公开(公告)号：CN102763190A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201180008688.2

申请日：2011-02-15

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 中岛丰昭 ,  黑川裕次郎 ,  由利努 ,  田中领太

IPC: H01J49/42 ,  G01N27/62 ,  H01J41/04

CPC classification number: H01J49/4215

Abstract: 一种四极杆质谱仪，用于分析测试体内的气体成分，其设置为能够实现栅极的通电加热，防止灵敏度降低并可进行高精度的气体成分的分析的低成本结构。四极杆质谱仪（MA1）具有可拆卸地安装在测试体（TP）上的传感器部（M1）。以相对测试体的传感器部的安装方向为上方，传感器部具有：安装在下端的规定形状的支持体（1）；安装在该支持体上的、具有细丝（22）及栅极（21）并将上述气体离子化的离子源（2）；安装在该离子源上的、由四根柱状电极（31）在周方向以规定间隔设置而成的四极杆部（3），以及安装在该四极杆部上的、通过向相对的电极间施加直流电压和交流电压而收集通过四极杆部的预定离子的离子检测部（4）。

公开(公告)号：CN101680856A

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200880015797.5

申请日：2008-04-14

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 中岛丰昭 ,  黑川裕次郎 ,  由利努 ,  田中领太 ,  吉田修尔

IPC: G01N27/62 ,  H01J49/42 ,  H01J41/10

CPC classification number: G01N27/62 ,  G01L21/30 ,  H01J41/10 ,  H01J49/0027

Abstract: 该质谱分析单元是包括对被测量气体的各质荷比的离子电流值进行检测并测量分压的质谱分析部的质谱分析单元，其进一步包括：控制部，预先保持使该质谱分析单元的特定部位的功能降低的特定气体的质荷比的记录；在通过所述质谱分析部检测出的所述特定气体的质荷比的离子电流值为规定值以上时，所述控制部输出表示所述特定部位功能降低的警告信号。

公开(公告)号：CN101657718B

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN200880012014.8

申请日：2008-04-14

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 中岛丰昭 ,  黑川裕次郎 ,  由利努 ,  田中领太 ,  猿渡治郎 ,  带施仁美

IPC: G01N27/62 ,  H01J41/04 ,  H01J49/26

CPC classification number: H01J49/0031

Abstract: 该质谱仪的控制方法包括：向具有阴极电极和阳极电极的离子源的所述阴极电极提供电流，使被测量气体的分子电离的步骤；对所述离子源生成的离子按质荷比进行分选的步骤；以及对分选出的所述离子的离子电流值进行检测的步骤。基于所述离子电流值的检测结果，在执行所述被测量气体的分压测量时，向所述阴极电极提供阴极电流，使得流过所述阴极电极和所述阳极电极之间的放射电流恒定；在不执行所述被测量气体的分压测量时，向所述阴极电极提供电流值比所述阴极电流小的恒定电流。

公开(公告)号：CN101657718A

公开(公告)日：2010-02-24

申请号：CN200880012014.8

申请日：2008-04-14

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 中岛丰昭 ,  黑川裕次郎 ,  由利努 ,  田中领太 ,  猿渡治郎 ,  带施仁美

IPC: G01N27/62 ,  H01J41/04 ,  H01J49/26

CPC classification number: H01J49/0031

Abstract: 该质谱仪的控制方法包括：向具有阴极电极和阳极电极的离子源的所述阴极电极提供电流，使被测量气体的分子电离的步骤；对所述离子源生成的离子按质荷比进行分选的步骤；以及对分选出的所述离子的离子电流值进行检测的步骤。基于所述离子电流值的检测结果，在执行所述被测量气体的分压测量时，向所述阴极电极提供阴极电流，使得流过所述阴极电极和所述阳极电极之间的放射电流恒定；在不执行所述被测量气体的分压测量时，向所述阴极电极提供电流值比所述阴极电流小的恒定电流。