公开(公告)号：CN113658852A

公开(公告)日：2021-11-16

申请号：CN202110853195.4

申请日：2021-07-27

Applicant: 上海大学

Inventor： 黄健 ,  顾克云 ,  尚艺 ,  邓洁 ,  刘尊 ,  张志洛 ,  丁可可 ,  张子龙 ,  唐可 ,  王林军

IPC: H01L21/02 ,  H01L31/032 ,  C23C14/02 ,  C23C14/08 ,  C23C14/16 ,  C23C14/34 ,  C23C14/35 ,  C23C14/54 ,  C23C14/58

Abstract: 本发明公开了一种硅基尺寸可控β‑Ga2O3纳米线的制备方法，所述硅基尺寸可控β‑Ga2O3纳米线的制备工艺是：首先在单晶Si(100)衬底上沉积不同厚度的金(Au)催化层，并对催化层进行原位球化退火，得到不同尺寸的Au纳米颗粒，然后进行磁控溅射生长β‑Ga2O3纳米线并原位退火，得到不同尺寸的β‑Ga2O3纳米线。本发明通过调控β‑Ga2O3纳米线的尺寸可得到具有缺陷少、电阻率高、均匀致密等优点的β‑Ga2O3纳米线。本发明制备的不同的尺寸的β‑Ga2O3纳米线在日盲紫外探测器应用中表现出优异的性能，在军事领域可应用于导弹逼近预警系统、紫外通信、紫外成像导航等，在民用领域的汽车尾气检测、火焰检测、指纹检测等方面有广阔的应用前景。

公开(公告)号：CN119947271A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202411911435.1

申请日：2024-12-24

Applicant: 上海大学

Inventor： 钱智超 ,  张巍 ,  黄浩斐 ,  王露露 ,  丁可可 ,  周海川 ,  唐可 ,  黄健 ,  王林军

IPC: H10F30/222 ,  H10F77/20 ,  H10F71/00 ,  C23C14/35 ,  C23C14/04 ,  C23C14/08 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明涉及一种全透明氧化镍/氧化镓PN结型日盲紫外探测器及其制备方法与应用，所述日盲紫外探测器自下而上依次包括柔性衬底、底电极层、NiO薄膜层、Ga2O3薄膜层、上电极层，所述底电极层、NiO薄膜层、Ga2O3薄膜层、上电极层呈阶梯状设置，所述柔性衬底包括PET柔性衬底，所述的底电极层和上电极层均为BGZO电极层。本发明采用磁控溅射法，在透明衬底上生长电极，并选择适当的溅射功率，实现高性能全透明氧化镍与氧化镓薄膜的制备。与现有技术相比，本发明得到的日盲紫外探测器具有自供电、全透明、柔性性能，具有便携可穿戴的特点，能够更好地应用在紫外探测等领域。