感光性树脂组合物、镀敷方法及金属图案的制造方法

    公开(公告)号:CN112470075A

    公开(公告)日:2021-03-09

    申请号:CN201980048740.3

    申请日:2019-07-29

    Abstract: 本发明以提供感光性树脂组合物及使用该感光性树脂组合物的镀敷方法为课题,对于该感光性树脂组合物而言,即使在窄间距的抗蚀剂图案中也容易进行抗蚀剂剥离,并且在图案形成或镀敷工序中,微细的线或点可稳定地保持在基材上,具有高分辨性;通过以下感光性树脂组合物及使用该感光性树脂组合物的镀敷方法及金属图案的制造方法而解决上述课题;该感光性树脂组合物含有(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂及(C)丙烯酸酯单体,相对于(C)丙烯酸酯单体,(D)甲基丙烯酸酯单体的含有率为0质量%~5质量%,作为(C)丙烯酸酯单体含有(C1)环氧乙烷改性季戊四醇四丙烯酸酯(以通式(i)表示、l+m+n+o=24~48的化合物),相对于(C)总量,(C1)的含有率为30质量%~70质量%。(i)

    感光性树脂组合物、蚀刻方法以及树脂构造体的制造方法

    公开(公告)号:CN112384857A

    公开(公告)日:2021-02-19

    申请号:CN201980044443.1

    申请日:2019-07-08

    Abstract: 本发明的课题在于提供对含有15质量%~45质量%的碱金属氢氧化物及5质量%~40质量%的乙醇胺化合物的强碱性蚀刻液的耐性优异的感光性树脂组合物及利用该感光性树脂组合物的蚀刻方法,通过该感光性树脂组合物及利用该感光性树脂组合物的蚀刻方法以及树脂构造体的制造方法解决了所述课题,该感光性树脂组合物至少含有(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂及(C)聚合性单体,含有5~80质量%的通式(i)表示的m+n为2以上且7以下的化合物作为(C)聚合性单体,或者在(A)碱可溶性树脂为苯乙烯及甲基丙烯酸的共聚物时含有通式(i)表示的m+n为2以上且20以下的化合物作为(C)聚合性单体,m+n为2以上且7以下的化合物的含量为80质量%以下。

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