快照椭圆偏振仪
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111542734B

    公开(公告)日:2023-04-28

    申请号:CN201880078130.3

    申请日:2018-12-10

    Abstract: 快照椭圆偏振仪或偏振计,其不需要时间调制的(一个或多个)元件来测量样品,而是使用一个或多个空间上变化的补偿器(例如,微延迟器阵列和复合棱镜)来改变电磁辐射的测量光束内的偏振状态。在与空间上变化的(一个或多个)补偿器和样品相互作用后,对光束的强度轮廓的分析允许表征样品参数,而无需任何移动光学器件。

    快照椭圆偏振仪
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111542734A

    公开(公告)日:2020-08-14

    申请号:CN201880078130.3

    申请日:2018-12-10

    Abstract: 快照椭圆偏振仪或偏振计,其不需要时间调制的(一个或多个)元件来测量样品,而是使用一个或多个空间上变化的补偿器(例如,微延迟器阵列和复合棱镜)来改变电磁辐射的测量光束内的偏振状态。在与空间上变化的(一个或多个)补偿器和样品相互作用后,对光束的强度轮廓的分析允许表征样品参数,而无需任何移动光学器件。

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