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公开(公告)号：CN110208574A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910140516.9
申请日：2019-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种传感器器件、力检测装置以及机器人，能够发挥优异的力检测特性。传感器器件具备：基体，具有凹部；盖体，堵塞所述凹部的开口；力检测元件，配置于所述凹部，够成为包括第一元件和第二元件，该第一元件根据第一方向的外力输出第一信号，该第二元件层叠于所述第一元件，根据第二方向的外力输出第二信号；第一电路，配置于所述凹部，对所述第一信号进行处理；第二电路，配置于所述凹部，对所述第二信号进行处理，当将在所述基体的俯视观察中所述第一电路以及所述第二电路排列的方向作为第三方向、将与所述第三方向正交的方向作为第四方向时，在所述第三方向上，所述力检测元件位于所述第一电路与所述第二电路之间。
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公开(公告)号：CN110208574B
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN201910140516.9
申请日：2019-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种传感器器件、力检测装置以及机器人，能够发挥优异的力检测特性。传感器器件具备：基体，具有凹部；盖体，堵塞所述凹部的开口；力检测元件，配置于所述凹部，够成为包括第一元件和第二元件，该第一元件根据第一方向的外力输出第一信号，该第二元件层叠于所述第一元件，根据第二方向的外力输出第二信号；第一电路，配置于所述凹部，对所述第一信号进行处理；第二电路，配置于所述凹部，对所述第二信号进行处理，当将在所述基体的俯视观察中所述第一电路以及所述第二电路排列的方向作为第三方向、将与所述第三方向正交的方向作为第四方向时，在所述第三方向上，所述力检测元件位于所述第一电路与所述第二电路之间。
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公开(公告)号：CN102636828B
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201210028988.3
申请日：2012-02-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , B81B7/0035 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供了一种波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块、光分析装置，该波长可变干涉滤波器包括：第一基板，具有固定镜；第二基板，与第一基板接合，包括可动部和固定在可动部上的可动镜；第三基板，在与第一基板相反的一侧上与第二基板接合；以及静电致动器，使可动部沿基板相对方向移位，其中，形成有使第一基板和第二基板之间的出射侧空间以及第二基板和第三基板之间的入射侧空间与外部连通的贯通孔，贯通孔被密封材料密封，以将各空间密闭为减压状态。
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公开(公告)号：CN110319960A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910226635.6
申请日：2019-03-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供一种能够发挥优异的力检测特性的传感器元件、传感器器件、力检测装置以及机器人。传感器元件(3)构成为，在从层叠有第一压电元件(31)和第二压电元件(32)的方向俯视观察时，第一基准电位侧面端子(391)在比通过第一信号侧面端子(394)的位置和第二信号侧面端子(392)的位置的第一轴(L3)靠近一侧的侧面(3c、3f)上，位于第一信号侧面端子(394)与第二信号侧面端子(392)之间，第二基准电位侧面端子(393)在比第一轴(L3)靠近另一侧的侧面(3d、3e)上，位于第一信号侧面端子(394)与第二信号侧面端子(392)之间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101157301A
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：CN200710162424.8
申请日：2007-09-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供一种不使结构复杂地有效防止电不合适现象的液滴喷头、液滴喷出装置、液滴喷头的制造方法及液滴喷出装置的制造方法。液滴喷头(100)，具备：空腔衬底(3)，其底壁形成振动片(8)，并形成有用于贮存液滴并使其喷出的喷出室(7)；和电极衬底(4)，其与振动片(8)相隔间隙(18)地对置，形成有用于驱动振动片(8)的分立电极(17)，搭载有与分立电极(17)连接的用于向分立电极(17)施加电压的驱动器IC(15)。在空腔衬底(3)上，贯通地形成用于收容驱动器IC(15)的第1开口(贯通孔24)，在第1开口的壁面上形成了SiO2膜(83)。
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公开(公告)号：CN110319960B
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN201910226635.6
申请日：2019-03-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供一种能够发挥优异的力检测特性的传感器元件、传感器器件、力检测装置以及机器人。传感器元件(3)构成为，在从层叠有第一压电元件(31)和第二压电元件(32)的方向俯视观察时，第一基准电位侧面端子(391)在比通过第一信号侧面端子(394)的位置和第二信号侧面端子(392)的位置的第一轴(L3)靠近一侧的侧面(3c、3f)上，位于第一信号侧面端子(394)与第二信号侧面端子(392)之间，第二基准电位侧面端子(393)在比第一轴(L3)靠近另一侧的侧面(3d、3e)上，位于第一信号侧面端子(394)与第二信号侧面端子(392)之间。
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公开(公告)号：CN102636828A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210028988.3
申请日：2012-02-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , B81B7/0035 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供了一种波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块、光分析装置，该波长可变干涉滤波器包括：第一基板，具有固定镜；第二基板，与第一基板接合，包括可动部和固定在可动部上的可动镜；第三基板，在与第一基板相反的一侧上与第二基板接合；以及静电致动器，使可动部沿基板相对方向移位，其中，形成有使第一基板和第二基板之间的出射侧空间以及第二基板和第三基板之间的入射侧空间与外部连通的贯通孔，贯通孔被密封材料密封，以将各空间密闭为减压状态。
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公开(公告)号：CN101007461A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200710007222.6
申请日：2007-01-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14314 , B41J2002/14411
Abstract: 提供一种响应性好、并且低驱动电压的静电致动器、液滴喷出头、液滴喷出装置、静电驱动器件以及它们的制造方法。具有板状的可动电极即振动板(22)；与振动板(22)相对，关于长边方向，对于振动板(22)，具有台阶或倾斜地形成的矩形状的成为固定电极的个别电极(12)；振动板(22)通过与个别电极(12A)之间产生的静电引力，按照与个别电极(12A)接触的顺序，板厚度变薄。
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