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公开(公告)号：CN118348099A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410449187.7
申请日：2024-04-15
Applicant: 厦门大学
IPC: G01N27/48 , G01N27/416 , G01B7/06 , C25D7/12 , C25D21/12
Abstract: 本发明属于电镀技术领域，具体公开了一种原位评估圆片级电镀过程传质能力的测量系统及方法，其中测量系统为三电极测量系统，包括圆片电极、参比电极以及电镀装置中的阳极，所述圆片电极上设置多个微电极和1个面电极，所述微电极嵌入面电极中，所述微电极和面电极之间存在空气间隙，二者电气隔离并可分别独立供电。本发明可实现独立对圆片级电镀过程的传质能力进行原位测量与表征；本发明可以对圆片平面电镀工艺、铜大马士革互连电镀工艺、TSV/TGV孔电镀铜工艺等电镀过程传质能力进行原位测量与表征；本发明支持电镀装备传质系统、电镀添加剂与配方等设计开发。
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公开(公告)号：CN116913861A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310899435.3
申请日：2023-07-21
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L21/768
Abstract: 本发明属于晶圆级封装技术领域，具体公开了一种TSV/TGV微通孔金属化方法，具体包括：清洗衬底材料保持衬底表面洁净；将衬底材料烘干后打孔，打孔完成后再进行清洗烘干；对衬底材料表面以及通孔进行绝缘层的沉积；对衬底材料表面以及通孔进行阻挡层和种子层的沉积；将衬底材料放入浸润槽中，然后对浸润槽进行抽真空，持续时间为20‑60min,直至衬底表面没有气泡产生；设置多段电流密度和时间进行电镀。本发明通过设置多段电流密度和时间，调整通孔两端的电力线密度，精准控制桥连位置，完成多种方法的部分实心填充。
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公开(公告)号：CN104646006A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201310597078.1
申请日：2013-11-22
Applicant: 中国石油天然气股份有限公司 , 厦门大学
Inventor： 方维平 , 赵愉生 , 赖伟坤 , 赵元生 , 许颖睿 , 张志国 , 伊晓东 , 周志远 , 王燕 , 于双林 , 张春光 , 程涛 , 谭青峰 , 崔瑞利 , 范建光 , 刘佳澎 , 任春晓 , 魏静
IPC: B01J23/883 , B01J35/10 , C10G45/08
Abstract: 本发明涉及一种负载型加氢脱氮催化剂及其制备方法；由活性组分Mo、Ni及复合型载体SiO2-Al2O3组成，各组分相对重量含量为：Mo 10%～20%，Ni 2%～8%，SiO2 20%～50%，余为Al2O3；将铝源、硅源与尿素溶解搅拌，加入淀粉混合搅拌均匀，再将镍钼前驱体直接引入混合体系，最后经干燥焙烧制成催化剂；所制催化剂比表面积220-340m2/g，孔体积0.4-0.6cm3/g，且催化剂具有较好的分散性及可调变的酸性，本方法的优点在于催化剂制备工艺简单，载体及催化剂一步形成，制备周期短，制备过程节省大量用水，大幅度降低生产成本，且所制催化剂具有较高的加氢脱氮活性。
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公开(公告)号：CN115627527A
公开(公告)日：2023-01-20
申请号：CN202211135585.9
申请日：2022-09-19
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种高饱和磁化强度锌掺杂镍铁氧体薄膜及其制备方法，涉及磁性半导体薄膜材料技术领域，方法包括如下步骤：将NiO、ZnO和Fe2O3多晶粉末混合，使用固体烧结法，获得圆片形锌掺杂镍铁氧体多晶靶材；在少量氧气存在的条件下，以所述锌掺杂镍铁氧体多晶靶为靶材，利用脉冲激光沉积法在MgAl2O4衬底上获得所述薄膜。本发明所制得的薄膜成分、厚度可控，具有绝缘亚铁磁性，其室温饱和磁化强度高达441.62emu/cm3，有助于指导制备具有室温亚铁磁性的铁氧体薄膜材料，有助于进一步推动自旋电子器件材料的发展。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104646059A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201310597614.8
申请日：2013-11-22
Applicant: 中国石油天然气股份有限公司 , 厦门大学
Inventor： 方维平 , 赵愉生 , 郑进保 , 赵元生 , 伊晓东 , 周志远 , 张志国 , 王燕 , 程涛 , 张春光 , 于双林 , 谭青峰 , 崔瑞利 , 范建光 , 刘佳澎 , 任春晓 , 魏静
Abstract: 本发明涉及一种含杂多酸铯盐加氢裂化催化剂及其制备和应用，将拟薄水铝石与水混合后，加入水溶性镍盐、水溶性铯盐溶液，接着加入杂多酸水溶液，搅拌蒸干、焙烧，即得负载型加氢裂化催化剂；该方法制备工艺简单，缩短了制备周期，节省了大量洗涤用水，该加氢裂化催化剂的酸性组分为磷钨酸铯盐，加氢组分为镍；按质量百分比催化剂各组分的含量为酸性组分30～50%,加氢组分3～8%,其余量为载体，催化剂应用于加氢裂化反应的催化性能明显高于参比的催化剂，并表现出高的抗硫抗氮性能。
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公开(公告)号：CN104646006B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201310597078.1
申请日：2013-11-22
Applicant: 中国石油天然气股份有限公司 , 厦门大学
Inventor： 方维平 , 赵愉生 , 赖伟坤 , 赵元生 , 许颖睿 , 张志国 , 伊晓东 , 周志远 , 王燕 , 于双林 , 张春光 , 程涛 , 谭青峰 , 崔瑞利 , 范建光 , 刘佳澎 , 任春晓 , 魏静
IPC: B01J23/883 , B01J35/10 , C10G45/08
Abstract: 本发明涉及一种负载型加氢脱氮催化剂及其制备方法；由活性组分Mo、Ni及复合型载体SiO2‑Al2O3组成，各组分相对重量含量为：Mo10%～20%，Ni2%～8%，SiO220%～50%，余为Al2O3；将铝源、硅源与尿素溶解搅拌，加入淀粉混合搅拌均匀，再将镍钼前驱体直接引入混合体系，最后经干燥焙烧制成催化剂；所制催化剂比表面积220‑340m2/g，孔体积0.4‑0.6cm3/g，且催化剂具有较好的分散性及可调变的酸性，本方法的优点在于催化剂制备工艺简单，载体及催化剂一步形成，制备周期短，制备过程节省大量用水，大幅度降低生产成本，且所制催化剂具有较高的加氢脱氮活性。
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公开(公告)号：CN104646043A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201310597064.X
申请日：2013-11-22
Applicant: 中国石油天然气股份有限公司 , 厦门大学
Inventor： 伊晓东 , 赵愉生 , 方维平 , 赵元生 , 周志远 , 张志国 , 王燕 , 任春晓 , 张春光 , 程涛 , 于双林 , 谭青峰 , 范建光 , 崔瑞利 , 刘佳澎 , 魏静
IPC: B01J27/188 , B01J27/19
Abstract: 本发明涉及一种溶胶凝胶法制备加氢裂化催化剂的方法；以正硅酸乙酯为氧化硅硅源，以杂多酸铯盐作为酸性组分，镍为加氢组分，柠檬酸为络合剂，催化剂各组分按质量百分比含量为酸性组分10%～50%，加氢组分5%～10%，余量为载体；本制备方法，不仅具有制备方法简单，重复性好，比表面积大和金属组份分散性好，催化性能较高和抗硫抗氮性强的特点，而且采用磷钨酸铯盐作为酸性组分，其热稳定性也较高，在反应过程中不易流失。
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公开(公告)号：CN115627527B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202211135585.9
申请日：2022-09-19
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种高饱和磁化强度锌掺杂镍铁氧体薄膜及其制备方法，涉及磁性半导体薄膜材料技术领域，方法包括如下步骤：将NiO、ZnO和Fe2O3多晶粉末混合，使用固体烧结法，获得圆片形锌掺杂镍铁氧体多晶靶材；在少量氧气存在的条件下，以所述锌掺杂镍铁氧体多晶靶为靶材，利用脉冲激光沉积法在MgAl2O4衬底上获得所述薄膜。本发明所制得的薄膜成分、厚度可控，具有绝缘亚铁磁性，其室温饱和磁化强度高达441.62emu/cm3，有助于指导制备具有室温亚铁磁性的铁氧体薄膜材料，有助于进一步推动自旋电子器件材料的发展。
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