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公开(公告)号：CN110079838B
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201910329836.9
申请日：2019-04-23
Applicant: 北京控制工程研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于电铸镍复制制造掠入射软X射线反射镜片的工艺，工艺流程为芯轴模具镀金→电铸镍镜壳→镜片端面修平→镜片脱模，可以获得厚度0.3～1.5mm(各处偏差最大0.1mm)、镜面粗糙度优于RMS0.5nm、低内应力变形小的单次反射或二次反射镜片。本发明在芯轴模具镀金前对其进行自然钝化，减小镀金层与芯轴模具的结合力，有利于脱模；电铸镍镜壳前在芯轴模具两端面贴覆绝缘塑料挡边，控制电铸的边缘效应；电铸时进行内应力监控并采取控制措施，保证电铸层较低的内应力状态；采用增大芯轴模具/镜片降温温差和简易脱模工装分别增加径向和轴向脱模应力，提高脱模成功率。
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公开(公告)号：CN110125615B
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201910329799.1
申请日：2019-04-23
Applicant: 北京控制工程研究所
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明涉及用于复制制造掠入射反射镜片的亚纳米级芯轴及制造工艺，该芯轴由镜片复制段和其两端面的夹头段组成，芯轴上设有盲孔，该盲孔沿芯轴轴线贯穿小端夹头段和镜片复制段，所述芯轴一端夹头段沿芯轴轴线平行的方向设有制造工艺各步骤通用的统一装夹接口，另一端夹头段沿与芯轴轴线垂直的方向设有制造工艺各步骤通用的统一装夹接口。制造工艺包括：根据芯轴双夹头接口及内部结构进行芯轴的粗加工，然后进行高低温处理，其后精密车削，然后超精密车削，然后在芯轴表面镀镍磷合金，然后再次进行超精密车削，然后进行磁流变修形抛光以及手动保形抛光，完成掠入射亚纳米级芯轴的加工。本发明保证了芯轴的亚纳米级表面精度并可提高后续反射镜片脱模的成功率。
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公开(公告)号：CN110125615A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910329799.1
申请日：2019-04-23
Applicant: 北京控制工程研究所
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明涉及用于复制制造掠入射反射镜片的亚纳米级芯轴及制造工艺，该芯轴由镜片复制段和其两端面的夹头段组成，芯轴上设有盲孔，该盲孔沿芯轴轴线贯穿小端夹头段和镜片复制段，所述芯轴一端夹头段沿芯轴轴线平行的方向设有制造工艺各步骤通用的统一装夹接口，另一端夹头段沿与芯轴轴线垂直的方向设有制造工艺各步骤通用的统一装夹接口。制造工艺包括：根据芯轴双夹头接口及内部结构进行芯轴的粗加工，然后进行高低温处理，其后精密车削，然后超精密车削，然后在芯轴表面镀镍磷合金，然后再次进行超精密车削，然后进行磁流变修形抛光以及手动保形抛光，完成掠入射亚纳米级芯轴的加工。本发明保证了芯轴的亚纳米级表面精度并可提高后续反射镜片脱模的成功率。
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公开(公告)号：CN110079838A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910329836.9
申请日：2019-04-23
Applicant: 北京控制工程研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于电铸镍复制制造掠入射软X射线反射镜片的工艺，工艺流程为芯轴模具镀金→电铸镍镜壳→镜片端面修平→镜片脱模，可以获得厚度0.3～1.5mm(各处偏差最大0.1mm)、镜面粗糙度优于RMS0.5nm、低内应力变形小的单次反射或二次反射镜片。本发明在芯轴模具镀金前对其进行自然钝化，减小镀金层与芯轴模具的结合力，有利于脱模；电铸镍镜壳前在芯轴模具两端面贴覆绝缘塑料挡边，控制电铸的边缘效应；电铸时进行内应力监控并采取控制措施，保证电铸层较低的内应力状态；采用增大芯轴模具/镜片降温温差和简易脱模工装分别增加径向和轴向脱模应力，提高脱模成功率。
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