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公开(公告)号：CN102606447A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210003851.2
申请日：2012-01-06
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供了一种可提高密封部件的耐久寿命的活塞以及具有该活塞的真空泵。本发明活塞(5)包括活塞主体(51)、密封部件(52)、密封部件固定板(53)、紧固部(54)。活塞主体(51)可往复地嵌插在气缸(6)内，具有与往复方向垂直的第一面(51a)。密封部件(52)安装于第一面(51)上，将气缸(6)与活塞主体(51)之间密封。密封部件固定板(53)具有与第一面(51a)相对且触接密封部件(52)的第二面(53a)及第二面(53a)反侧的第三面(53b)，第二面(53a)具有中央侧的第一区域(A1)与边缘侧的第二区域(A2)，第一区域(A1)以第一挤压力挤压密封部件(52)，第二区域(A2)以比第一挤压力大的第二挤压力挤压密封部件(52)。
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公开(公告)号：CN102606447B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201210003851.2
申请日：2012-01-06
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供了一种可提高密封部件的耐久寿命的活塞以及具有该活塞的真空泵。本发明活塞(5)包括活塞主体(51)、密封部件(52)、密封部件固定板(53)、紧固部(54)。活塞主体(51)可往复地嵌插在气缸(6)内，具有与往复方向垂直的第一面(51a)。密封部件(52)安装于第一面(51)上，将气缸(6)与活塞主体(51)之间密封。密封部件固定板(53)具有与第一面(51a)相对且触接密封部件(52)的第二面(53a)及第二面(53a)反侧的第三面(53b)，第二面(53a)具有中央侧的第一区域(A1)与边缘侧的第二区域(A2)，第一区域(A1)以第一挤压力挤压密封部件(52)，第二区域(A2)以比第一挤压力大的第二挤压力挤压密封部件(52)。
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公开(公告)号：CN102626985B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201210021616.8
申请日：2012-01-31
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种实现维持汽缸与活塞之间的密封性并且提高泵的耐久性的密封构件的制造方法及成型装置。在该制造方法中，密封构件具有平面部(50a)和密封部(50b)，该方法包括：在具有第一圆筒部(111)和第一底面部(112)的第一治具(110)上安装具有比第一圆筒部(111)的内径大的外径的圆形树脂板(50S)，将具备具有比第一圆筒部(111)的内径小的外径的第二圆筒部(121)及第二底面部(122)的第二治具(120)安装于第一治具(110)上，通过第一底面部(112)和第二底面部(122)以规定压力夹压板构件(50S)并加热至规定温度，由此在第一底面部(112)和第二底面部(122)之间形成平面部(50a)，在第一圆筒部(111)和第二圆筒部(121)之间形成密封部(50b)。
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公开(公告)号：CN102626985A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201210021616.8
申请日：2012-01-31
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种实现维持汽缸与活塞之间的密封性并且提高泵的耐久性的密封构件的制造方法及成型装置。在该制造方法中，密封构件具有平面部(50a)和密封部(50b)，该方法包括：在具有第一圆筒部(111)和第一底面部(112)的第一治具(110)上安装具有比第一圆筒部(111)的内径大的外径的圆形树脂板(50S)，将具备具有比第一圆筒部(111)的内径小的外径的第二圆筒部(121)及第二底面部(122)的第二治具(120)安装于第一治具(110)上，通过第一底面部(112)和第二底面部(122)以规定压力夹压板构件(50S)并加热至规定温度，由此在第一底面部(112)和第二底面部(122)之间形成平面部(50a)，在第一圆筒部(111)和第二圆筒部(121)之间形成密封部(50b)。
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