-
公开(公告)号：CN102903657A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201210264581.0
申请日：2012-07-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/324
CPC classification number: H01L21/67766 , H01L21/67757 , H01L21/67781 , H01L21/68707 , Y10S414/137 , Y10S414/14
Abstract: 本发明的热处理装置具备：容器载置部，该容器载置部载置基板容器，该基板容器以多个基板相互隔开第一间隔重叠的方式收纳该多个基板；基板保持件，该基板保持件以多个基板隔开比第一间隔窄的第二间隔相互重叠的方式保持该多个基板；基板输送部，该基板输送部包括能够支承基板的至少两个基板支承部，并在基板保持件与基板容器之间交接多个基板，其中，至少两个基板支承部以隔开第一间隔相互重叠的方式配置，相对于基板容器共同地进退，且相对于基板保持件独立地进退；以及控制部，该控制部以在至少两个基板支承部中的下方的基板支承部支承基板时，上方的基板支承部不动作的方式控制该上方的基板支承部。
-
公开(公告)号：CN102903657B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201210264581.0
申请日：2012-07-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/324
CPC classification number: H01L21/67766 , H01L21/67757 , H01L21/67781 , H01L21/68707 , Y10S414/137 , Y10S414/14
Abstract: 本发明的热处理装置具备：容器载置部，该容器载置部载置基板容器，该基板容器以多个基板相互隔开第一间隔重叠的方式收纳该多个基板；基板保持件，该基板保持件以多个基板隔开比第一间隔窄的第二间隔相互重叠的方式保持该多个基板；基板输送部，该基板输送部包括能够支承基板的至少两个基板支承部，并在基板保持件与基板容器之间交接多个基板，其中，至少两个基板支承部以隔开第一间隔相互重叠的方式配置，相对于基板容器共同地进退，且相对于基板保持件独立地进退；以及控制部，该控制部以在至少两个基板支承部中的下方的基板支承部支承基板时，上方的基板支承部不动作的方式控制该上方的基板支承部。
-
公开(公告)号：CN117747486A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311179226.8
申请日：2023-09-13
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/02 , H01L21/673 , B08B5/02 , B08B13/00
Abstract: 本公开提供一种基板处理装置和基板处理方法，能够高效地去除残留在基板上的不需要的分子。本公开的一个方式的基板处理装置具备：基板保持器具，其将多个基板沿铅垂方向具有间隔地分多层进行保持；以及处理容器，其收容所述基板保持器具，其中，所述基板保持器具具有将相邻的所述基板间分隔开的分隔板，所述分隔板的下表面具有用于喷出第一气体的多个喷出部，所述多个喷出部能够被独立地进行所述第一气体的供给切断的控制。
-
公开(公告)号：CN115701456A
公开(公告)日：2023-02-10
申请号：CN202210882886.1
申请日：2022-07-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: C23C16/02 , C23C16/455 , C23C16/46 , C23C16/52 , C30B33/02
Abstract: 本发明提供一种热处理系统、材料供给方法和热处理装置。为了能够自动地切换向热处理装置供给原料气体的多个材料容器，热处理系统具有：多个材料容器，其构成为能够贮存材料并使贮存的材料气化而生成原料气体；控制多个材料容器的温度的温度控制部；阀控制部，其对设置在从多个材料容器向热处理装置供给原料气体的供给管路上的阀进行控制，以使得从选择中的一个材料容器向热处理装置供给原料气体；累计部，其对为了从选择中的一个材料容器向热处理装置供给原料气体而开放阀的时间进行累计；状态信号输出部，其输出基于累计的时间得到的状态信号；和切换控制部，其根据状态信号，切换选择中的一个材料容器。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.022 seconds)
