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公开(公告)号：CN1890103A
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：CN200480035810.5
申请日：2004-12-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 公开了一种制造致动器装置的方法和液体喷射装置，其通过防止振动板分离而实现了提高的耐久性和可靠性。该方法包括在衬底的一侧上制造振动板的步骤以及在该振动板上制造由下电极、压电层和上电极构成的压电元件的步骤。振动板制造步骤包括绝缘膜形成子步骤，在该子步骤中通过溅射在衬底的所述一侧上形成锆层，将具有锆层的衬底以200mm/min或更大的速度插入加热到700℃以上的热氧化炉而使锆层热氧化，由此形成氧化锆绝缘膜。
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公开(公告)号：CN102732083A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210086787.9
申请日：2012-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: C09D11/36 , B41J2/01 , B41J2/015 , C09D11/30 , C09D11/322
Abstract: 本发明涉及一种喷墨用非水系油墨组合物及喷墨记录方法。本发明提供一种能得到金属光泽图像的耐擦性优异的记录物的喷墨用非水系油墨组合物、及使用该非水系油墨组合物的喷墨记录方法。本发明涉及的非水系油墨组合物，其特征在于，含有光亮性颜料和下述通式(1)表示的溶剂。式(1)中，R1表示碳原子数1～8的烷基，R2和R3表示甲基或乙基。
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公开(公告)号：CN100484765C
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200510131870.3
申请日：2005-12-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 伊藤牧
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/0973 , H01L41/1875 , H01L41/319
Abstract: 一种制造致动器器件的方法，包括如下步骤：在衬底的一个表面上形成振动板；和在所述振动板上形成压电元件，所述压电元件中的每一个包括下电极、压电层和上电极，并且其中，所述形成振动板的步骤包含绝缘膜形成步骤，所述绝缘膜形成步骤至少包括：膜形成步骤，用于在所述衬底的所述一个表面上形成锆层；以及热氧化步骤，用于在预定的热氧化温度下热氧化所述锆层，以形成包括氧化锆层的绝缘膜并且同时调整所述绝缘膜的应力。
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公开(公告)号：CN1323841C
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200410095567.8
申请日：2004-11-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1632 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1635 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/314 , H01L41/319 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供一种防止振动板的剥离并提高了耐久性及可靠性的液体喷头的制造方法。所述制造方法至少具有振动板形成工序，和在所述振动板上形成压电元件的压电元件形成工序，其中，所述振动板形成工序至少包括形成绝缘体膜的工序，即，在流路形成基板的一个面上，通过溅射法形成锆层，使其表面的(002)面取向度为80%以上，并热氧化锆层，形成由氧化锆构成的、并构成振动板一部分的绝缘体膜。
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公开(公告)号：CN1305677C
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN02817740.1
申请日：2002-09-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2/04593
Abstract: 本发明的目的在于提供一种可以获得良好特性、扩大材料选择范围的液体喷出装置。该装置是通过对压电体附加电压使压力室收缩以喷出液体的液体喷出装置，相对于所述压电体在液体喷出动作时附加的驱动波形包含：高电位期(a2)，在该高电位期附加表示超过所述压电体的矫顽电场的电场强度的电压；反向电位期(a6)，在该反向电位期附加与所述高电位期的电位极性相反或电位为零的电压。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1621233A
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN200410095567.8
申请日：2004-11-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1632 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1635 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/314 , H01L41/319 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供一种防止振动板的剥离并提高了耐久性及可靠性的液体喷头的制造方法。所述制造方法至少具有振动板形成工序，和在所述振动板上形成压电元件的压电元件形成工序，其中，所述振动板形成工序至少包括形成绝缘体膜的工序，即，在流路形成基板的一个面上，通过溅射法形成锆层，使其表面的(002)面取向度为80％以上，并热氧化锆层，形成由氧化锆构成的、并构成振动板一部分的绝缘体膜。
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公开(公告)号：CN1553859A
公开(公告)日：2004-12-08
申请号：CN02817740.1
申请日：2002-09-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2/04593
Abstract: 本发明的目的在于提供一种可以获得良好特性、扩大材料选择范围的液体喷出装置。该装置是通过对压电体附加电压使压力室收缩以喷出液体的液体喷出装置，相对于所述压电体在液体喷出动作时附加的驱动波形包含：高电位期(a2)，在该高电位期附加表示超过所述压电体的矫顽电场的电场强度的电压；反向电位期(a6)，在该反向电位期附加与所述高电位期的电位极性相反或电位为零的电压。
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公开(公告)号：CN102732083B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201210086787.9
申请日：2012-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: C09D11/36 , B41J2/01 , B41J2/015 , C09D11/30 , C09D11/322
Abstract: 本发明涉及一种喷墨用非水系油墨组合物及喷墨记录方法。本发明提供一种能得到金属光泽图像的耐擦性优异的记录物的喷墨用非水系油墨组合物、及使用该非水系油墨组合物的喷墨记录方法。本发明涉及的非水系油墨组合物，其特征在于，含有光亮性颜料和下述通式(1)表示的溶剂。式(1)中，R1表示碳原子数1～8的烷基，R2和R3表示甲基或乙基。
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公开(公告)号：CN100418772C
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200480035810.5
申请日：2004-12-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 公开了一种制造致动器装置的方法和液体喷射装置，其通过防止振动板分离而实现了提高的耐久性和可靠性。该方法包括在衬底的一侧上制造振动板的步骤以及在该振动板上制造由下电极、压电层和上电极构成的压电元件的步骤。振动板制造步骤包括绝缘膜形成子步骤，在该子步骤中通过溅射在衬底的所述一侧上形成锆层，将具有锆层的衬底以200mm/min或更大的速度插入加热到700℃以上的热氧化炉而使锆层热氧化，由此形成氧化锆绝缘膜。
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公开(公告)号：CN1323842C
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200510053843.9
申请日：2005-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种既可以提高构成压电元件的压电层的特性，又可以稳定压电层特性的致动器装置的制造方法及液体喷射装置。形成所述振动膜的工序包括通过形成锆层并且在预定温度下对该锆层进行热氧化，从而将由氧化锆形成的构成所述振动膜的最表层的绝缘膜以使其表面粗糙度Ra在1～3nm范围内地形成的工序，并且，形成所述压电元件的工序包括：通过使用溅射法在所述下电极上涂布钛来形成钛种层的工序；以及在该钛种层上涂布压电材料来形成压电体前驱体膜，并且烧结该压电体前驱体膜使其结晶，从而形成所述压电层的工序。
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