基板检查装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1862319A

    公开(公告)日:2006-11-15

    申请号:CN200610080181.9

    申请日:2006-05-10

    Inventor: 城崎修哉

    Abstract: 本发明的基板检查装置包括:悬浮台,其用于使基板悬浮;观察单元,其用于对在所述悬浮台上进行搬送的所述基板的上表面进行观察;透射照明光源,其用于对所述基板从所述基板的下表面照射照明光;照明光通过部,其形成于所述悬浮台,并由所述照明光可以通过的间隙构成;以及透射部件,其嵌入在所述照明光通过部中,并可以使所述照明光透射。

    大型基板保持架
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1532532A

    公开(公告)日:2004-09-29

    申请号:CN200410030048.3

    申请日:2004-03-18

    Inventor: 城崎修哉

    Abstract: 本发明提供一种大型基板保持架。该大型基板保持架中安装有振动吸收构件(8)。其中,在设置于基板保持架本体(2)的开口部(3)内的多个棂条(4)之间,压入了吸收由外在原因及内在原因产生的振动的多个橡胶(9)。

    基板检查装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100428001C

    公开(公告)日:2008-10-22

    申请号:CN200610080181.9

    申请日:2006-05-10

    Inventor: 城崎修哉

    Abstract: 本发明的基板检查装置包括:悬浮台,其用于通过空气使基板悬浮;观察单元,其用于对在所述悬浮台上进行搬送的所述基板的上表面进行观察;透射照明光源,其用于对所述基板从所述基板的下表面照射照明光;照明光通过部,其形成为沿上下方向贯通所述悬浮台,并由所述照明光可以通过的间隙构成;以及透射部件,其用于使所述照明光透射;所述透射部件以封闭所述间隙的方式嵌入该间隙中。

    操纵器及其关节结构
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110769990B

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN201780092215.2

    申请日:2017-06-21

    Abstract: 本发明提高抵抗施加于滑轮的轴的弯曲力的刚性、对操作线施加充分的牵引力,本发明的操纵器的关节结构(1)包括:通过滚动接触可摆动地连结的2个摆动部件(2,3);彼此平行的2个以上的轴(51,52),其用于在摆动部件(2,3)之间构成2个以上的弯曲关节部(4);绕各轴(51,52)的长度方向轴线可旋转地被支承的、用于卷绕操作线的滑轮(71,72);和架设在邻接的2个轴(51,52)之间的、绕各轴(51,52)的长度方向轴线可摆动地安装的1个以上的连接部件(6),连接部件(6)包括分别配置于在长度方向轴线方向上隔着滑轮(71,72)的位置的2个支承部(61)和将支承部(61)彼此连结的连结部(62)。

    基板保持架
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1532532B

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN200410030048.3

    申请日:2004-03-18

    Inventor: 城崎修哉

    Abstract: 本发明提供一种大型基板保持架。该大型基板保持架中安装有振动吸收构件(8)。其中,在设置于基板保持架本体(2)的开口部(3)内的多个棂条(4)之间,压入了吸收由外在原因及内在原因产生的振动的多个橡胶(9)。

    基板检查装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101517400A

    公开(公告)日:2009-08-26

    申请号:CN200780034920.3

    申请日:2007-09-21

    Inventor: 城崎修哉

    CPC classification number: G01N21/896 G01N2201/021

    Abstract: 提供即使基板大型化也能够通过车辆方便地进行运输并在运输目的地简单地进行组装、并且能够降低运费的基板检查装置。该基板检查装置具有:检查单元,其在检查基座上一体地组装有:对与基板传送方向垂直的检查线进行检查的检查头、支撑该检查头的机架、以及使基板浮起固定高度的检查用浮台部;以及传送单元,其以能够装卸的方式组装在机架的脚部与检查用浮台部之间的检查基座上,沿着传送基板的传送路径的一侧边缘,相对于检查单元配置成T字形,保持基板使其沿传送方向移动,在通过车辆进行运输时,能够以单元为单位来分解并运输传送单元和检查单元。

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