公开(公告)号：CN101333686B

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN200810041160.5

申请日：2008-07-30

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 陆卫 ,  李亚军 ,  张波 ,  陈平平 ,  李天信 ,  李志锋 ,  李宁 ,  陈效双

IPC: C30B31/22 ,  H01L21/265

Abstract: 本发明专利公开了一种氧化锌基体中定向排列的金属纳米锌的制备方法，它提供了在氧化锌单晶晶片或薄膜材料中离子注入过渡族金属离子(III B-VIIB族金属)，制备完全定向排列(相对于ZnO基体)的金属纳米锌的方法，具体给出了相应的工艺过程和具体参数，以及采用该方法所获得的定向排列金属纳米锌的结果。本专利提出的途径能高效，简单可控的在氧化锌材料中制备完全定向排列的金属纳米锌，且纳米锌都是单晶的。

公开(公告)号：CN101333686A

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN200810041160.5

申请日：2008-07-30

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 陆卫 ,  李亚军 ,  张波 ,  陈平平 ,  李天信 ,  李志锋 ,  李宁 ,  陈效双

IPC: C30B31/22 ,  H01L21/265

Abstract: 本发明公开了一种氧化锌基体中定向排列的金属纳米锌的制备方法，它提供了在氧化锌单晶晶片或薄膜材料中离子注入过渡族金属离子(III B－VII B族金属)，制备完全定向排列(相对于ZnO基体)的金属纳米锌的方法，具体给出了相应的工艺过程和具体参数，以及采用该方法所获得的定向排列金属纳米锌的结果。本发明提出的途径能高效，简单可控的在氧化锌材料中制备完全定向排列的金属纳米锌，且纳米锌都是单晶的。