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公开(公告)号：CN105116843B
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201510405398.1
申请日：2015-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。本发明涉及一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。所述控制方法包括以下六个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制两个旋转电机的旋转角度参数；所述两个旋转电机分别是定旋转电机与动旋转电机，所述定旋转电机固定在台体上，定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接，所述动旋转电机的转子通过水平方向可伸缩线缆与直线电机连接，所述直线电机在直线电机导轨上运动，所述直线电机导轨安装在台体的左侧边。本发明用于直线电机与旋转电机的同步控制。
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公开(公告)号：CN105160069A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510474812.4
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 一种基于改进的紧凑式教学优化算法的机械参数软测量方法，涉及制造领域的机械安装参数软测量。为了解决系统零件安装完成后用传统的传感器和测量方法常常难于测量其安装机械参数的问题。所述方法包括：建立待测系统模型，确定需测量的机械参数；测量系统模型中可以直接测得的参数，代入系统模型中，建立模型方程；建立优化算法目标函数；测量待测系统的n组输入和对应的n组输出，代入目标函数；采用改进的紧凑式教学优化算法迭代过程；将获得的结果对应到需测量的机械参数。本发明用于机械系统中测量机械参数。
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公开(公告)号：CN105137873A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510517576.X
申请日：2015-08-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/042
CPC classification number: G05B19/0421
Abstract: 多板卡同步顺序读取多路传感器数据的方法。它属于半导体制造装备的信号采集与数据通信的技术领域。其方法步骤一：将数据赋予不同的地址编码后存储在RAM内；二：DSP模块每隔200us发出一次读数请求；三：光栅数据地址编码发送模块子程序或激光干涉仪数据地址编码发送模块子程序将VME总线上的数据锁存信号置高；四：光栅数据地址编码发送模块子程序或激光干涉仪数据地址编码发送模块子程序发送要读取数据的地址编码；五：将数据读写到RAM中；六：重复执行步骤四和五，将所有路数据依次读完；七：RAM内的数据传送到DSP模块内。本发明地址线和信号线的更改权仅由主卡拥有，不会发生多卡之间的总线竞争；各卡以地址线发生变化触发读数，保证了读数的同步性。
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公开(公告)号：CN105137855A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510454666.9
申请日：2015-07-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/042
CPC classification number: G05B19/0421 , G05B2219/1208
Abstract: 多板卡同步读取电容传感器的实现方法，属于高精度运动控制系统的信号采集与数据通信技术领域，本发明为解决现有技术读取多路电容器数据无法保证其同步性，导致微动台控制精度差的问题。本发明方法包括以下步骤：步骤一：当运动控制卡接收到同步触发信号的上升沿时，三个电容传感器给板卡发送当前测量的数据，经过串口电平转换电路到达FPGA模块引脚上，存储在双口RAM里，并且在接收数据完成后输出接收完成信号；步骤二：产生的接收完成信号触发DSP模块外部中断，在DSP模块中断程序中会将存储在双口RAM里的数据读取到DSP模块中，完成同步读取多路电容传感器信号的过程。
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公开(公告)号：CN104965394A
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201510471721.5
申请日：2015-08-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种双工件台系统换台过程控制方法，本发明属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤为：第一工件台移动到左侧预处理工作位置处；第二工件台移动到右侧曝光工作位置处；第一X向移动平台移动到左侧换卡位置处，第二X向移动平台移动到右侧换卡位置处；公转电机带动第一工件台和第二工件台逆时针旋转180度；第二工件台移动到左侧预处理工作位置处；第一工件台移动到右侧曝光工作位置处；公转电机带动第一工件台和第二工件台顺时针旋转180度。本发明方法采用回转换台方案，与直线换台方案相比，减少了换台过程中对台体的冲击，减少了换台时间，提高了工件台定位精度，对增加光刻机产率起到了至关重要的作用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103399466A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201310351197.9
申请日：2013-08-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种工件台宏动部分三自由度解耦建模方法，主要涉及的是一种光刻机工件台宏动部分三自由度解耦建模方法。本发明是要解决光刻机工件台宏动部分水平方向二组Y方向直线电机和一组X方向直线电机的解耦建模问题。一、根据工件台宏动部分三自由度解耦建模结构示意图计算质量块1和质量块2相对于起始点O的位置；二、根据步骤一所得的位置关系导出质量块1和质量块2的速度；三、根据步骤二所得结果导出系统总动能；四、根据步骤三的结果得出系统的惯性矩阵；五、根据步骤四的结果导出克里奥利斯和离心力矩阵；六、根据步骤四和步骤五的结果导出由电机控制力到坐标x，y的关系式。本发明属于超精密制造领域。
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公开(公告)号：CN104935218B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201510405399.6
申请日：2015-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02P5/56
Abstract: 一种双旋转电机系统的主从控制方法。本发明涉及一种双旋转电机系统的主从控制方法。所述双旋转电机系统包括定旋转电机、动旋转电机、旋转电机连接杆及台体，所述定旋转电机固定在台体上，所述定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接；所述控制方法包括七个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制定旋转电机的旋转角度参数；步骤三：利用双速旋转变压器及其角位变送器来采集定旋转电机的旋转角度数据，将传感器采集的旋转角度数据通过运动控制卡系统进行数据转换，并实时读取定旋转电机旋转角度数据。本发明用于双旋转电机系统的主从控制。
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公开(公告)号：CN105182906A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510615768.4
申请日：2015-09-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/19
CPC classification number: G05B19/19
Abstract: 基于高阶S型运动轨迹的位置与速度控制方法，属于精密运动控制领域。为了解决利用传统的轨迹规划算法的位置与速度控制方法的可移植性差的问题。所述控制方法包括：一：根据第N阶S曲线的限定值求取第N阶S曲线在各分段点的值S(N)[k]；二：求取第k个分段点对应的时间值T[k]和第n阶S曲线在第k个分段点的值S(n)[k]；三：对确定T[k]和S(n)[k]的S曲线进行采样，获得规划后的N阶S型运动轨迹；四：根据规划后的N阶S型运动轨迹，利用位置的采样值、位置的第1阶导数的采样值分别对位置与速度进行控制。本发明用于运动机构位置与速度的控制。
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公开(公告)号：CN105129428A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510475167.8
申请日：2015-08-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B65G51/01
Abstract: 一种二次平台的气垫搬运装置，本发明属于气垫搬运的技术领域。它的圆环形橡胶气囊的上表面上设置有进气孔，圆环形橡胶气囊的圆环内侧表面上设置有出气孔，圆环形橡胶气囊的上端面与承载板的先端面连接，使支撑架外围表面与圆环形橡胶气囊内圆面之间有环形空腔，比例电磁调压阀的出气端口与圆环形橡胶气囊的进气孔连通；位移传感器安装在承载板上，工控机的比例电磁阀控制数据输出端通过DA板卡、比例电磁阀控制器与比例电磁调压阀电控驱动输入端连接。本发明的在承载负载移动时几乎没有摩擦，载荷浮在一层气体薄膜之上；负载可以沿360度中的任意方向转向、可以沿任意方向行走，非常适合在狭窄空间内输送负载；承载能力大，可达数十吨。
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公开(公告)号：CN105116843A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201510405398.1
申请日：2015-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
CPC classification number: G05B19/414
Abstract: 一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。本发明涉及一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。所述控制方法包括以下六个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制两个旋转电机的旋转角度参数；所述两个旋转电机分别是定旋转电机与动旋转电机，所述定旋转电机固定在台体上，定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接，所述动旋转电机的转子通过水平方向可伸缩线缆与直线电机连接，所述直线电机在直线电机导轨上运动，所述直线电机导轨安装在台体的左侧边。本发明用于直线电机与旋转电机的同步控制。
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