基板盒的保持装置及其储存方法

    公开(公告)号:CN101097879A

    公开(公告)日:2008-01-02

    申请号:CN200710127840.4

    申请日:2007-06-29

    CPC classification number: H01L21/6734

    Abstract: 基板盒的保持装置包括用于保持具有基板的盒的支撑基底。倾斜器件固定到支撑基底,用于通过将支撑基底旋转90以上,使支撑基底绕水平轴从其中基板顶表面向上设置的水平位置旋转到其中基板顶表面向下设置的过垂直位置。基板盒的储存方法包括几乎水平地在盒中储存基板、将盒固定在支撑基底上、和绕旋转轴使支撑基底如此旋转,即基板旋转到超过90度的角度。

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