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公开(公告)号:CN103270186A
公开(公告)日:2013-08-28
申请号:CN201180060616.2
申请日:2011-12-16
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: B03C1/005 , B03C1/30 , B03C2201/20 , C23C14/12 , C23C14/564 , H01L51/0016
Abstract: 在腔室内构成物(70)的至少与成膜材料接触的部分,设置有包含能够被磁铁吸附的材料的层(71)。成膜材料的回收方法包括:剥离工序,将附着在腔室内构成物(70)的表面的附着物(22)剥离;和分离工序,使剥离工序中被剥离的包含能够被磁铁吸附的材料的层(71)的碎片吸附在磁铁(202a)上,从附着物(22)分离,从而回收附着物(22)。
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公开(公告)号:CN103189542A
公开(公告)日:2013-07-03
申请号:CN201180052599.8
申请日:2011-10-11
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L22/20 , C23C14/042 , C23C14/24 , C23C14/54 , H01L27/3211 , H01L51/001 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 在使基板(10)相对于蒸镀掩模(70)以隔开固定间隔的状态相对移动的同时,使从蒸镀源(60)的蒸镀源开口(61)放出的蒸镀颗粒(91)依次通过控制板单元(80)具有的多个控制板(81)间的空间和蒸镀掩模的掩模开口(71)并附着在基板上形成覆膜(90)。检测蒸镀源和控制板单元间的热膨胀量差并对该热膨胀量差进行校正。由此,能够在大型基板上的期望位置形成抑制了端缘的模糊及其偏差的覆膜。
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公开(公告)号:CN102834541A
公开(公告)日:2012-12-19
申请号:CN201180015261.5
申请日:2011-02-10
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H05B33/10 , C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/225 , C23C14/24 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供在有机EL显示器用的基板(10)上按规定的图案形成薄膜(3)的蒸镀装置(50)。在掩模(60)与放射蒸镀颗粒的蒸镀源(53)之间配置有第一校正板(81)和第二校正板(82)。各校正板(81、82)分别具有多个叶片板(83)和支承它们的框(84)。各叶片板(83)在相对于掩模(60)倾斜的状态下,以从与掩模(60)正交的方向来看,在与相邻的叶片板(83)之间隔着开口(86)相互平行地延伸的方式配置。
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公开(公告)号:CN108353473B
公开(公告)日:2020-03-10
申请号:CN201680066418.X
申请日:2016-11-15
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01L51/50 , H05B33/02 , G09F9/00 , G09F9/30 , H01L27/32 , H05B33/10 , H05B33/12 , H05B33/22 , H05B33/24 , H05B33/28
Abstract: 本发明的一个方式的有机电致发光装置包括:在一面侧设置有凹部的基材;和发光元件,该发光元件包括:至少设置在凹部的表面的反射层;隔着反射层填充在凹部的内侧的具有光透射性的填充层;至少设置在填充层的上层侧的具有光透射性的第一电极;设置在第一电极的上层的至少包含发光层的有机层;设置在有机层的上层侧的具有光透射性的第二电极;和至少覆盖第一电极的端部的边缘覆盖层,凹部的位置的第一电极的上表面位于比包含反射层的上表面的平面靠下方的位置,第一电极的端部存在于凹部内并且与反射层分离。
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公开(公告)号:CN109996902A
公开(公告)日:2019-07-09
申请号:CN201680090812.7
申请日:2016-11-15
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 蒸镀掩模(1)为由金属掩模(10)和树脂掩模(20)层叠而形成的蒸镀掩模,金属掩模(10)具有至少1个金属掩模开口(11),树脂掩模(20)具有多个树脂掩模开口(21),其中,从金属掩模开口(11)露出的、在X轴方向的各位置沿着Y轴方向配置的至少1个树脂掩模开口(21)的Y轴方向的总开口长度,随着从X轴方向的中央部向Y轴方向的两端部去而变长。
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公开(公告)号:CN109983148A
公开(公告)日:2019-07-05
申请号:CN201680091048.5
申请日:2016-11-25
Applicant: 夏普株式会社
IPC: C23C14/04
Abstract: 在载置在蒸镀装置(1)的基板托盘(20)上的被蒸镀基板(30)的被蒸镀面(30a)上,在与扫描平行的方向上隔开间隔地排列有蒸镀蒸镀颗粒(40)的显示区域(31),基板托盘(20)具有遮蔽部(22),其对在与扫描方向平行的方向上与显示区域(31)相邻的区域(30c)进行遮蔽,使该区域(30c)不会被蒸镀蒸镀颗粒(40)。从而,即使进行扫描蒸镀,也能够防止被蒸镀基板的设计上的自由度受到限制。
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公开(公告)号:CN109565917A
公开(公告)日:2019-04-02
申请号:CN201780046373.4
申请日:2017-07-21
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H05B33/10 , C23C14/04 , G09F9/00 , G09F9/30 , H01L27/32 , H01L51/50 , H05B33/12 , H05B33/24 , H05B33/26 , H05B33/28
Abstract: 在蓝色荧光发光层形成工序中,在子像素(3B)和子像素(3G1)中共用地形成蓝色荧光发光层,在绿色荧光发光层形成工序中,在子像素(3G1)和子像素(3G2)中共用地形成绿色荧光发光层,在红色发光层形成工序中,在子像素(3G2)和子像素(3R)中共用地形成红色发光层,在上述工序中的至少2个工序中,进行使用狭缝掩模的线性蒸镀,该狭缝掩模具有跨多个像素设置的开口部。
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公开(公告)号:CN109565916A
公开(公告)日:2019-04-02
申请号:CN201780046334.4
申请日:2017-07-21
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H05B33/10 , H05B33/12 , H05B33/26 , H05B33/28 , C23C14/04 , G09F9/00 , G09F9/30 , G09F9/302 , H01L27/32 , H01L51/50
Abstract: 在蓝色荧光发光层形成工序中,在子像素(3B)和子像素(3G1)中共用地形成蓝色荧光发光层,在绿色荧光发光层形成工序中,在子像素(3G1)和子像素(3G2)中共用地形成绿色荧光发光层,在红色发光层形成工序中,在子像素(3G1)和子像素(3R)中共用地形成红色发光层,在上述工序中的至少2个工序中,进行使用狭缝掩模的线性蒸镀,该狭缝掩模具有跨多个像素设置的开口部。
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公开(公告)号:CN109076674A
公开(公告)日:2018-12-21
申请号:CN201780027231.3
申请日:2017-04-26
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 蓝色荧光发光层(34B)在第一子像素和第二子像素中共用地设置,绿色荧光发光层(34G)在第二子像素和第三子像素中共用地设置,红色发光层(34R)在第二子像素和第四子像素中共用地设置,在第二子像素(3G1)中,相对面间距离(DBG)为福斯特半径以下,红色发光层与蓝色荧光发光层和绿色荧光发光层中的一者隔着分隔层(35)层叠。
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公开(公告)号:CN109076672A
公开(公告)日:2018-12-21
申请号:CN201780023360.5
申请日:2017-04-07
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 在子像素(3B)和子像素(3G1)共用地设置有蓝色荧光发光层(34B),在子像素(3G1)和子像素(3G2)共用地设置有绿色荧光发光层(34G),在子像素(3G2)和子像素(3R)共用地设置有红色发光层(34R),相对面间距离(DBG)为福斯特半径以下,在子像素(3G2)中,绿色荧光发光层和红色发光层隔着分隔层(35)层叠。
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