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公开(公告)号：CN104114865B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201280069749.0
申请日：2012-02-16
Applicant: ULVAC机工株式会社
CPC classification number: F04B49/20 , F04B43/021 , F04B43/04 , F04B45/04 , F04B45/047 , F04B49/06 , F04B49/103 , F04B53/10 , F04B53/1065 , F04B2203/0209
Abstract: 本发明提供一种能够不依赖外部空气温度而稳定控制吐出流量的泵装置以及其控制方法。上述泵装置的控制方法包括:输出用使吐出口吐出标准流量的气体的转动速度来驱动马达的驱动信号；通过安装于所述泵主体上的温度传感器测定由所述吐出口吐出的气体的温度或者所述泵主体的温度；基于所述温度传感器的输出信号所包含的与所述气体的温度相关的温度信号运算出由所述吐出口吐出的气体的实际流量；校正所述驱动信号，并将校正后的驱动信号输出给所述马达，以使所述实际流量与所述标准流量一致。
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公开(公告)号：CN104204522B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380017010.X
申请日：2013-03-07
Applicant: ULVAC机工株式会社
CPC classification number: F04B27/005 , F04B1/02 , F04B35/04 , F04B39/0094 , F04B41/06 , F04B2201/02011 , F04B2201/0802 , F04B2203/0201
Abstract: 本发明提供一种能够进一步降低耗电量的泵装置。本发明的一个实施方式所涉及的泵装置(1)具有：驱动电机M，具有第1泵室和第1活塞(21v)、用于真空排气的第1泵部(11)，以及具有第2泵室和第2活塞(21c)、用于加压的第2泵部。第2活塞(21c)以大于0°小于80°的旋转相位差Φ超前于第1活塞(21v)。
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公开(公告)号：CN103403352A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201280010994.4
申请日：2012-03-02
Applicant: ULVAC机工株式会社
CPC classification number: F04B43/02 , F04B43/0054
Abstract: 本发明提供一种能够使隔膜的性能保持稳定的泵装置。上述泵装置具有一端连接在隔膜上且另一端连接在驱动机构上的驱动部件，驱动机构侧的一端反复沿着第1轴方向进行往复运动和沿着第2轴方向进行摆动。于是，会产生如下问题：由于隔膜侧的一端沿着第1轴方向与所述驱动机构联动而进行往复运动，因而使隔膜在其易延伸方向上，例如在进行摆动的第2轴方向上容易劣化，断裂。因此，通过将具有沿第2轴方向延伸的纤维的基布埋设在隔膜中，能够提高隔膜在第2轴方向上的强度及其耐久性。另外，通过设置表示第2轴方向的指示部，能够辨别埋设在隔膜内的基布纤维的延伸方向。即使在组装泵装置时，也能很容易地沿着所期望的方向将上述隔膜设置在泵主体上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103403352B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201280010994.4
申请日：2012-03-02
Applicant: ULVAC机工株式会社
CPC classification number: F04B43/02 , F04B43/0054
Abstract: 本发明提供一种能够使隔膜的性能保持稳定的泵装置。上述泵装置具有一端连接在隔膜上且另一端连接在驱动机构上的驱动部件，驱动机构侧的一端反复沿着第1轴方向进行往复运动和沿着第2轴方向进行摆动。于是，会产生如下问题：由于隔膜侧的一端沿着第1轴方向与所述驱动机构联动而进行往复运动，因而使隔膜在其易延伸方向上，例如在进行摆动的第2轴方向上容易劣化，断裂。因此，通过将具有沿第2轴方向延伸的纤维的基布埋设在隔膜中，能够提高隔膜在第2轴方向上的强度及其耐久性。另外，通过设置表示第2轴方向的指示部，能够辨别埋设在隔膜内的基布纤维的延伸方向。即使在组装泵装置时，也能很容易地沿着所期望的方向将上述隔膜设置在泵主体上。
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公开(公告)号：CN104081051A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201380006780.4
申请日：2013-01-22
Applicant: ULVAC机工株式会社
CPC classification number: F04B9/045 , F04B53/144 , F04B53/16
Abstract: 本发明提供一种耐久性优良的泵装置。在本发明所涉及的一种实施方式的泵装置(1)中，偏芯轴具有空心机构，其将电机(M)的驱动轴(131)的旋转转换为活塞(21)的往复运动。通过将偏芯轴(232)设置为空心机构，偏芯轴(232)容易产生在垂直于轴线的方向(径向)上的变形，也能够减轻轴承(31)压入偏芯轴(232)外周面的负荷。如此，能够减轻轴承(31)的内部径向间隙的偏差，提高轴承全周的应力的均匀性，能够提高轴承(31)的耐久性，也能够提高泵装置(1)的寿命。
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公开(公告)号：CN104204522A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201380017010.X
申请日：2013-03-07
Applicant: ULVAC机工株式会社
CPC classification number: F04B27/005 , F04B1/02 , F04B35/04 , F04B39/0094 , F04B41/06 , F04B2201/02011 , F04B2201/0802 , F04B2203/0201
Abstract: 本发明提供一种能够进一步降低耗电量的泵装置。本发明的一个实施方式所涉及的泵装置(1)具有：驱动电机M，具有第1泵室和第1活塞(21v)、用于真空排气的第1泵部(11)，以及具有第2泵室和第2活塞(21c)、用于加压的第2泵部。第2活塞(21c)以大于0°小于80°的旋转相位差Φ超前于第1活塞(21v)。
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公开(公告)号：CN104114865A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201280069749.0
申请日：2012-02-16
Applicant: ULVAC机工株式会社
CPC classification number: F04B49/20 , F04B43/021 , F04B43/04 , F04B45/04 , F04B45/047 , F04B49/06 , F04B49/103 , F04B53/10 , F04B53/1065 , F04B2203/0209
Abstract: 本发明提供一种能够不依赖外部空气温度而稳定控制吐出流量的泵装置以及其控制方法。上述泵装置的控制方法包括:输出用使吐出口吐出标准流量的气体的转动速度来驱动马达的驱动信号；通过安装于所述泵主体上的温度传感器测定由所述吐出口吐出的气体的温度或者所述泵主体的温度；基于所述温度传感器的输出信号所包含的与所述气体的温度相关的温度信号运算出由所述吐出口吐出的气体的实际流量；校正所述驱动信号，并将校正后的驱动信号输出给所述马达，以使所述实际流量与所述标准流量一致。
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