一种基于驻极体的可重构驱动电压RF MEMS开关及其制备方法

    公开(公告)号:CN111627759B

    公开(公告)日:2021-03-16

    申请号:CN202010511287.X

    申请日:2020-06-08

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明提供了一种基于驻极体的可重构驱动电压RF MEMS开关及其制备方法,包括:固支梁,所述固支梁的两端远离第二衬底的一面设置第一键合结构;CPW结构,包括CPW信号线以及位于所述CPW信号线两侧的CPW地线;所述CPW地线上设置第二键合结构,所述固支梁通过所述第一键合结构与所述第二键合结构的键合工艺设置在所述CPW结构上;驱动电极,位于所述CPW信号线与所述CPW地线之间;以及充电结构,所述充电结构包括驻极体以及压焊块,所述驻极体设置在所述驱动电极上。本发明的一种基于驻极体的可重构驱动电压RF MEMS开关及其制备方法,能够同时满足低驱动电压和高驱动电压的应用要求,这既能够有效降低开关的驱动电压,又能够防止粘连失效的发生。

    额定电流可调且可监测的过流保护器及制备方法

    公开(公告)号:CN112260218B

    公开(公告)日:2021-03-02

    申请号:CN202011537040.1

    申请日:2020-12-23

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种额定电流可调且可监测的过流保护器及制备方法,过流保护器包括第一衬底;第二衬底;在第一衬底上形成开放腔、悬臂梁、第一绝缘层和第二绝缘层;第一电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上,且位于悬臂梁的固定端;第二电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上,且位于悬臂梁的中部位置;第三电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上,且位于悬臂梁的悬空端。本发明利用MEMS体加工和键合工艺,设置开放腔、悬臂梁、第一电极、第二电极和第三电极,使过流保护器的额定电流可调且可监测,以提高电路或系统的可靠性。

    一种阻变型非易失性存储器及其操作方法

    公开(公告)号:CN108091656B

    公开(公告)日:2020-11-20

    申请号:CN201711249419.0

    申请日:2017-12-01

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种阻变型非易失性存储器及其操作方法,该阻变型非易失性存储器包括由底栅、栅氧化层、源极以及漏极与半导体层构成的底栅底接触式薄膜晶体管以及顶栅与源极或者漏极的交叠部分构成的一阻变型存储器;其中半导体层上方设置顶栅,下方两侧分别设置有源极和漏极,半导体层位于源极和漏极之间的部分称为沟道,沟道底部与栅氧化层接触,栅氧化层下方设置有底栅。本发明提供的半导体阻变型存储器相较于传统的阻变型存储器而言具有结构紧凑,单元尺寸较小等优点。基于本发明的阻变型存储器的操作方法能够有效地进行存储。

    一种多值阻变型非易失性存储器及其操作方法

    公开(公告)号:CN108155191B

    公开(公告)日:2020-06-30

    申请号:CN201711249418.6

    申请日:2017-12-01

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种多值阻变型非易失性存储器及其操作方法,该多值阻变型非易失性存储器包括由底栅、栅氧化层、源极以及漏极与半导体层构成的底栅底接触式薄膜晶体管以及顶栅与源极和漏极的交叠部分构成的阻变型存储器;其中半导体层上方设置顶栅,下方两侧分别设置有源极和漏极,半导体层位于源极和漏极之间的部分称为沟道,沟道底部与栅氧化层接触,栅氧化层下方设置有底栅。本发明提供的多值阻变型非易失性存储器相较于传统的阻变型存储器而言具有结构紧凑,单元尺寸较小、存储密度高等优点。基于本发明的多值阻变型存储器的操作方法能够有效地进行多值存储。

    一种半导体湿度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN109613065A

    公开(公告)日:2019-04-12

    申请号:CN201811372138.9

    申请日:2018-11-16

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明提供了一种半导体湿度传感器,所述半导体湿度传感器包括:第一衬底,设置在所述第一衬底上的源极和漏极;设置在所述第一衬底上方并覆盖所述源极和所述漏极的半导体层;设置在所述半导体层上的栅氧化层;设置在所述栅氧化层上的栅极结构,所述栅极结构为压电层;设置在所述栅极结构上的绝缘层;设置在所述绝缘层上的吸湿层。另外,本发明还提供了一种制备半导体湿度传感器的方法,通过上述方法制备的半导体湿度传感器具有功耗低、可靠性高、灵敏度高等优点。

    一种半导体磁场传感器及其操作方法

    公开(公告)号:CN109283474A

    公开(公告)日:2019-01-29

    申请号:CN201811366123.1

    申请日:2018-11-16

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明涉及传感器技术领域,公开了一种半导体磁场传感器及其操作方法,该半导体磁场传感器包括:磁敏三级管与电致变色单元,磁敏三极管包括发射极与集电极,发射极与电源线相连,集电极与第一开关的一端相邻,第一开关的另一端分别与电致变色单元的第一电极和第二开关的一端相连,第二开关的另一端与电源的一端相连,电源的另一端与电致变色单元的第二电极分别与地线相连,磁敏三极管将磁场信息转化为电信号,电致变色单元接收电信号并通过颜色变化显示磁场信息。上述半导体磁场传感器无需额外增加复杂的接口电路,通过人眼即可直接快速获得当前环境的磁场信息,具有结构简单、成本低、体积小、功耗低、操作简单、使用方便等优点。

    一种电磁式振动能量收集器及其制备方法

    公开(公告)号:CN108054895A

    公开(公告)日:2018-05-18

    申请号:CN201711292702.1

    申请日:2017-12-08

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明提出一种电磁式振动能量收集器及其制备方法,该电磁式振动能量收集器包括:相互堆叠的衬底和背板;所述衬底的下表面形成有凹槽,所述凹槽和所述背板形成腔体,所述腔体内设有永磁体;所述衬底的上表面设置有第一电感线圈层,所述背板的下表面设置有第二电感线圈层。通过本发明的制备方法制备的电磁式振动能量收集器具有较高的能量收集效率、高的输出功率和输出功率密度(W/cm2);改善了能量收集器的可靠性和使用寿命;制备工艺简单,成本低,成品率高,降低了器件的加工难度和成本,并易于实现器件的小型化。

    一种有源矩阵有机发光二极管像素电路及驱动方法

    公开(公告)号:CN105788532B

    公开(公告)日:2018-04-03

    申请号:CN201610174160.7

    申请日:2016-03-24

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 黄晓东 黄见秋

    Abstract: 本发明公开了一种有源矩阵有机发光二极管像素电路及驱动方法,包括第一开关晶体管T1、第二开关晶体管T2、驱动管T3、有机发光二极管OLED、数据线Vdata、第一扫描控制线Vscan1、第二扫描控制线Vscan2、存储电容Cst、编程/擦除信号线Vpe,驱动方法包括阈值电压重置阶段、阈值电压补偿阶段、驱动电压写入阶段以及发光阶段,本发明的AMOLED像素电路具有结构和操作简单、尺寸小、开口率高、功耗低等优点,适用于高分辨率、大尺寸的平板显示。

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