公开(公告)号：CN106301071A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610651624.9

申请日：2016-08-10

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 杨斌 ,  侯诚 ,  刘景全 ,  李桂苗 ,  杨春生

IPC: H02N2/18

CPC classification number: H02N2/18 ,  H02N2/22

Abstract: 本发明提供了一种低频压电式MEMS振动能量采集器及其制备方法，采集器包括硅固定基座、压电悬臂梁和质量块，所述压电悬臂梁包括金属薄膜基片，以及压电薄膜层和电极层；压电薄膜层通过环氧树脂粘附于金属薄膜基片上，在压电薄膜层表面溅射一层金属电极，得到电极层，从而实现压电薄膜层的电极层与金属薄膜基片机械串联。方法包括：一、制备金属薄膜基片；二、对压电陶瓷片单面抛光并在抛光面上溅射或蒸发电极层；三、通过键合和减薄，深硅刻蚀工艺得到压电悬臂梁；四、切割质量块并采用粘贴的方法使压电悬臂梁的悬空端粘贴质量块。本发明降低了器件的固有频率，提高了采能元件的能量利用率，且方法简单易于实现。

公开(公告)号：CN106252501A

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201610651540.5

申请日：2016-08-10

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 杨斌 ,  李桂苗 ,  刘景全 ,  杨春生

IPC: H01L41/313 ,  H01L41/337 ,  H01L41/053 ,  H01L41/113

CPC classification number: H01L41/337 ,  H01L41/053 ,  H01L41/113 ,  H01L41/313

Abstract: 本发明提供了一种基于柔性衬底上的压电厚膜及其制备方法，所述方法将原始硅衬底上沉积一层绝缘层后形成原始衬底层，之后利用环氧树脂胶将其沉积绝缘层的一面与溅射上电极的压电材料键合；将压电材料减薄为压电厚膜层后与柔性衬底层键合；通过DRIE、湿法刻蚀或RIE进行背面原始衬底层的刻蚀，去除原始衬底层。本发明具有工艺简单易实现、适用于多种结构、易于微加工工艺相结合、增强器件的柔韧性等优点。