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公开(公告)号：CN104204522B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380017010.X
申请日：2013-03-07
Applicant: ULVAC机工株式会社
CPC classification number: F04B27/005 , F04B1/02 , F04B35/04 , F04B39/0094 , F04B41/06 , F04B2201/02011 , F04B2201/0802 , F04B2203/0201
Abstract: 本发明提供一种能够进一步降低耗电量的泵装置。本发明的一个实施方式所涉及的泵装置(1)具有：驱动电机M，具有第1泵室和第1活塞(21v)、用于真空排气的第1泵部(11)，以及具有第2泵室和第2活塞(21c)、用于加压的第2泵部。第2活塞(21c)以大于0°小于80°的旋转相位差Φ超前于第1活塞(21v)。
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公开(公告)号：CN102606447A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210003851.2
申请日：2012-01-06
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供了一种可提高密封部件的耐久寿命的活塞以及具有该活塞的真空泵。本发明活塞(5)包括活塞主体(51)、密封部件(52)、密封部件固定板(53)、紧固部(54)。活塞主体(51)可往复地嵌插在气缸(6)内，具有与往复方向垂直的第一面(51a)。密封部件(52)安装于第一面(51)上，将气缸(6)与活塞主体(51)之间密封。密封部件固定板(53)具有与第一面(51a)相对且触接密封部件(52)的第二面(53a)及第二面(53a)反侧的第三面(53b)，第二面(53a)具有中央侧的第一区域(A1)与边缘侧的第二区域(A2)，第一区域(A1)以第一挤压力挤压密封部件(52)，第二区域(A2)以比第一挤压力大的第二挤压力挤压密封部件(52)。
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公开(公告)号：CN104081051A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201380006780.4
申请日：2013-01-22
Applicant: ULVAC机工株式会社
CPC classification number: F04B9/045 , F04B53/144 , F04B53/16
Abstract: 本发明提供一种耐久性优良的泵装置。在本发明所涉及的一种实施方式的泵装置(1)中，偏芯轴具有空心机构，其将电机(M)的驱动轴(131)的旋转转换为活塞(21)的往复运动。通过将偏芯轴(232)设置为空心机构，偏芯轴(232)容易产生在垂直于轴线的方向(径向)上的变形，也能够减轻轴承(31)压入偏芯轴(232)外周面的负荷。如此，能够减轻轴承(31)的内部径向间隙的偏差，提高轴承全周的应力的均匀性，能够提高轴承(31)的耐久性，也能够提高泵装置(1)的寿命。
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公开(公告)号：CN102606447B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201210003851.2
申请日：2012-01-06
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供了一种可提高密封部件的耐久寿命的活塞以及具有该活塞的真空泵。本发明活塞(5)包括活塞主体(51)、密封部件(52)、密封部件固定板(53)、紧固部(54)。活塞主体(51)可往复地嵌插在气缸(6)内，具有与往复方向垂直的第一面(51a)。密封部件(52)安装于第一面(51)上，将气缸(6)与活塞主体(51)之间密封。密封部件固定板(53)具有与第一面(51a)相对且触接密封部件(52)的第二面(53a)及第二面(53a)反侧的第三面(53b)，第二面(53a)具有中央侧的第一区域(A1)与边缘侧的第二区域(A2)，第一区域(A1)以第一挤压力挤压密封部件(52)，第二区域(A2)以比第一挤压力大的第二挤压力挤压密封部件(52)。
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公开(公告)号：CN104204522A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201380017010.X
申请日：2013-03-07
Applicant: ULVAC机工株式会社
CPC classification number: F04B27/005 , F04B1/02 , F04B35/04 , F04B39/0094 , F04B41/06 , F04B2201/02011 , F04B2201/0802 , F04B2203/0201
Abstract: 本发明提供一种能够进一步降低耗电量的泵装置。本发明的一个实施方式所涉及的泵装置(1)具有：驱动电机M，具有第1泵室和第1活塞(21v)、用于真空排气的第1泵部(11)，以及具有第2泵室和第2活塞(21c)、用于加压的第2泵部。第2活塞(21c)以大于0°小于80°的旋转相位差Φ超前于第1活塞(21v)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102626985B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201210021616.8
申请日：2012-01-31
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种实现维持汽缸与活塞之间的密封性并且提高泵的耐久性的密封构件的制造方法及成型装置。在该制造方法中，密封构件具有平面部(50a)和密封部(50b)，该方法包括：在具有第一圆筒部(111)和第一底面部(112)的第一治具(110)上安装具有比第一圆筒部(111)的内径大的外径的圆形树脂板(50S)，将具备具有比第一圆筒部(111)的内径小的外径的第二圆筒部(121)及第二底面部(122)的第二治具(120)安装于第一治具(110)上，通过第一底面部(112)和第二底面部(122)以规定压力夹压板构件(50S)并加热至规定温度，由此在第一底面部(112)和第二底面部(122)之间形成平面部(50a)，在第一圆筒部(111)和第二圆筒部(121)之间形成密封部(50b)。
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公开(公告)号：CN102626985A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201210021616.8
申请日：2012-01-31
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种实现维持汽缸与活塞之间的密封性并且提高泵的耐久性的密封构件的制造方法及成型装置。在该制造方法中，密封构件具有平面部(50a)和密封部(50b)，该方法包括：在具有第一圆筒部(111)和第一底面部(112)的第一治具(110)上安装具有比第一圆筒部(111)的内径大的外径的圆形树脂板(50S)，将具备具有比第一圆筒部(111)的内径小的外径的第二圆筒部(121)及第二底面部(122)的第二治具(120)安装于第一治具(110)上，通过第一底面部(112)和第二底面部(122)以规定压力夹压板构件(50S)并加热至规定温度，由此在第一底面部(112)和第二底面部(122)之间形成平面部(50a)，在第一圆筒部(111)和第二圆筒部(121)之间形成密封部(50b)。
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