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公开(公告)号:CN109313116B
公开(公告)日:2021-11-05
申请号:CN201680083711.7
申请日:2016-12-12
Applicant: J.A.伍兰牡股份有限公司
IPC: G01N15/08
Abstract: 用于研究多孔有效衬底表面的光学性质的变化的系统和方法,所述光学性质涉及例如有效表面深度和折射率、孔径、孔体积和大气压力下的孔径分布。
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公开(公告)号:CN111542734B
公开(公告)日:2023-04-28
申请号:CN201880078130.3
申请日:2018-12-10
Applicant: J.A.伍兰牡股份有限公司
Inventor: G·A·P·霍沃尔卡 , J·A·范德斯利斯
Abstract: 快照椭圆偏振仪或偏振计,其不需要时间调制的(一个或多个)元件来测量样品,而是使用一个或多个空间上变化的补偿器(例如,微延迟器阵列和复合棱镜)来改变电磁辐射的测量光束内的偏振状态。在与空间上变化的(一个或多个)补偿器和样品相互作用后,对光束的强度轮廓的分析允许表征样品参数,而无需任何移动光学器件。
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公开(公告)号:CN115335684B
公开(公告)日:2025-02-14
申请号:CN202180022393.4
申请日:2021-12-27
Applicant: J.A.伍兰牡股份有限公司
IPC: G01N21/21 , G01N21/3563 , G01N21/3581 , G01N21/359 , G01J3/00 , G01J3/12 , G01J4/00 , G02F1/35
Abstract: 椭偏计、偏振计、反射计和分光光度计系统包括一个或多个波长修改器,其将由电磁辐射源提供的波长转换为用于在调查样品中使用的不同的波长,和/或其检测器可以检测的波长。
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公开(公告)号:CN115335684A
公开(公告)日:2022-11-11
申请号:CN202180022393.4
申请日:2021-12-27
Applicant: J.A.伍兰牡股份有限公司
IPC: G01N21/21 , G01N21/3563 , G01N21/3581 , G01N21/359 , G01J3/00 , G01J3/12 , G01J4/00 , G02F1/35
Abstract: 椭偏计、偏振计、反射计和分光光度计系统包括一个或多个波长修改器,其将由电磁辐射源提供的波长转换为用于在调查样品中使用的不同的波长,和/或其检测器可以检测的波长。
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公开(公告)号:CN111542734A
公开(公告)日:2020-08-14
申请号:CN201880078130.3
申请日:2018-12-10
Applicant: J.A.伍兰牡股份有限公司
Inventor: G·A·P·霍沃尔卡 , J·A·范德斯利斯
Abstract: 快照椭圆偏振仪或偏振计,其不需要时间调制的(一个或多个)元件来测量样品,而是使用一个或多个空间上变化的补偿器(例如,微延迟器阵列和复合棱镜)来改变电磁辐射的测量光束内的偏振状态。在与空间上变化的(一个或多个)补偿器和样品相互作用后,对光束的强度轮廓的分析允许表征样品参数,而无需任何移动光学器件。
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公开(公告)号:CN109313116A
公开(公告)日:2019-02-05
申请号:CN201680083711.7
申请日:2016-12-12
Applicant: J.A.伍兰牡股份有限公司
IPC: G01N15/08
Abstract: 用于研究多孔有效衬底表面的光学性质的变化的系统和方法,所述光学性质涉及例如有效表面深度和折射率、孔径、孔体积和大气压力下的孔径分布。
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