公开(公告)号：CN1415780A

公开(公告)日：2003-05-07

申请号：CN02137608.5

申请日：2002-10-24

Applicant: 复旦大学

Inventor： 陈良尧 ,  李申初 ,  谌达定 ,  王松有 ,  郑玉祥 ,  张荣君 ,  李晶 ,  朱伟丹 ,  杨月梅

IPC: C23C14/54 ,  G01B11/02 ,  H01P1/20

Abstract: 本发明是一种纳米特性薄膜器件的制备方法。本方法采用高速动态光谱仪，对制备过程中的器件光谱特性随工艺的变化进行实时快速检测和分析。在1400－1600nm的红外通讯波段，实现以≤1秒时间和优于0.1nm的光谱分辨率，获得器件各膜层折射率、透射、反射、光谱带宽、线形和层厚等参数随工艺条件变化的关系，进而对影响薄膜器件特性的因素进行实时精确控制和调整。系统具有长时间工作的高可靠性和极好的纳米器件光谱数据的重复性。