公开(公告)号：CN102903657A

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN201210264581.0

申请日：2012-07-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 高桥喜一 ,  镰田辉实 ,  及川一彻

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/67757 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/14

Abstract: 本发明的热处理装置具备：容器载置部，该容器载置部载置基板容器，该基板容器以多个基板相互隔开第一间隔重叠的方式收纳该多个基板；基板保持件，该基板保持件以多个基板隔开比第一间隔窄的第二间隔相互重叠的方式保持该多个基板；基板输送部，该基板输送部包括能够支承基板的至少两个基板支承部，并在基板保持件与基板容器之间交接多个基板，其中，至少两个基板支承部以隔开第一间隔相互重叠的方式配置，相对于基板容器共同地进退，且相对于基板保持件独立地进退；以及控制部，该控制部以在至少两个基板支承部中的下方的基板支承部支承基板时，上方的基板支承部不动作的方式控制该上方的基板支承部。

公开(公告)号：CN102903657B

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201210264581.0

申请日：2012-07-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 高桥喜一 ,  镰田辉实 ,  及川一彻

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/67757 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/14

Abstract: 本发明的热处理装置具备：容器载置部，该容器载置部载置基板容器，该基板容器以多个基板相互隔开第一间隔重叠的方式收纳该多个基板；基板保持件，该基板保持件以多个基板隔开比第一间隔窄的第二间隔相互重叠的方式保持该多个基板；基板输送部，该基板输送部包括能够支承基板的至少两个基板支承部，并在基板保持件与基板容器之间交接多个基板，其中，至少两个基板支承部以隔开第一间隔相互重叠的方式配置，相对于基板容器共同地进退，且相对于基板保持件独立地进退；以及控制部，该控制部以在至少两个基板支承部中的下方的基板支承部支承基板时，上方的基板支承部不动作的方式控制该上方的基板支承部。