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公开(公告)号:CN1238769C
公开(公告)日:2006-01-25
申请号:CN02802973.9
申请日:2002-12-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G03F7/36 , H01L21/3205 , H01L21/288 , H01K3/00 , C25D5/02 , H05B33/10
CPC classification number: H01L21/76838 , C25D5/022 , C25D7/12 , H01L21/0272 , H01L21/0274 , H01L21/288 , H01L21/31127 , H01L21/31133
Abstract: 本发明的目的在于提供可以减少制造成本的掩膜形成方法。一种为了采用液状的图案材料形成所需的图案,在被处理部件的表面形成掩膜的方法,具有:在整个被处理部件表面形成掩膜材料层的第1工序、加热掩膜材料层的第2工序、通过在电解液中去除图案形成部分的掩膜材料层进行图案形成的第3工序、对掩膜材料层进行加热处理的第4工序。
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公开(公告)号:CN1445820A
公开(公告)日:2003-10-01
申请号:CN03120581.X
申请日:2003-03-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L21/027 , H01L21/31 , G03F7/00
CPC classification number: H01L21/3127 , H01L21/0212 , H01L21/02274 , H01L21/0272 , H01L21/0273 , H01L21/288 , H01L21/76838 , H01L27/1292
Abstract: 本发明提供一种可削减制造成本的掩膜形成方法,是一种在被处理部件的表面形成规定图形覆膜的方法,该方法由改善图形材料溶液对被处理部件的密接性的工序(S178);向设置在被处理部件表面的掩膜中的图形形成用凹部填充图形材料溶液的工序(S180);通过处理图形材料溶液,改善应形成的图形覆膜膜质的工序(S186);去除附着在掩膜上的图形材料溶液的工序(S188);使图形材料溶液干燥的工序(S190);和退火处理图形覆膜的工序(S196)而构成。
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公开(公告)号:CN1473284A
公开(公告)日:2004-02-04
申请号:CN02802973.9
申请日:2002-12-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G03F7/36 , H01L21/3205 , H01L21/288 , H05K3/00 , C25D5/02 , H05B33/10
CPC classification number: H01L21/76838 , C25D5/022 , C25D7/12 , H01L21/0272 , H01L21/0274 , H01L21/288 , H01L21/31127 , H01L21/31133
Abstract: 本发明的目的在于提供可以减少制造成本的掩膜形成方法。一种为了采用液状的图案材料形成所需的图案,在被处理部件的表面形成掩膜的方法,其构成为具有:对整个被处理部件表面涂布抗蚀剂的第1工序(S152)、干燥已涂布的抗蚀剂的第2工序(S154)、通过用光刻法去除图案形成部分的抗蚀剂而进行图案形成的第3工序(S156)、和加热处理抗蚀剂的第4工序(S158)。
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公开(公告)号:CN1404624A
公开(公告)日:2003-03-19
申请号:CN01805391.2
申请日:2001-12-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L21/306
CPC classification number: G03F7/7075 , H01L21/0272 , H01L21/0273 , H01L21/0274 , H01L21/288 , H01L21/32051 , H01L21/6715 , H01L21/76838 , H01L21/76885 , H05K3/048
Abstract: 图案材料供给部(300),具备有使液态图案材料(312)成为雾状微粒子进行喷雾的莲喷头(310)。在莲喷头(310)的下方,设有配置工件(20)的处理台(318)。在工件(20)的表面具有设有图案形成用开口进行了疏水处理的掩膜。工件(20),通过处理台(318)由直流电源(328)外加电压,利用静电引力吸引液态图案材料(312)的微粒子。处理台(318),通过旋转,使附着在掩膜表面的液态图案材料填充到设在掩膜上的图案形成用开口部,同时能由内置的加热器(326)加热固化液态图案材料。
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公开(公告)号:CN1288720C
公开(公告)日:2006-12-06
申请号:CN03120581.X
申请日:2003-03-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L21/027 , H01L21/31 , G03F7/00
CPC classification number: H01L21/3127 , H01L21/0212 , H01L21/02274 , H01L21/0272 , H01L21/0273 , H01L21/288 , H01L21/76838 , H01L27/1292
Abstract: 本发明提供一种可削减制造成本的掩膜形成方法。是一种在被处理部件的表面形成规定图形覆膜的方法,该方法由改善图形材料溶液对被处理部件的密接性的工序(S178);向设置在被处理部件表面的掩膜中的用于形成布线图形的凹部填充图形材料溶液的工序(S180);通过处理图形材料溶液,改善应形成的图形覆膜膜质的工序(S186);去除附着在掩膜上的图形材料溶液的工序(S188);使图形材料溶液干燥的工序(S190);和退火处理图形覆膜的工序(S196)而构成。
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公开(公告)号:CN1252520C
公开(公告)日:2006-04-19
申请号:CN200310102553.X
申请日:2003-10-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/1335 , G02B1/10 , G09F9/35
CPC classification number: G02F1/1333 , G02F1/1337 , G02F2001/133519 , G02F2201/48 , Y10T428/31504
Abstract: 本发明提供一种器件及其制造方法、具有该器件的电子仪器。在基板(23、24)上形成了底层要素的基体的底层要素上,形成了功能性膜(36、38、40)的器件(20)。在底层要素上设置对于用于形成功能性膜(36、38、40)的液态形成材料具有亲液性的亲液膜(15、16、17),在这些亲液膜(15、16、17)上设置有功能性膜(36、38、40)。由此,可使形成在底层要素上的功能性膜平坦并且厚度均匀,提高功能性膜的性能。
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公开(公告)号:CN1497663A
公开(公告)日:2004-05-19
申请号:CN200310100712.2
申请日:2003-10-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L21/00
CPC classification number: G02B5/201 , G02F1/133516 , H01L21/288 , H01L27/3246 , H01L51/0003
Abstract: 本发明为一种微细构造物的制造方法,其特征是:在要形成所需图案的基板(10)的被处理面上设置亲液膜(11),在亲液膜(11)的上表面上,设置对成为形成所述图案的部件的液体材料具有斥液性的斥液膜(12),除去斥液膜(12)中位于要形成所述图案的区域上的部分。从而可在使用液体材料形成所需图案时,高速并且良好地形成所需图案。另外,本发明还提供一种采用该微细构造物的制造方法制造的光学元件、集成电路和电子仪器。
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公开(公告)号:CN100426455C
公开(公告)日:2008-10-15
申请号:CN200610084424.6
申请日:2001-12-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/7075 , H01L21/0272 , H01L21/0273 , H01L21/0274 , H01L21/288 , H01L21/32051 , H01L21/6715 , H01L21/76838 , H01L21/76885 , H05K3/048
Abstract: 图案材料供给部(300),具备有使液态图案材料(312)成为雾状微粒子进行喷雾的莲喷头(310)。在莲喷头(310)的下方,设有配置工件(20)的处理台(318)。在工件(20)的表面具有设有图案形成用开口进行了疏水处理的掩膜。工件(20),通过处理台(318)由直流电源(328)外加电压,利用静电引力吸引液态图案材料(312)的微粒子。处理台(318),通过旋转,使附着在掩膜表面的液态图案材料填充到设在掩膜上的图案形成用开口部,同时能由内置的加热器(326)加热固化液态图案材料。
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公开(公告)号:CN1873913A
公开(公告)日:2006-12-06
申请号:CN200610084424.6
申请日:2001-12-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/7075 , H01L21/0272 , H01L21/0273 , H01L21/0274 , H01L21/288 , H01L21/32051 , H01L21/6715 , H01L21/76838 , H01L21/76885 , H05K3/048
Abstract: 图案材料供给部(300),具备有使液态图案材料(312)成为雾状微粒子进行喷雾的莲喷头(310)。在莲喷头(310)的下方,设有配置工件(20)的处理台(318)。在工件(20)的表面具有设有图案形成用开口进行了疏水处理的掩膜。工件(20),通过处理台(318)由直流电源(328)外加电压,利用静电引力吸引液态图案材料(312)的微粒子。处理台(318),通过旋转,使附着在掩膜表面的液态图案材料填充到设在掩膜上的图案形成用开口部,同时能由内置的加热器(326)加热固化液态图案材料。
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公开(公告)号:CN1288723C
公开(公告)日:2006-12-06
申请号:CN01805391.2
申请日:2001-12-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L21/306
CPC classification number: G03F7/7075 , H01L21/0272 , H01L21/0273 , H01L21/0274 , H01L21/288 , H01L21/32051 , H01L21/6715 , H01L21/76838 , H01L21/76885 , H05K3/048
Abstract: 图案材料供给部(300),具备有使液态图案材料(312)成为雾状微粒子进行喷雾的莲喷头(310)。在莲喷头(310)的下方,设有配置工件(20)的处理台(318)。在工件(20)的表面具有设有图案形成用开口进行了疏水处理的掩膜。工件(20),通过处理台(318)由直流电源(328)外加电压,利用静电引力吸引液态图案材料(312)的微粒子。处理台(318),通过旋转,使附着在掩膜表面的液态图案材料填充到设在掩膜上的图案形成用开口部,同时能由内置的加热器(326)加热固化液态图案材料。
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