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公开(公告)号：CN115701456A
公开(公告)日：2023-02-10
申请号：CN202210882886.1
申请日：2022-07-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: C23C16/02 , C23C16/455 , C23C16/46 , C23C16/52 , C30B33/02
Abstract: 本发明提供一种热处理系统、材料供给方法和热处理装置。为了能够自动地切换向热处理装置供给原料气体的多个材料容器，热处理系统具有：多个材料容器，其构成为能够贮存材料并使贮存的材料气化而生成原料气体；控制多个材料容器的温度的温度控制部；阀控制部，其对设置在从多个材料容器向热处理装置供给原料气体的供给管路上的阀进行控制，以使得从选择中的一个材料容器向热处理装置供给原料气体；累计部，其对为了从选择中的一个材料容器向热处理装置供给原料气体而开放阀的时间进行累计；状态信号输出部，其输出基于累计的时间得到的状态信号；和切换控制部，其根据状态信号，切换选择中的一个材料容器。
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