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公开(公告)号：CN100479216C
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200610066825.9
申请日：2006-03-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了以低的驱动电压获得大的应变的压电元件、液体喷射头和液体喷射设备。该压电元件包括下电极、上电极和压电膜，所述压电膜由锆钛酸铅(PZT)制成，并且具有(100)面优先取向的钙钛矿晶体，所述压电膜被置于下电极和上电极之间。在该压电元件中，由压电膜的(100)面得到的X射线衍射峰位置处在2θ＝21.79～21.88度的范围内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1840244A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200610066947.8
申请日：2006-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够较容易地控制结晶状态并可始终获得稳定特性的电介质膜的制造方法，以及可提高压电元件特性的压电元件的制造方法。该方法包括：涂布含有金属有机化合物的胶体溶液来形成介电前驱体膜的涂布工序，金属有机化合物含有构成电介质膜的金属，电介质膜至少含有铅成分；对介电前驱体膜进行干燥的干燥工序；对介电前驱体膜进行脱脂的脱脂工序；煅烧介电前驱体膜以形成电介质膜的煅烧工序；干燥工序具有：将介电前驱体膜加热到低于材料主溶媒的溶剂沸点的温度并保持一定时间以使其干燥的第一干燥工序；在140℃～170℃的范围内干燥介电前驱体膜的第二干燥工序；脱脂工序使脱脂的温度为350℃～450℃，使升温率为15[℃/sec]以上，煅烧工序使升温率为100[℃/sec]～150[℃/sec]。
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公开(公告)号：CN1323841C
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200410095567.8
申请日：2004-11-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1632 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1635 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/314 , H01L41/319 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供一种防止振动板的剥离并提高了耐久性及可靠性的液体喷头的制造方法。所述制造方法至少具有振动板形成工序，和在所述振动板上形成压电元件的压电元件形成工序，其中，所述振动板形成工序至少包括形成绝缘体膜的工序，即，在流路形成基板的一个面上，通过溅射法形成锆层，使其表面的(002)面取向度为80%以上，并热氧化锆层，形成由氧化锆构成的、并构成振动板一部分的绝缘体膜。
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公开(公告)号：CN1841802A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200610066825.9
申请日：2006-03-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了以低的驱动电压获得大的应变的压电元件、液体喷射头和液体喷射设备。该压电元件包括下电极、上电极和压电膜，所述压电膜由锆钛酸铅(PZT)制成，并且具有 面优先取向的钙钛矿晶体，所述压电膜被置于下电极和上电极之间。在该压电元件中，由压电膜的 面得到的X射线衍射峰位置处在2θ＝21.79～21.88度的范围内。
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公开(公告)号：CN100503058C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200610066947.8
申请日：2006-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够较容易地控制结晶状态并可始终获得稳定特性的电介质膜的制造方法，以及可提高压电元件特性的压电元件的制造方法。该方法包括：涂布含有金属有机化合物的胶体溶液来形成介电前驱体膜的涂布工序，金属有机化合物含有构成电介质膜的金属，电介质膜至少含有铅成分；对介电前驱体膜进行干燥的干燥工序；对介电前驱体膜进行脱脂的脱脂工序；煅烧介电前驱体膜以形成电介质膜的煅烧工序；干燥工序具有：将介电前驱体膜加热到低于材料主溶媒的溶剂沸点的温度并保持一定时间以使其干燥的第一干燥工序；在140℃～170℃的范围内干燥介电前驱体膜的第二干燥工序；脱脂工序使脱脂的温度为350℃～450℃，使升温率为15[℃/sec]以上，煅烧工序使升温率为100[℃/sec]～150[℃/sec]。
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公开(公告)号：CN1621233A
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN200410095567.8
申请日：2004-11-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1632 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1635 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/314 , H01L41/319 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供一种防止振动板的剥离并提高了耐久性及可靠性的液体喷头的制造方法。所述制造方法至少具有振动板形成工序，和在所述振动板上形成压电元件的压电元件形成工序，其中，所述振动板形成工序至少包括形成绝缘体膜的工序，即，在流路形成基板的一个面上，通过溅射法形成锆层，使其表面的(002)面取向度为80％以上，并热氧化锆层，形成由氧化锆构成的、并构成振动板一部分的绝缘体膜。
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