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公开(公告)号：CN101952707B
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN200980105981.3
申请日：2009-02-18
Applicant: 精工电子有限公司
CPC classification number: G11B9/1409 , G01Q60/22 , G11B7/1387 , G11B2005/0021
Abstract: 本发明提供一种尖顶型探头制造方法，其能够容易且高效率地制造出尖顶型探头。关于在由顶面和侧面构成的锥台的所述侧面上具有金属膜的尖顶型探头的制造方法，该尖顶型探头制造方法包括以下工序：将形状与所述顶面相似的蚀刻掩模形成在基板上的工序；通过以所述蚀刻掩模为掩模部件对所述基板进行各向同性蚀刻来形成所述锥台的工序；在所述顶面的面积小于所述蚀刻掩模的面积后停止所述各向同性蚀刻的工序；以及通过使成膜粒子蔓延到所述蚀刻掩模和所述侧面之间来形成所述金属膜的工序。
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公开(公告)号：CN101995367B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200910091794.6
申请日：2009-08-25
Applicant: 中国科学院物理研究所
IPC: G01N13/14
Abstract: 本发明提供一种测量近场扫描光学显微镜探针孔径尺寸的标样，包括透光的基片(1)和在该基片(1)的表面上的不透光的膜层(2)组成；膜层(2)具有至少一个测量单元(3)，每个测量单元(3)上包括至少两个矩形的无膜层区域构成，所述无膜层区域沿该测量单元的轴线方向顺序排列，相邻两个所述无膜层区域之间由一条膜线(5)隔开，膜线(5)的宽度大于待测量的探针孔径尺寸。本发明还提供一种利用根据本发明的标样测量近场扫描光学显微镜探针孔径的方法。根据本发明的测量探针孔径尺寸的标样和测量方法适用于各种NSOM，不需要增加任何附加设备，使用方便，并且由于所采用的坚固的基片和膜层，测量不但不会影响探针的性能，还可以多次使用；测量结果准确，给出的是与NSOM设置参数相应的探针孔径尺寸。
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公开(公告)号：CN101173885B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200610114132.2
申请日：2006-10-30
Applicant: 中国科学院化学研究所
Abstract: 本发明涉及微区稳态/瞬态光电检测与扫描成像的近场光学显微镜系统。采用近场光学与原子力形貌同时成像的SNOM，并以表面蒸镀金得到的导电性SNOM探针或者在导电性SNOM探针上再镀绝缘层分别作为光电流或者光电压信号检测以及近场扫描的探针。稳态光电检测以斩波器调制的连续激光作为SNOM的光源，以锁相放大器检测光电信号；瞬态光电检测以纳秒脉冲激光器作为SNOM的光源，采用快速门积分与Boxcar(矩形波串)平均器检测瞬态光电信号。整合SNOM的控制程序以及锁相放大器和快速门积分与Boxcar平均器的控制与数据采集程序，实现了近场下的稳态/瞬态光电响应、表面原子力形貌与近场光学/光谱同时成像。
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公开(公告)号：CN100410718C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200480032462.6
申请日：2004-10-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B21/33 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/0342 , G02B21/0004
Abstract: 在成为检查对像的试样的半导体器件上滴下含有两亲分子的光学密着液(S104)，并在其上面设置固体浸没透镜(S105)。接着，调整固体浸没透镜的揷入位置(S106)，之后，使光学密着液干燥(S108)，使固体浸没透镜与半导体器件光学性地密着。由此，能够实现向试样的所希望的位置的对位容易，能够将固体浸没透镜光学上确实地密着在试样上的试样观察方法及显微镜等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1769860A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN200510117193.X
申请日：2005-11-02
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 日高和彦
Abstract: 一种表面性状测定用探针(60)，具有：探针头(65)、第1支承体(61)、第2支承体(62)、压电元件(63)、平衡器(64)。第1支承体具有：第1支承部(611)；3根梁(613)，其从等角度配置于第1支承部上的位置朝向中央延伸，用于将探针头(65)支承于其顶端。第2支承体(62)具有：第2支承部(621)；保持部(622)，其由多根梁(623)支承，该多根梁从等角度配置于该第2支承部上的位置朝向中央延伸。压电元件(63)配置于探针头与保持部之间，且沿轴向振动。
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公开(公告)号：CN1587979A
公开(公告)日：2005-03-02
申请号：CN200410066387.7
申请日：2004-09-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种生物全内反射式近场扫描显微镜，四部分构成：第一部分是激发部分，由激光器、准直和反射镜组成光学系统构成；第二部分是产生隐失波部分，由倒梯形棱镜及其顶面附着的待测样品构成；第三部分是信息的采集、存储和处理，由光纤探针、驱动扫描部分和第二光电探头以及计算机构成；第四部分是光纤探针高度控制，由光学信息收集部分和第一光电探测头及反馈控制线组成，其特征在于所述的光纤探针的针尖端一旁或尖端粘附一荧光染料大分子或生物酶或量子点。本发明不仅是一种可应用于生物细胞微结构和单分子探测的近场光学全内反射式扫描显微镜，而且根据本发明揭示的规律进行操作可以获得最有效的空间分辨率。
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公开(公告)号：CN1405548A
公开(公告)日：2003-03-26
申请号：CN02148631.X
申请日：2002-11-14
Applicant: 南开大学
Abstract: 一种近场扫描光学显微镜定位扫描成像方法，属于扫描探针显微镜技术领域。借助传统光学显微装置，并使用微米尺度发光点作为定位参考点，通过微调平台在显微成像装置下观测并精确测量参考发光点中心和样品目标区域的相对位移，调节光学探针到参考发光点中心处，进一步根据参考发光点中心和样品目标区域的相对位移，调节光学探针到样品目标区域实施扫描成像。用于近场扫描光学显微镜光学探针在样品表面定位，可通过显微镜大范围搜索关心的目标区域，再调整探针到目标区域扫描成像，实现NSOM定位扫描成像，定位精度可达到1μm，且结构简单。
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公开(公告)号：CN1402260A
公开(公告)日：2003-03-12
申请号：CN02137257.8
申请日：2002-09-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种光纤纳米尖端的加工方法属于微细加工技术领域。本发明采用光纤端面微细加工方法在光纤端面喷涂光刻胶形成均匀胶层并完成前烘后，用带自对准的掩膜板对光刻胶进行曝光、显影，然后沉积用作氢氟酸腐蚀掩膜的掩膜层，将沉积掩膜后的光纤端部浸入氢氟酸腐蚀液，利用湿法腐蚀的钻蚀效应得到光纤端部纳米尖端结构。本发明具有实质性特点和显著进步，本发明腐蚀出的尖端尺寸与锥度仅仅取决于钻蚀，对湿法腐蚀而言，钻蚀的形貌主要决定于待腐蚀的材料，因此该光纤端部纳米尖端的制备方法不仅受环境因素的影响小，而且不同模式的光纤腐蚀得到的尖端形貌一致性好。
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