自动植砂设备及自动植砂系统

    公开(公告)号:CN106540868A

    公开(公告)日:2017-03-29

    申请号:CN201611139354.X

    申请日:2016-12-12

    CPC classification number: B05C19/005 B05C19/04 B05C19/06

    Abstract: 本发明公开了一种多晶硅铸锭用高效石英坩埚自动植砂设备及自动植砂系统,属于多晶硅铸锭领域的技术方案,两者均包括落砂夹板装置、驱动装置、砂辊和出砂通道;落砂夹板装置内部具有容纳腔,落砂夹板装置底部设有出砂口,出砂口与容纳腔导通;砂辊设于落砂夹板装置下方,砂辊的辊面与出砂口相对,砂辊的辊面与出砂口之间留有出砂间隙;驱动装置与砂辊的转动中心联接;出砂通道设于砂辊的下方,出砂通道上部为接砂口,接砂口用于接收从砂辊排出的砂料,出砂通道下部为卸料口,出砂通道包括至少一块挡板,挡板用于将砂料反弹至卸料口排出;综上可知,本发明能够将砂料均匀溅射在坩埚内,从而实现了植砂的自动、高效和均匀。

    粉末沉积装置和粉末沉积方法

    公开(公告)号:CN103834920A

    公开(公告)日:2014-06-04

    申请号:CN201310498697.5

    申请日:2013-10-22

    Applicant: 索尼公司

    CPC classification number: B05C7/02 B05B13/0645 B05C19/005

    Abstract: 本发明提供了一种能够有效地在粉末上进行沉积的粉末沉积装置和粉末沉积方法。所述粉末沉积装置包括设置在真空容器内并且被构造成在垂直方向上转动的鼓形转动体;设置在所述鼓形转动体内部的沉积源;筒状粉末供给/回收部件,它邻近所述鼓形转动体的内壁设置,并且被构造成回收通过上面进入的粉末和通过下面将粉末供给到所述内壁;以及盖部件,它设置在所述粉末供给/回收部件的下面的附近,并且被构造成在处于打开状态时通过粉末供给/回收部件的下面将粉末供给到所述内壁和在处于关闭状态时积聚通过上面进入所述粉末供给/回收部件内的粉末。

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