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公开(公告)号：CN116072490A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202210850031.0
申请日：2022-07-19
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/30 , H01J37/317
Abstract: 本发明涉及一种基板固定装置，其能够实现马达的小型化，并且能够精密地控制基板相对于离子束的倾斜。本发明的基板固定装置具备：固定架，其固定被照射离子束的基板；以及驱动机构，其使固定架绕规定的轴旋转，来改变所固定的基板相对于离子束的倾斜；驱动机构具备：动力源，其输出使固定架旋转的动力；减速器，其设置于从动力源到固定架的动力传递路径的中途；第一轴部件，其通过从减速器输出的动力而与固定架一起旋转；第一检测器，其检测第一轴部件的旋转动作；以及动力控制部，其基于第一检测器的检测值控制动力源。
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