各向异性导电膜制造用模具及各向异性导电膜的制造方法

    公开(公告)号:CN1943081A

    公开(公告)日:2007-04-04

    申请号:CN200580011209.7

    申请日:2005-04-11

    Inventor: 直井雅也

    CPC classification number: H01R13/2414 H01R13/03

    Abstract: 一种各向异性导电膜制造用模具及各向异性导电膜的制造方法,可制造出即使在应形成的导电路径形成部的间距很小的情况下,仍具有呈所需导电性能的导电路径形成部,可有效获得相邻的导电路径形成部之间所需的绝缘性的各向异性导电膜。本发明的各向异性导电膜制造用模具,其特征在于:是用于制造具有多个导电路径形成部和绝缘部的各向异性电膜制造用模具,该导电路径形成部由在绝缘性的弹性高分子物质中含有在厚度方向上定向排列的呈磁性的导电性颗粒,该绝缘部由将上述导电路径形成部彼此绝缘的具有绝缘性的弹性高分子物质构成,该模具具有基板、和按照与所述导电路径形成部的图形对应的图形配置在该基板上的强磁性体层,所述基板由弱磁性体材料构成。

    各向异性导电性连接器、其制造方法以及探针构件

    公开(公告)号:CN1246932C

    公开(公告)日:2006-03-22

    申请号:CN02806241.8

    申请日:2002-02-06

    CPC classification number: H01R13/2414 H01R43/007

    Abstract: 提供一种各向异性导电性连接器、其制造方法以及探针构件,通过这种各向异性导电性连接器,即使晶片的面积较大,并且即使以较小的间距排列被检查电路,也可以很容易地在被检查晶片上定位、固定和安装该各向异性导电性连接器,并且,在该各向异性导电性连接器中,对于所有连接用导电部分可以保证实现良好的导电性,并且可以保证在相邻的导电部分之间实现绝缘性。该各向异性导电性连接器包含框板和多个弹性各向异性导电膜,该框板具有与晶片的被检查电极的区域对应而形成的多个各向异性导电膜配置用孔,该弹性各向异性导电膜配置于各个各向异性导电膜配置用孔中并由其周缘部分支撑。每个弹性各向异性导电膜包含功能部分和被支撑部分,该功能部分包含多个导电部分和绝缘部分,该导电部分与被检查电极相对应而配置,它包含高密度的表现出磁性的粒子并沿膜的厚度方向延伸,该绝缘部分使这些导电部分相互绝缘,该被支撑部分整体形成于功能部分的周缘部分上并固定于该框板中的用于配置各向异性导电膜的内周缘上,并且该被支撑部分包含表现为磁性的导电性粒子。

    各向异性导电连接器、探测部件和晶片检测设备以及晶片检测方法

    公开(公告)号:CN1762051A

    公开(公告)日:2006-04-19

    申请号:CN200480007646.7

    申请日:2004-02-13

    Inventor: 直井雅也

    CPC classification number: G01R1/0735 G01R1/07378 G01R31/2889 H01R11/01

    Abstract: 这里公开了一种各向异性导电连接器,通过该各向异性导电连接器,即使在晶片具有8英寸或更大直径的大面积和形成的集成电路中的被检测电极的间距很小时,也可以进行与作为检测目标的晶片的定位、保持和固定,确实地实现了所有连接用导电部件的良好导电性,同时,确实地实现了相邻连接用导电部件之间的绝缘性,而且即使重复使用,也可以在长时间内保持良好导电性。本发明的各向异性导电连接器包括弹性各向异性导电膜,每个弹性各向异性导电膜具有功能部件,其中含有导电颗粒并在膜的厚度方向延伸的多个连接用导电部件按照被绝缘部件相互绝缘的状态设置,其中假设弹性各向异性导电膜的功能部件中的连接用导电部件的厚度为T1,功能部件中的绝缘部件的厚度为T2,则比值(T2/T1)至少为0.9。

    各向异性导电连接器,探针元件,和晶片检测仪器及晶片检测方法

    公开(公告)号:CN1675755A

    公开(公告)日:2005-09-28

    申请号:CN03818910.0

    申请日:2003-08-07

    Abstract: 本发明公开了一种各向异性导电连接器及其应用,通过它,可在长时间段上保持良好的导电性,即使其被重复使用多次,或在高温环境下重复使用。该各向异性导电连接器是具有弹性各向异性导电膜的各向异性导电连接器,其中形成有多个在膜厚度方向延伸的用于连接的导电部件。该弹性各向异性导电膜具有初始特性,假定用于连接的导电部件的总的数目是Y,该用于连接的导电部件的电阻是R1g,该用于连接的导电部件处于这样的状态,即Y×1g的负荷在厚度方向上施加到其中弹性各向异性导电膜上,和用于连接的导电部件的电阻是R6g,该用于连接的导电部件处于这样的状态,即Y×6g的负荷在厚度方向上施加到其中弹性各向异性导电膜上,电阻R1g的值低于1Ω的用于连接的导电部件的数目至少为总的用于连接的导电部件的数目的90%,电阻R6g的值低于0.1Ω的用于连接的导电部件的数目至少为总的用于连接的导电部件的数目的95%,电阻R6g的值至少为0.5Ω的用于连接的导电部件的数目至多为总的用于连接的导电部件的数目的1%。

    各向异性导电性连接器、其制造方法以及探针构件

    公开(公告)号:CN1496597A

    公开(公告)日:2004-05-12

    申请号:CN02806241.8

    申请日:2002-02-06

    CPC classification number: H01R13/2414 H01R43/007

    Abstract: 提供一种各向异性导电性连接器、其制造方法以及探针构件,通过这种各向异性导电性连接器,即使晶片的面积较大,并且即使以较小的间距排列被检查电路,也可以很容易地在被检查晶片上定位、固定和安装该各向异性导电性连接器,并且,在该各向异性导电性连接器中,对于所有连接用导电部分可以保证实现良好的导电性,并且可以保证在相邻的导电部分之间实现绝缘性。该各向异性导电性连接器包含框板和多个弹性各向异性导电膜,该框板具有与晶片的被检查电极的区域对应而形成的多个各向异性导电膜配置用孔,该弹性各向异性导电膜配置于各个各向异性导电膜配置用孔中并由其周缘部分支撑。每个弹性各向异性导电膜包含功能部分和被支撑部分,该功能部分包含多个导电部分和绝缘部分,该导电部分与被检查电极相对应而配置,它包含高密度的表现出磁性的粒子并沿膜的厚度方向延伸,该绝缘部分使这些导电部分相互绝缘,该被支撑部分整体形成于功能部分的周缘部分上并固定于该框板中的用于配置各向异性导电膜的内周缘上,并且该被支撑部分包含表现为磁性的导电性粒子。

    各向异性导电连接器、探测部件和晶片检测设备以及晶片检测方法

    公开(公告)号:CN100359659C

    公开(公告)日:2008-01-02

    申请号:CN200480007646.7

    申请日:2004-02-13

    Inventor: 直井雅也

    CPC classification number: G01R1/0735 G01R1/07378 G01R31/2889 H01R11/01

    Abstract: 这里公开了一种各向异性导电连接器,通过该各向异性导电连接器,即使在晶片具有8英寸或更大直径的大面积和形成的集成电路中的被检测电极的间距很小时,也可以进行与作为检测目标的晶片的定位、保持和固定,确实地实现了所有连接用导电部件的良好导电性,同时,确实地实现了相邻连接用导电部件之间的绝缘性,而且即使重复使用,也可以在长时间内保持良好导电性。本发明的各向异性导电连接器包括弹性各向异性导电膜,每个弹性各向异性导电膜具有功能部件,其中含有导电颗粒并在膜的厚度方向延伸的多个连接用导电部件按照被绝缘部件相互绝缘的状态设置,其中假设弹性各向异性导电膜的功能部件中的连接用导电部件的厚度为T1,功能部件中的绝缘部件的厚度为T2,则比值(T2/T1)至少为0.9。

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