光伏型多量子阱红外探测器

    公开(公告)号:CN100541832C

    公开(公告)日:2009-09-16

    申请号:CN200710171387.7

    申请日:2007-11-30

    Abstract: 本发明公开了一种光伏型多量子阱红外探测器,该探测器由SOI晶片,键合在SOI晶片上的光导型多量子阱红外探测器组成。所说的SOI晶片是一种通过高能粒子辐照处理后,在埋氧层中产生固定电荷的晶片。所说的光导型多量子阱红外探测器为GaAs/AlGaAs、GaAs/InGaAs或Si/GeSi多量子阱红外探测器。本发明的优点在于:该探测器不仅具备了光导型多量子阱红外探测器的基本优越性能,同时也解决了光导探测器暗电流较大的缺陷,从而进一步提高了器件的性能。同时,器件的制备也比较简单、易于操作。

    提高量子点共振隧穿二极管光探测器动态范围的方法

    公开(公告)号:CN101335309A

    公开(公告)日:2008-12-31

    申请号:CN200810041158.8

    申请日:2008-07-30

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 本发明公开了一种提高量子点共振隧穿二极管光探测器动态范围的方法。其结构核心部分包括GaAs或InGaAs入射光子吸收层、1010cm-2~1011cm-2量级的高密度InAs自组装量子点及AlGaAs/GaAs双势垒结构层。其工艺核心改进为延长交叉桥共振隧穿二极管器件工艺的退火时间,使得欧姆接触扩散到双势垒结构层。其核心探测途径发明点为在保持原有隧穿二极管对少光子敏感的纵向电流支路的同时,从量子阱引出了另一路横向电流,该横向电流由二维电子气组成,受量子点电场的强烈调制,可反映入射光强的连续变化。本发明器件优点是器件结构和工艺的改进均兼容原有设备,但多光子探测灵敏度相比原有器件有了大幅度提升。

    多重光散射耦合的量子阱红外探测器

    公开(公告)号:CN101188234A

    公开(公告)日:2008-05-28

    申请号:CN200710171905.5

    申请日:2007-12-07

    Abstract: 本发明公开了一种多重光散射耦合的量子阱红外探测器,该探测器由衬底层,依次逐层生长的下电极层、50个周期的多量子阱层、上电极层,在上电极层上有一浸没在有机粘胶剂中的金属小球或表面镀有金属的小球所形成的列阵层,列阵层上有一金属接触层,金属接触层上有一通过倒装焊接互连的读出电路,实现探测信号的读出。本发明的优点是:1.金属小球列阵取代了传统的光栅,通过金属小球之间的多重光散射产生能够被量子阱子带跃迁吸收的电矢量,该电矢量平行于量子阱层的分量,完成正入射光对量子阱的耦合。2.由金属小球列阵替代了传统的倒焊互连的铟柱,形成各向异性导电层,完成导电功能。由于以上特点,一方面能够提高正入射光的耦合效率,另一方面省去了铟柱的生长,简化了倒焊工艺。

    光伏型多量子阱红外探测器

    公开(公告)号:CN101170148A

    公开(公告)日:2008-04-30

    申请号:CN200710171387.7

    申请日:2007-11-30

    Abstract: 本发明公开了一种光伏型多量子阱红外探测器,该探测器由SOI晶片,键合在SOI晶片上的光导型多量子阱红外探测器组成。所说的SOI晶片是一种通过高能粒子辐照处理后,在埋氧层中产生固定电荷的晶片。所说的光导型多量子阱红外探测器为GaAs/AlGaAs、GaAs/InGaAs或Si/GeSi多量子阱红外探测器。本发明的优点在于:该探测器不仅具备了光导型多量子阱红外探测器的基本优越性能,同时也解决了光导探测器暗电流较大的缺陷,从而进一步提高了器件的性能。同时,器件的制备也比较简单、易于操作。

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