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公开(公告)号：CN117665382B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410136451.1
申请日：2024-01-31
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请提供了一种功率检测电路及功率检测PCB板，涉及功率检测技术领域。本申请通过寄生电容和第一电容进行电容分压得到采样电压信号，根据电流互感器二次侧的感应电流及采样电阻电路得到采样电流信号，从而可以实现采样电压信号和采样电流信号几乎无畸变，且采样电压信号和采样电流信号之间的干扰小，具有很好的独立性，随着功率的变化，采样电流信号和采样电压信号均具有良好的线性度，从而提高功率检测的精准度和可靠性。
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公开(公告)号：CN117459012B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311776504.8
申请日：2023-12-22
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及微电子技术领域，具体而言，涉及一种阻抗匹配控制方法及相关设备，通过实时获取射频电源在当前时刻的输出电压信号和输出电流信号，即可计算倒L型匹配器在当前时刻的输入等效阻抗，并根据离化腔室的阻抗和所述射频电源的内阻进行计算，以获取最佳的射频电源的目标输出频率，并得到该目标输出频率对应的第一可调电容的目标电容值和第二可调电容的目标电容值，使得第一可调电容和第二可调电容的调节量最小，对第一可调电容和第二可调电容进行调节的同时对射频电源的输出频率进行调节，以使倒L型匹配器在调节后的输入等效阻抗与射频电源的输出阻抗相匹配，从而减少电机转动的角度，有效节约电机调节的时间，达到快速匹配的目的。
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公开(公告)号：CN117434350A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311761201.9
申请日：2023-12-20
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及阻抗检测领域，具体而言，涉及一种阻抗相位获取方法、阻抗检测方法、芯片、设备和介质，其中阻抗相位获取方法包括：获取采样电压信号和采样电流信号；对采样电压信号进行正交化处理，对采样电流信号进行正交化处理；提取两个相互正交的电压正交分量信息，提取两个相互正交的电流正交分量信息；进行反正切或反余切运算，获取电压相位信息和电流相位信息；根据电压相位信息和电流相位信息的差值获取阻抗相位信息。本申请的阻抗相位获取方法能解决二极管相位检测电路和二极管幅值检测电路对电路中的元件限制多，导致该两种电路普适性低的问题，对电路中的元件限制少且普适性高。
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公开(公告)号：CN114123734B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202210093322.X
申请日：2022-01-26
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及无线能量传输领域，公开了一种基于移相全桥拓扑的栅极控制电路，包括:移相输出模块和固定输出模块，所述移相输出模块包括移相比较模块、时延模块和占空比调节模块；所述移相比较模块的输出端和所述时延模块的输出端均与所述占空比调节模块的输入端连接；所述移相比较模块用于调整标准PWM信号的占空比；所述时延模块用于调整标准PWM信号的延时时间；所述占空比调节模块用于将被调整了占空比和延时时间的PWM信号进行进一步调整，以得到具有50%占空比的PWM信号；所述固定输出模块用于输出标准PWM信号，所述移相输出模块用于输出经过移相的PWM信号；本发明具有信号传输逻辑直观、响应速度快等有益效果。
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公开(公告)号：CN117907667B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410322201.7
申请日：2024-03-20
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及射频电源采样领域，具体而言，涉及一种采集装置，采集装置包括导线和外壳，导线的一端与射频电源的输出端连接，另一端连接负载电路，外壳具有圆柱形的腔体，导线穿过腔体中心且与外壳同轴设置，并不与外壳接触，外壳接地；采集装置还包括同轴探头和电流采样线；同轴探头设置在腔体外部，其包括：线圈，其第一端穿过外壳、垂直于导线轴向并进入腔体，其第二端接地；电流采样线的第一端输出采样电流信号，第二端接地。本申请的采集装置能解决现有的射频电源电流采样方法采样得到的信号波形畸变严重的问题，能达到基于外壳的屏蔽作用使腔体内部通过导线的电流信号不对在腔体外部进行的电流采样过程产生干扰的效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116190190B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310455632.6
申请日：2023-04-25
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种自动阻抗匹配方法、装置、系统、电子设备及存储介质，包括以下步骤：获取负载端的相位信息UPhase以及幅值信息UMAG，根据相位信息UPhase和幅值信息UMAG计算获取阻抗判断信息Urms；在阻抗判断信息大于预设的匹配电压阈值时，重复执行第一调节命令，直到阻抗判断信息小于或等于匹配电压阈值；第一调节命令包括：仅调节第一可调电容C1，使阻抗判断信息Urms调节至极小值；仅调节第二可调电容C2或第三可调电容C3，使阻抗判断信息Urms调节至极小值，该方法通过循环调整使阻抗判断信息Urms产生新的最小值直到小于或等于匹配电压阈值，从而快速实现阻抗匹配。
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公开(公告)号：CN112151351A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202011332509.8
申请日：2020-11-24
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开了一种抑制电磁干扰及漏波的结构、射频电源及等离子刻蚀设备，通过在射频电源壳体的所有内壁上采用金属化的蜂窝状网络凹腔阵列，当干扰信号入射到蜂窝凹腔结构时，会对干扰信号功率产生衰减，并会产生多重反射及散射，从而抑制射频电源对外部的电磁干扰扰动及漏波危害，满足射频电源壳体对电磁干扰及漏波屏蔽的要求。
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公开(公告)号：CN112087159A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN202011279291.4
申请日：2020-11-16
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开了一种用于射频电源的漏波检测电路、方法及射频电源，在天线接收到外界的漏波能量后，通过传输线输入到内部电路，依次进行滤波、放大、整流、检波处理，检波后的功率值在比较控制器中进行比较，若功率值高于阈值，则判定泄露电磁波较高，对设备及人体可能造成伤害，随后通过调整占空比对功率进行控制并进行显性警告，以解决射频电源的漏波辐射对人体造成的安全隐患的问题。
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公开(公告)号：CN119199252B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202411541043.0
申请日：2024-10-31
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请属于检测信号功率的技术领域，公开了一种高频信号功率检测方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：获取高频信号的电压信号数字量和电流信号数字量，利用多周期有效值的分段积分法，计算得到电压有效值、电流有效值和合成信号有效值，通过预设的三角形求内角公式，计算得到相位差信息，基于预设的实际电压计算公式和预设的实际电流计算公式，计算得到实际电压和实际电流，根据预设的高频信号功率计算公式，计算得到高频信号功率；通过多周期有效值的分段积分法、三角形求内角公式、实际电压计算公式、实际电流计算公式和高频信号功率计算公式，对高频信号进行功率检测，提高了高频信号的功率检测效率。
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公开(公告)号：CN117978104B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410369102.4
申请日：2024-03-28
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及射频技术领域，具体而言，涉及一种具有温度补偿功能的供电电路和射频放大器，其中供电电路包括第一放大模块、温敏模块、第二放大模块和分压模块；温敏模块包括：热敏电阻，与mos管贴合，其一端通过分压模块与供电电压连接，另一端接地;第一电阻，与热敏电阻并联连接；第二放大模块包括：第二电阻；第三电阻；第一比较器，其反相输入端分别通过第二电阻和第三电阻与热敏电阻的一端和第一放大模块的输出端连接；第四电阻。本申请的供电电路能解决射频放大电路中的mos管发热导致mos管的性能下降，射频放大电路可靠性降低的问题，能达到确保射频放大电路工作过程中mos管性能好且射频放大电路可靠性高的效果。
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