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公开(公告)号：CN100359641C
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：CN03801601.X
申请日：2003-09-11
IPC: H01L21/304
CPC classification number: H01L21/67034 , H01L21/02052
Abstract: 本发明提供一种旋转式硅晶片清洗装置，通过使清洗处理后的硅晶片的氢气终端进行得更完全，可使硅晶片的稳定性得到进一步提高。为此，本发明作为一种旋转式硅晶片清洗装置，设置有硅晶片干燥装置，该硅晶片干燥装置包括：附设在箱壳中的供给由含有0.05Vol%以上的氢气的氢气与惰性气体的混合气体的气体供给板块、一端连接在上述气体供给板块的气体混合器上的混合气体供给管、对上述混合气体供给管内的混合气体进行加热的混合气体加热装置、在与经混合气体加热装置加热的高温混合气体接触的部位具有可形成氢自由基的白金涂覆被膜的氢自由基生成装置等，通过将含有氢自由基的混合气体喷射到清洗后的硅晶片上，对硅晶片的外表面进行干燥和氢封端处理。
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公开(公告)号：CN1910392A
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200580002863.1
申请日：2005-01-13
IPC: F16K47/00
CPC classification number: F16K47/02 , Y10T137/0324 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/7762 , Y10T137/7842 , Y10T137/86389 , Y10T137/86397 , Y10T137/86461
Abstract: 本发明的课题在于实现，通过极为简单的装置和操作能够在不产生水击的情况下在短时间内将流体通路快速打开。本发明的无水击打开装置包括：致动器动作式阀，设置在流体通路中；电/气转换装置，向致动器动作式阀提供两阶段式致动器动作压力(Pa)；振动传感器，拆装自如地固定于所述致动器动作式阀的上游侧管路；调节箱，被输入由振动传感器检测到的振动检测信号(Pr)，并且，向电/气转换装置输出对所述两阶段式致动器动作压力(Pa)的阶跃动作压力(Ps’)的大小进行控制的控制信号(Sc)，通过该控制信号(Sc)的调整而使电/气转换装置输出下述阶跃动作压力(Ps’)的两阶段式致动器动作压力(Pa)，所述阶跃动作压力(Ps’)使得振动检测信号(Pr)大致为零。
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公开(公告)号：CN1279416C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN02805589.6
申请日：2002-11-22
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明的解决手段在于提供一种改良型压力式流量控制装置，其以Qc＝KP2m(P1-P2)n表示非临界领域(非音速域)中压缩性流体的实验流量式，以此Qc＝KP2m(P1-P2)n(K为比例常数，m及n为常数)计算通过孔口4的流体流量，可正确且高速地将流量控制于指定流量。又提供一种改良型压力式流量控制装置，其经常将上游侧压力P1及下游侧压力P2所得压力比P2/P1＝r可与临界值rc比较，在临界条件(r≤rc)下以Qc＝KP1，在非临界条件(r＞rc)下以Qc＝KP2m(P1-P2)n运算流量，可一面对应流体的所有条件，一面正确且高速地将流量控制于指定流量。
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公开(公告)号：CN1691980A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN200380100226.9
申请日：2003-10-14
CPC classification number: B01J12/007 , B01J21/04 , B01J23/42 , B01J37/0225 , B01J37/0226 , B01J37/08 , C01B5/00
Abstract: 在水分发生用反应炉的反应用空间的内壁面，能够廉价而且简单地形成厚度均匀的对母材附着力强，并且对铂皮膜的保护功能强的隔离皮膜。在不进行高温燃烧而使氢和氧反应产生水分的水分发生用反应炉中，水分发生用反应炉用含铝的合金形成，对该水分发生用反应炉的内壁面，实施铝的选择氧化处理，形成以氧化铝(Al2O3)为主体的隔离皮膜，然后在该隔离皮膜的上面层合附着铂皮膜，形成铂涂层催化层。
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公开(公告)号：CN1114059C
公开(公告)日：2003-07-09
申请号：CN00801268.7
申请日：2000-09-11
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明实现了不用烘烤法、而通过常温排气处理即可有效地除去吸附水分的供气系统的水分去除法。本发明为一种使除水分气体在供气系统中流动而除去残留在供气系统内的水分的方法，其特征为，将除水分气体的流压设定成大于或等于其气流成为粘性流的最小压力，并且小于或等于除水分气体流通温度的饱和水蒸气压。此外，所述除水分气体成为粘性流的条件是通过气体分子的平均自由行程小于供气系统配管的直径来判定。如果在这样的条件下对除水分气体进行常温排气，则能够有效地除去在配管内面或阀及过滤器件内的吸附水分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1399720A
公开(公告)日：2003-02-26
申请号：CN00809901.4
申请日：2000-06-05
IPC: G01N25/32
CPC classification number: G01N25/32 , G01N33/0013
Abstract: 本发明的主要目的是简化气体检测传感器的构造，并且在有H2O和O2存在的条件下，可高精度地检测被检测气体内的可燃性气体的浓度、和含有可燃性气体的被检测气体内的氧气的浓度。为了达到上述目的，本发明的气体检测传感器是通过可燃性气体的接触反应而使传感器发热，通过该发热而发出可燃性气体的检测信号的气体检测传感器，由以下部分构成：膜片，该膜中在被检测气体所接触的接气面上具有白金镀层薄膜；第1检测传感器，该检测传感器由两种不同金属的一端分别接近上述膜片的非接气面地固定的热电偶构成，通过可燃性气体的接触反应而被加热；具有与被检测气体相接触的接气面的膜片；对被检测气体的温度进行检测的第2检测传感器，该传感器由两种不同金属的一端分别接近上述膜片的非接气面地固定的热电偶构成。
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公开(公告)号：CN1236418A
公开(公告)日：1999-11-24
申请号：CN98801149.2
申请日：1998-08-13
CPC classification number: G01F1/40 , G05D7/0186
Abstract: 一种压力式流量控制装置中使用的节流孔,节流孔具备入口圆锥部1和与其相连接的节流平行部2,该节流平行部2为在压力式流量控制装置中使用的节流孔中,将穿设在主体构件D上的下孔6一方的开口端部切削而形成的喇叭吹口状;并且还具备圆锥扩径部3和与其相连接的平行扩径部4,该圆锥扩径部3与通过将上述下孔6另一方的开口端部扩径而形成的上述节流平行部2相连接。
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公开(公告)号：CN118786400A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202380024208.4
申请日：2023-03-15
Applicant: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种流量控制装置(10)的排气结构，其具备：流量控制装置(10)，其具备：形成有连通流体入口(13i)和流体出口(13o)的主体流路(13)的主体(11)；设置在主体流路上的控制阀(12)；设置在控制阀的下游的节流部(14)；以及测定控制阀与节流部之间的压力的压力传感器(16)；向流量控制装置供给气体的气体源(2)；在气体源与流量控制装置之间的气体供给路径上的分支点(A)分支的排气路径(4)，在比分支点靠上游的气体供给路径(3)配设第一阀(V1)，并且在排气路径配设第二阀(V2)，在从控制第一流量的状态变更为第二流量的控制时，在控制阀(12)打开的状态下，关闭第一阀(V1)并且打开第二阀(V2)，由此将积存在从控制阀到节流部之间的气体从排气路径(4)排出。
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公开(公告)号：CN116348750A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202180064327.3
申请日：2021-11-02
Applicant: 株式会社富士金 , 日本电产科宝电子株式会社
IPC: G01L19/06
Abstract: 本发明提供一种压力传感器(10)，其具备：在内侧具有与流路连通的受压室(C1)的有底筒状的传感器模块(11)，该传感器模块(11)包括与受压室接触的隔膜(11a)；将隔膜(11a)的形变作为压力而输出的压力检测元件(12)；固定于传感器模块的开放侧端部(11c)的外缘并配置在传感器模块(11)的外周侧的基座环(14)；固定于基座环(14)，用于形成隔着隔膜(11a)而与受压室(C1)相向的密封真空室(C2)的密封部件(13)；夹持在基座环(14)与主体(5)之间的衬垫(18)；以及经由衬垫(18)将基座环(14)按压到主体(5)上的按压凸缘(19)。
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公开(公告)号：CN108885471B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201780004761.6
申请日：2017-03-23
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置(8)，具备：节流部(2)、节流部上游的控制阀(6)、上游压力检测器(3)和下游压力检测器(4)、以及利用控制阀和节流部之间的流路的压力下降数据和基准压力下降数据对流量控制进行诊断的控制器(7)，在下游压力检测器的下游侧设置有隔断阀(9)，执行流量自诊断功能时，向控制阀和隔断阀发出关闭命令，控制器(7)利用关闭控制阀后的上游压力检测器和下游压力检测器的输出判定是否满足规定的临界膨胀条件，利用满足规定的临界膨胀条件的期间的压力下降数据而对流量控制进行诊断。
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