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公开(公告)号：CN111587085B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN201880086068.2
申请日：2018-12-25
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明提供一种连续体机器人的控制装置和控制方法以及存储介质。一种连续体机器人100的控制装置200，连续体机器人100包括通过利用驱动机构驱动线材而弯曲的弯曲部分，控制装置200包括图像DB/扭转量获取单元210和运动学运算单元230，图像DB/扭转量获取单元210用于获得连续体机器人100的扭转量，运动学运算单元230用于基于由图像DB/扭转量获取单元210获得的扭转量来设置由驱动机构驱动的线材的驱动位移量。
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公开(公告)号：CN102929099B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201210283475.7
申请日：2012-08-10
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供了一种压印装置和物品制造方法。该压印装置使用模具在基板上模制压印材料并且在该基板上形成图案，该压印装置包括：模具保持单元，被配置为保持该模具，该模具包括包含图案区域的表面；基板保持单元，被配置为保持该基板；第一获得单元，被配置为获得关于该图案区域和已经形成在该基板上的曝光场之间的形状的差别的信息；和控制单元，被配置为，在该图案区域和压印材料彼此接触的状态下，基于由该第一获得单元获得的所述关于形状的差别的信息，控制该模具保持单元和基板保持单元中的至少一个以调整该模具和基板之间的间隔。
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公开(公告)号：CN105137713A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510606372.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
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公开(公告)号：CN103048879A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210387601.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C43/021 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
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公开(公告)号：CN102929099A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210283475.7
申请日：2012-08-10
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供了一种压印装置和物品制造方法。该压印装置使用模具在基板上模制压印材料并且在该基板上形成图案，该压印装置包括：模具保持单元，被配置为保持该模具，该模具包括包含图案区域的表面；基板保持单元，被配置为保持该基板；第一获得单元，被配置为获得关于该图案区域和已经形成在该基板上的曝光场之间的形状的差别的信息；和控制单元，被配置为，在该图案区域和压印材料彼此接触的状态下，基于由该第一获得单元获得的所述关于形状的差别的信息，控制该模具保持单元和基板保持单元中的至少一个以调整该模具和基板之间的间隔。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110325099B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN201880013533.X
申请日：2018-02-26
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 田中悠辅
IPC: A61B1/005
Abstract: 一种导丝驱动式机械手，包括多个柔性构件、配置成驱动所述多个柔性构件的驱动单元、以及包括远端构件和至少一个引导构件的至少一个可弯曲部，引导构件设置成比远端构件更靠近驱动单元。可弯曲部配置成通过驱动多个柔性构件而弯曲。所述多个柔性构件连接到远端构件。所述多个柔性构件中的至少一个柔性构件也连接到引导构件。所述多个柔性构件中的其他柔性构件配置成可相对于引导构件滑动。
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公开(公告)号：CN105137713B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201510606372.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
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公开(公告)号：CN110325099A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201880013533.X
申请日：2018-02-26
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 田中悠辅
IPC: A61B1/005
Abstract: 一种导丝驱动式机械手，包括多个柔性构件、配置成驱动所述多个柔性构件的驱动单元、以及包括远端构件和至少一个引导构件的至少一个可弯曲部，引导构件设置成比远端构件更靠近驱动单元。可弯曲部配置成通过驱动多个柔性构件而弯曲。所述多个柔性构件连接到远端构件。所述多个柔性构件中的至少一个柔性构件也连接到引导构件。所述多个柔性构件中的其他柔性构件配置成可相对于引导构件滑动。
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公开(公告)号：CN111587085A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201880086068.2
申请日：2018-12-25
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 一种连续体机器人100的控制装置200，连续体机器人100具有借助由驱动机构驱动线材而弯曲的弯曲部分，控制装置200配设有图像DB/扭转量获取单元210和运动学运算单元230，图像DB/扭转量获取单元210用于获取连续体机器人100的扭转量，运动学运算单元230用于基于由图像DB/扭转量获取单元210获取的扭转量来设置由驱动机构驱动的线材的驱动位移量。
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公开(公告)号：CN103048879B
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201210387601.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C43/021 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
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