一种氮化镓器件形成方法及氮化镓器件

    公开(公告)号:CN119789623A

    公开(公告)日:2025-04-08

    申请号:CN202411969264.8

    申请日:2024-12-30

    Abstract: 本发明涉及半导体制造技术领域,具体涉及一种氮化镓器件形成方法及氮化镓器件。本发明提供的氮化镓器件的形成方法,包括以下步骤:提供待刻蚀基体;待刻蚀基体至少包括层叠设置的:衬底层、第一导电类型氮化镓层、量子阱层和第二导电类型氮化镓层;干法刻蚀待刻蚀基体;在刻蚀气体环境下,通过电感耦合等离子刻蚀,在待刻蚀基体形成刻蚀槽,使待刻蚀基体形成初步刻蚀器件;其中化学腐蚀与物理轰击共同作用;损伤修复;在修复气体环境下,通过电感耦合等离子刻蚀,使初步刻蚀器件形成目标刻蚀器件。其中化学腐蚀起主导作用。本发明可以解决干法刻蚀氮化镓器件会对产品结构侧壁造成损伤,加重侧壁缺陷,导致非辐射复合几率变大的问题。

    一种显示面板及其制备方法

    公开(公告)号:CN115249725B

    公开(公告)日:2025-03-25

    申请号:CN202211043484.9

    申请日:2022-08-29

    Abstract: 本发明提供一种显示面板及其制备方法,制备方法包括:提供第一基板,第一基板的一侧有若干间隔的Mi cro‑LED芯片;提供第二基板,第二基板的一侧表面有若干导电层;在第二基板上形成隔离层,隔离层中有若干开口组,每个开口组均包括暴露出导电层的表面的第一开口和第二开口,第一开口的宽度小于P型电极的宽度,第二开口的宽度小于N型电极的宽度;在第一开口中形成第一键合层,在第二开口中形成第二键合层;以隔离层对芯片本体支撑将P型电极与第一键合层进行键合的同时将N型电极与第二键合层进行键合,P型电极嵌入第一键合层中,N型电极嵌入第二键合层中。所述方法避免M i cro‑LED芯片与第一键合层、第二键合层之间键合失效。

    一种发光器件及制备方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118919624A

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202410977433.6

    申请日:2024-07-19

    Abstract: 本发明涉及半导体光电器件技术领域,公开了一种发光器件及制备方法,该发光器件包括衬底层、缓冲层、多孔化结构及发光结构层,缓冲层位于衬底层一侧表面,缓冲层上具有目标区域;多孔化结构嵌于目标区域内,多孔化结构包括氮化镓柱,且氮化镓柱具有纳米孔;发光结构层位于氮化镓柱背离衬底层的一侧表面,发光结构层包括第一掺杂半导体层、发光层及第二掺杂半导体层,第一掺杂半导体层位于氮化镓柱背离衬底层的一侧表面,发光层位于第一掺杂半导体层和第二掺杂半导体层之间,第一掺杂半导体层的导电类型和第二掺杂半导体层的导电类型相反。本发明减少了大面积多孔化造成的孔径不均匀的情况,进而减少了应力弛豫程度不均匀的情况。

    一种Micro-LED芯片及其制备方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118073497A

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202410396770.6

    申请日:2024-04-02

    Abstract: 本发明提供一种Mi cro‑LED芯片及其制备方法。Mi cro‑LED芯片包括:衬底层;位于衬底层上的发光结构;发光结构在平行于衬底层的截面上的图形为多边形;发光结构包括:N型GaN层;位于衬底层一侧表面;I nGaN有源层,位于部分N型GaN层背离衬底层的一侧表面;P型GaN层,位于I nGaN有源层背离所述N型GaN层的一侧表面;发光结构的侧壁与衬底层的表面垂直,且在GaN六方晶系内,侧壁所在的平面属于{11‑20}的晶面族。本发明提供的Mi cro‑LED芯片的发光效率高。

    一种LED芯片及其制备方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117276436A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311222695.3

    申请日:2023-09-20

    Abstract: 本发明提供一种LED芯片及其制备方法。LED芯片包括:层叠的半导体衬底层、半导体缓冲层以及N型GaN层,N型GaN层远离所述半导体衬底层一侧的部分厚度中具有多孔GaN区域,多孔GaN区域具有若干孔;N型InGaN六棱锥层,阵列排布于多孔GaN区域上。本发明提供的LED芯片可以在多孔GaN区域上得到有更多In含量(超过20%)的N型InGaN六棱锥层阵列,进而得到高In含量的InGaN量子阱层,使InGaN量子阱层中In含量在25~35%,从而实现良好的红光LED。

    一种全彩有源寻址Micro-LED芯片结构及其制作方法

    公开(公告)号:CN112117356A

    公开(公告)日:2020-12-22

    申请号:CN202010813127.0

    申请日:2020-08-13

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明涉及一种全彩有源寻址Micro‑LED芯片结构及其制作方法,包括具有驱动电路阵列的支撑衬底、位于支撑衬底上的堆叠层,以及贯穿堆叠层与驱动电路阵列连接的互联电极,其中堆叠层从下至上包括有衬底金属键合层、多色发光外延层上下表面覆盖有透明导电层的多层夹心结构、介质填充层、滤光层、钝化层,互联电极包括连接第一外延层的p型面与驱动像素的阵列电极、连接第二外延层p型面与驱动像素的贯穿阵列电极、连接第三外延层p型面与驱动像素的贯穿阵列电极、贯穿堆叠层分别与多色发光外延层n型面连接的共用电极。本发明技术方案可制造出高分辨率且高效的全彩驱动融合Micro‑LED芯片。

    磷胺类寡糖非还原胺化衍生试剂及其寡糖衍生化方法

    公开(公告)号:CN110118848A

    公开(公告)日:2019-08-13

    申请号:CN201910414707.X

    申请日:2019-05-17

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 磷胺类寡糖非还原胺化衍生试剂及其寡糖衍生化方法,涉及寡糖非还原胺化衍生试剂。所述磷胺类寡糖非还原胺化衍生试剂包括季磷盐酰肼类化合物和季磷盐氧胺类化合物。以麦芽五糖为寡糖模型,将季磷盐酰肼类或季磷盐氧胺类寡糖衍生化试剂的水-甲醇溶液与麦芽五糖水溶液混合,水浴反应,利用MALDI-MS考察季磷盐酰肼类寡糖衍生化试剂对麦芽五糖的衍生化效果;以核糖核酸酶B上连接的寡糖及鸡卵清蛋白上连接的寡糖为寡糖来源,考察对高分子量寡糖、复杂寡糖库的衍生化效果及质谱增敏效应。可广泛应用到各种还原性寡糖及复杂寡糖库;一步衍生化;反应时间短。采用LC-ESI-MS中的色谱峰面积计算衍生化效率而非质谱强度,结果更为准确。

    一种尺寸密度可控铝纳米颗粒阵列的制备方法

    公开(公告)号:CN103320753B

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201310250357.0

    申请日:2013-06-21

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种尺寸密度可控铝纳米颗粒阵列的制备方法,涉及铝纳颗粒阵列的制备方法。提供可实现颗粒尺寸密度可调的一种尺寸密度可控铝纳米颗粒阵列的制备方法。在E-Beam生长腔体中,放入样品台,然后将衬底放置于样品台上;将铝置于E-Beam生长腔体内,用高能电子束轰击膜料铝,使之表面产生很高的温度后由固态直接升华到气态,并沉积在衬底上,完成尺寸密度可控铝纳米颗粒阵列的制备。采用调整放置衬底的样品台倾角的方法,可实现尺寸密度可调控的金属纳米颗粒阵列的制备。制得铝纳米颗粒阵列纳米颗粒尺寸密度可调控,有利于制备电学/光电器件。制备条件简单,不需要复杂设备,在规模化工业生产中具有良好的应用前景。

    一种纳米结构量子态电注入发光测试方法

    公开(公告)号:CN102590559A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201210026594.4

    申请日:2012-02-07

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种纳米结构量子态电注入发光测试方法,涉及一种材料器件电光性能测试方法。提供一种可针对纳米结构中单一量子态进行电注入发光的高空间分辨率、高能量分辨率测试的纳米结构量子态电注入发光测试方法。以双扫描隧道探针、高移动精度的光纤、高分辨率扫描电子显微镜、样品台及光谱仪作为联合实验平台,采用双扫描隧道探针作为电注入端、探针与样品间所产生的隧道电流作为注入电流、光纤作为光信号收集端。选取待测微区,选取待测纳米结构,光纤定位,双探针定位,高能量分辨率电注入发光测试,高空间分辨率载流子选择性注入测试。

Patent Agency Ranking