公开(公告)号：CN107078012A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580049321.3

申请日：2015-09-04

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 亚隆·P·威波 ,  提摩西·J·米勒 ,  泰美·州·普赖德 ,  克里斯多夫·N·葛兰特 ,  詹姆斯·D·史瑞斯奈 ,  查理斯·T·卡尔森

IPC: H01J37/304 ,  H01J37/317 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/681 ,  C23C14/48 ,  G06K9/6202 ,  G06T7/001 ,  G06T7/74 ,  G06T2207/30148 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/3045 ,  H01J37/3171

Abstract: 本发明提供一种用于离子注入机的主动式衬底对准系统，衬底系统包含压板；对齐装置，其经调适以选择性地移动邻近于压板安置的衬底接合表面，用于限制安置在压板上的衬底的移动；相机，其经配置以在衬底安置在压板上之前获取衬底的图像；以及控制器，其与相机和对齐装置通信，控制器可以经配置以命令对齐装置基于图像移动衬底接合表面，以用预定的方式限制衬底的移动。

公开(公告)号：CN107078012B

公开(公告)日：2019-01-22

申请号：CN201580049321.3

申请日：2015-09-04

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 亚隆·P·威波 ,  提摩西·J·米勒 ,  泰美·州·普赖德 ,  克里斯多夫·N·葛兰特 ,  詹姆斯·D·史瑞斯奈 ,  查理斯·T·卡尔森

IPC: H01J37/304 ,  H01J37/317 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明提供一种用于离子注入机的主动式衬底对准系统以及一种对准衬底的方法，衬底系统包含压板；对齐装置，其经调适以选择性地移动邻近于压板安置的衬底接合表面，用于限制安置在压板上的衬底的移动；相机，其经配置以在衬底安置在压板上之前获取衬底的图像；以及控制器，其与相机和对齐装置通信，控制器可以经配置以命令对齐装置基于图像移动衬底接合表面，以用预定的方式限制衬底的移动。本发明使用上述系统使衬底定向，以使得投射到衬底上的掺杂剂图案将置中于衬底上。