公开(公告)号：CN104662637A

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201380049471.5

申请日：2013-06-28

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 奥利佛·V·那莫佛斯奇 ,  沙杜·佩特尔 ,  查理斯·A·泰欧多尔赤克

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/317 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/1472 ,  H01J37/12 ,  H01J37/3171 ,  H01J49/062 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/151 ,  H01Q9/04 ,  Y10T428/2918 ,  Y10T428/292

Abstract: 一种复合式静电杆(302a)可包括具有长度L及截面积A的本体。所述本体可包括具有第一材料的外部部分以及具有不同于第一材料的第二材料的核心部分，且所述核心部分被所述外部部分包围，其中复合式静电杆的自然频率大于具有长度L及截面积A的石墨杆的自然频率。

公开(公告)号：CN101563767A

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200780042842.1

申请日：2007-09-21

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 查理斯·A·泰欧多尔赤克 ,  詹姆斯·R·麦克廉 ,  罗伯特·A·波特崔斯

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/682 ,  C23C14/042 ,  C23C14/48 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/31711 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/68707

Abstract: 一种系统包括：转移臂，其界定一固持平面；以及至少三个传感器，其安置于转移臂上且用于检测光罩相对于固持平面之位置。该至少三个传感器可用于判定光罩是否正确地定位于转移臂上以及判定光罩是否正确地定位于屏蔽位置。可在离子注入机中使用光罩来屏蔽工件之一些部分使其免受离子注入。

公开(公告)号：CN104662637B

公开(公告)日：2017-09-15

申请号：CN201380049471.5

申请日：2013-06-28

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 奥利佛·V·那莫佛斯奇 ,  沙杜·佩特尔 ,  查理斯·A·泰欧多尔赤克

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/317 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/1472 ,  H01J37/12 ,  H01J37/3171 ,  H01J49/062 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/151 ,  H01Q9/04 ,  Y10T428/2918 ,  Y10T428/292

Abstract: 本发明提供一种复合式静电杆与静电透镜。所述复合式静电杆可包括具有长度L及截面积A的本体。所述本体可包括具有第一材料的外部部分以及具有不同于第一材料的第二材料的核心部分，且所述核心部分被所述外部部分包围，其中复合式静电杆的自然频率大于具有长度L及截面积A的石墨杆的自然频率。