纳米级扫描精度，对不同尺寸、不同重量的样品实现1~100μm范围的单幅图像扫描、0.1~1mm范围的图像拼接，克服了常规AFM的局限性，为实现各种尺寸与重量的微纳米样品的高精度、大范围、多扫描方式微纳米扫描成像提供新途径。

公开(公告)号：CN202794222U

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201220297739.X

申请日：2012-06-25

Applicant: 浙江大学

Inventor： 李甸 ,  王淑莹 ,  章海军 ,  张冬仙

IPC: G01Q60/06

Abstract: 本实用新型公开了一种基于微悬臂与微球组合探针的超分辨显微成像系统。它具有由微悬臂与微球组合探针、压电陶瓷、激光器、半透半反棱镜、位置敏感元件、步进移动台、物镜、CCD等组成的超分辨显微成像装置，以及由电流电压转换器、反馈控制模块、高压放大器、步进控制器、计算机及接口等组成的控制系统。采用微悬臂与微球组合探针将微球抬离而又十分逼近样品表面的方法及采用基于原子力的微纳米反馈控制方法，将微球—样品间距控制在近场范围，实现超分辨光学显微成像。本实用新型的优点是：提出基于微悬臂—微球探针的超分辨显微成像新方法，实现样品的多区域、全视场、超分辨光学显微成像，突破光学衍射极限，克服了传统微球显微成像技术在诸多等方面的局限性。

公开(公告)号：CN202599978U

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201220275149.7

申请日：2012-06-12

Applicant: 浙江大学

Inventor： 李甸 ,  桑青 ,  章海军 ,  张冬仙

IPC: G01Q60/24

Abstract: 本实用新型公开了一种三扫描器原子力显微扫描检测装置。采用样品扫描和探针扫描相结合的检测方法，同时实现轻小型样品和较大较重样品的高精度微纳米检测。它具有由探针扫描与光电检测单元、样品扫描单元及二维步进扫描单元等组成的三扫描器原子力显微探测头，以及由前置放大器、PID反馈单元、XYZ控制模块一、XYZ控制模块二、步进控制模块、计算机与接口等组成的扫描与反馈控制系统。本实用新型的优点是：提供三种探针和样品扫描方式，保持纳米级扫描精度，对不同尺寸、不同重量的样品实现1~100μm范围的单幅图像扫描、0.1~1mm范围的图像拼接，克服了常规AFM的局限性，为实现各种尺寸与重量的微纳米样品的高精度、大范围、多扫描方式微纳米扫描成像提供新途径。