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公开(公告)号：CN108028312A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680002597.0
申请日：2016-09-14
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L41/337 , B24B37/10 , H01L41/18 , H01L41/312 , H01L41/335 , H03H3/08
CPC classification number: H01L41/337 , B24B37/10 , B81C1/00611 , H01L21/30625 , H01L21/7684 , H01L41/0805 , H01L41/18 , H01L41/312 , H01L41/338 , H03H3/02
Abstract: 本发明的复合基板的制造方法包括以下工序：(a)对直径2英寸以上的贴合基板的压电基板侧进行镜面研磨直至所述压电基板的厚度为20μm以下，该贴合基板是将压电基板和支撑基板接合而得到的；(b)进行离子束加工，加工成：所述压电基板的外周部的厚度比内周部厚且所述压电基板的内周部的厚度的最大值与最小值的差值在整个平面中为100nm以下；(c)使用直径5mm～30mm的研磨垫，使所述研磨垫带来的按压力保持恒定，并且，使所述研磨垫边旋转边移动，从而进行CMP研磨，除去通过所述离子束加工而产生的变质层的至少一部分，使所述压电基板的整个表面变得平坦。
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公开(公告)号：CN102473835B
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201080036575.9
申请日：2010-08-26
Applicant: 京瓷株式会社
Inventor： 佐多哲郎
IPC: H01L41/083 , H01L41/273 , H01L41/337 , F02M51/06
CPC classification number: H01L41/337 , F02M51/0603 , H01L41/0838 , H01L41/1875 , H01L41/273
Abstract: 层叠型压电元件的中央部是活性区域，与作为非活性区域的端部相比，其驱动时的变形程度大，应力容易集中，裂纹容易进展。为解决上述课题，本发明提供一种层叠型压电元件(1)，其包括：将压电体层(11)及内部电极层(13)交替层叠多个而成的柱状层叠体(15)；与柱状层叠体(15)的侧面接合的一对外部电极(17)，其中，在柱状层叠体(15)的侧面中，柱状层叠体(15)的层叠方向的中央部的表面粗糙度比端部的表面粗糙度粗糙。能够缓和柱状层叠体(15)的侧面的应力，提高层叠型压电元件(1)的耐久性。
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公开(公告)号：CN102582142A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110433993.8
申请日：2011-12-21
Applicant: 日本碍子株式会社
Inventor： 仲原利直
CPC classification number: H03H9/02574 , H01L41/313 , H01L41/337 , H03H3/02 , H03H3/08 , H03H9/02015
Abstract: 一种复合基板以及复合基板的制造方法，其能够良好地保持介由在外周部存在凸起部分的粘结层而粘结的支撑基板和压电基板的粘结状态。复合基板(10)是由压电基板(14)的反面(14b)和支撑基板(12)的表面(12a)介由粘结层(16)粘结而成的，粘结层(16)在外周部存在凸起部分(16a)，压电基板(14)避开凸起部分(16a)粘结于支撑基板(12)。因此，在粘结层(16)的凸起部分(16a)和压电基板(14)之间难以进入气泡。由此，可以防止由这样的气泡而引起的剥离。因此，可以良好地保持介由外周部存在凸起部分的粘结层而粘结的支撑基板和压电基板的粘结状态。
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公开(公告)号：CN107039578A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710231336.2
申请日：2017-04-10
Applicant: 东南大学
IPC: H01L41/39 , H01L41/29 , H01L41/337
CPC classification number: H01L41/39 , H01L41/29 , H01L41/337
Abstract: 本发明提供了一种免极化压电基机电转换元件的制备方法，将静电纺丝制备的压电纤维研磨成合适长度的纤维棒后与聚二甲基硅氧烷(PDMS)混合，作为机电转换元件的主体材料，通过控制研磨时间，使纤维棒长度在2‑3微米范围，而根据压电力显微镜分析纤维的压电、铁电性能，此长度的纤维短棒能够保持单一的自发极化取向；采用优化的旋涂工艺，通过控制旋涂转速，在重力和离心力的协同作用下，压电纤维棒在液态聚二甲基硅氧烷中分散均匀，且纤维棒的长度方向与基底平行。同时在静电力作用下，纤维棒之间沿自发极化方向自组装。从而使得制备的“三明治”结构的机电转换器件无需极化过程就能在弯曲应变下产生10V高电压输出。该方法简单有效，可进行大批量生产。
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公开(公告)号：CN106252501A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610651540.5
申请日：2016-08-10
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L41/313 , H01L41/337 , H01L41/053 , H01L41/113
CPC classification number: H01L41/337 , H01L41/053 , H01L41/113 , H01L41/313
Abstract: 本发明提供了一种基于柔性衬底上的压电厚膜及其制备方法，所述方法将原始硅衬底上沉积一层绝缘层后形成原始衬底层，之后利用环氧树脂胶将其沉积绝缘层的一面与溅射上电极的压电材料键合；将压电材料减薄为压电厚膜层后与柔性衬底层键合；通过DRIE、湿法刻蚀或RIE进行背面原始衬底层的刻蚀，去除原始衬底层。本发明具有工艺简单易实现、适用于多种结构、易于微加工工艺相结合、增强器件的柔韧性等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102113143A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN200980129846.2
申请日：2009-07-27
Applicant: 京瓷株式会社
Inventor： 佐多哲郎
IPC: H01L41/083 , F02M51/00 , F02M51/06 , H01L41/187 , H01L41/22 , H01L41/24
CPC classification number: H01L41/0833 , H01L41/273 , H01L41/337 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种层叠型压电元件，其有效抑制在层叠体的边缘部相邻的内部电极层彼此短路且提高耐久性。层叠型压电元件(1)包括交替层叠有压电体层(11)和内部电极层(13)的棱柱状的层叠体(15)，层叠体(15)的侧周面的棱部(15e)被研磨加工而构成倒角部，并且，形成于倒角部的线状的研磨加工痕迹在沿着内部电极层(13)的方向上延伸。
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公开(公告)号：CN101689841A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880021773.0
申请日：2008-10-23
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H01L41/27 , G02F1/035 , H01L41/187 , H01L41/25 , H01L41/257 , H01L41/312 , H01L41/335 , H01L41/337 , H03H3/02 , H03H3/08 , H03H2003/021 , H03H2003/023 , H03H2003/027 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供一种能够有效利用压电体材料来形成均匀厚度的极薄压电膜的复合压电基板的制造方法。包括：a)准备压电体基板(2)和支撑基板(10)；b)从压电体基板(2)的表面(2a)注入离子，在压电体基板(2)内在距离表面(2a)规定深度的区域中形成缺陷层(4)；c)对形成了缺陷层(4)的压电体基板(2)的表面(2a)和支撑基板(10)的表面(10a)中的至少一个，去除附着在表面(2a、10a)中的杂质，使构成表面(2a、10a)的原子直接露出并活性化；d)在压电体基板(2)的表面(2a)上接合支撑基板(10)，形成基板接合体(40)；e)采用形成于压电体基板(2)内的缺陷层(4)来分离基板接合体(40)，从压电体基板(2)剥离压电体基板(2)的表面(2a)和缺陷层(4)之间的剥离层(3)，形成与支撑基板(10)相接合的复合压电基板(30)；f)对复合压电基板(30)的剥离层(3)的表面(3a)进行平滑化。
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公开(公告)号：CN101069295A
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200580040481.8
申请日：2005-10-11
Applicant: 富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司
CPC classification number: H01L41/0973 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , H01L41/313 , H01L41/337 , H01L41/338
Abstract: 描述了具有压电致动器(104)的结构的微机电系统。多个压电岛由具有多个腔体(205)的主体(200)支撑。该压电岛部分地通过下述步骤形成：在临时结合到处理衬底的压电材料厚层内形成切口(145)，将该切割的压电层(107)附着到具有蚀刻特征的主体(200)，以及将该压电层研磨至小于切口(140)深度的厚度。导电材料(158、210)可以形成于压电层上以形成电极(106、112)。
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公开(公告)号：CN108352442A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680002494.4
申请日：2016-09-14
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L41/337 , H01L41/053 , H01L41/08 , H01L41/313 , H03H3/08 , H03H9/25
CPC classification number: H01L41/337 , H01L41/081 , H01L41/0815 , H01L41/22 , H01L41/313 , H03H9/02047 , H03H9/02574 , H03H9/02614
Abstract: 本发明的复合基板是一种包括直径2英寸以上的支撑基板和厚度为20μm以下且透光并接合于所述支撑基板的压电基板的复合基板，其中，所述压电基板具有条纹状的厚度分布，在沿着与所述条纹正交的线切割所述复合基板而得到的截面处的、所述压电基板的厚度分布中，出现厚度方向的振幅为5nm～100nm且宽度方向的间距为0.5mm～20mm的波形，该波形的间距与所述条纹的宽度相关。压电基板中，所述条纹可以为平行的条纹，也可以为旋涡状或同心圆状的条纹。
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公开(公告)号：CN102473835A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080036575.9
申请日：2010-08-26
Applicant: 京瓷株式会社
Inventor： 佐多哲郎
IPC: H01L41/083 , F02M51/00 , F02M51/06 , H01L41/08 , H01L41/187 , H01L41/22 , H01L41/24
CPC classification number: H01L41/337 , F02M51/0603 , H01L41/0838 , H01L41/1875 , H01L41/273
Abstract: 层叠型压电元件的中央部是活性区域，与作为非活性区域的端部相比，其驱动时的变形程度大，应力容易集中，裂纹容易进展。为解决上述课题，本发明提供一种层叠型压电元件(1)，其包括：将压电体层(11)及内部电极层(13)交替层叠多个而成的柱状层叠体(15)；与柱状层叠体(15)的侧面接合的一对外部电极(17)，其中，在柱状层叠体(15)的侧面中，柱状层叠体(15)的层叠方向的中央部的表面粗糙度比端部的表面粗糙度粗糙。能够缓和柱状层叠体(15)的侧面的应力，提高层叠型压电元件(1)的耐久性。
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