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公开(公告)号:CN109313116B
公开(公告)日:2021-11-05
申请号:CN201680083711.7
申请日:2016-12-12
Applicant: J.A.伍兰牡股份有限公司
IPC: G01N15/08
Abstract: 用于研究多孔有效衬底表面的光学性质的变化的系统和方法,所述光学性质涉及例如有效表面深度和折射率、孔径、孔体积和大气压力下的孔径分布。
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公开(公告)号:CN111542734B
公开(公告)日:2023-04-28
申请号:CN201880078130.3
申请日:2018-12-10
Applicant: J.A.伍兰牡股份有限公司
Inventor: G·A·P·霍沃尔卡 , J·A·范德斯利斯
Abstract: 快照椭圆偏振仪或偏振计,其不需要时间调制的(一个或多个)元件来测量样品,而是使用一个或多个空间上变化的补偿器(例如,微延迟器阵列和复合棱镜)来改变电磁辐射的测量光束内的偏振状态。在与空间上变化的(一个或多个)补偿器和样品相互作用后,对光束的强度轮廓的分析允许表征样品参数,而无需任何移动光学器件。
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公开(公告)号:CN115335684B
公开(公告)日:2025-02-14
申请号:CN202180022393.4
申请日:2021-12-27
Applicant: J.A.伍兰牡股份有限公司
IPC: G01N21/21 , G01N21/3563 , G01N21/3581 , G01N21/359 , G01J3/00 , G01J3/12 , G01J4/00 , G02F1/35
Abstract: 椭偏计、偏振计、反射计和分光光度计系统包括一个或多个波长修改器,其将由电磁辐射源提供的波长转换为用于在调查样品中使用的不同的波长,和/或其检测器可以检测的波长。
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公开(公告)号:CN112204377A
公开(公告)日:2021-01-08
申请号:CN201980032934.4
申请日:2019-07-05
Applicant: J.A.伍兰牡股份有限公司
Inventor: G·A·P·霍沃尔卡 , M·M·利普哈特 , G·L·普菲费尔
IPC: G01N21/25
Abstract: 一种样本定位系统,具有在其间具有偏移的两个旋转元件,样本支撑台附接到旋转元件中的第二旋转元件。两个旋转元件的旋转轴平行或基本上平行。样本定位系统在通过诸如反射计、分光光度计和椭偏仪系统之类的计量系统的样本标测中得到应用。
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公开(公告)号:CN105899920B
公开(公告)日:2017-10-31
申请号:CN201580004000.1
申请日:2015-01-20
Applicant: J.A.伍兰牡股份有限公司
IPC: G01J4/00
CPC classification number: G02B17/0621 , G01J1/0411 , G01J1/0414 , G01J4/00 , G01J4/04 , G01N21/21 , G02B19/0023 , G02B19/0076 , G02B27/0012 , G02B27/286
Abstract: 一种反射型光学器件系统(RFO),优选地需要具有射束反射表面的凸面(M3)和凹面(M4)反射镜的存在,其应用实现了将电磁辐射的射束聚焦到样本(OB)上,(其可以沿着与入射射束(IB)的轨迹不同的轨迹),基于来自于所涉及的各个反射镜(M1)(M2)(M3)(M4)的经调整的入射角和反射角,偏振状态对输入射束的偏振状态具有最小化的影响。
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公开(公告)号:CN105899920A
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201580004000.1
申请日:2015-01-20
Applicant: J.A.伍兰牡股份有限公司
IPC: G01J4/00
CPC classification number: G02B17/0621 , G01J1/0411 , G01J1/0414 , G01J4/00 , G01J4/04 , G01N21/21 , G02B19/0023 , G02B19/0076 , G02B27/0012 , G02B27/286
Abstract: 一种反射型光学器件系统(RFO),优选地需要具有射束反射表面的凸面(M3)和凹面(M4)反射镜的存在,其应用实现了将电磁辐射的射束聚焦到样本(OB)上,(其可以沿着与入射射束(IB)的轨迹不同的轨迹),基于来自于所涉及的各个反射镜(M1)(M2)(M3)(M4)的经调整的入射角和反射角,偏振状态对输入射束的偏振状态具有最小化的影响。
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公开(公告)号:CN115335684A
公开(公告)日:2022-11-11
申请号:CN202180022393.4
申请日:2021-12-27
Applicant: J.A.伍兰牡股份有限公司
IPC: G01N21/21 , G01N21/3563 , G01N21/3581 , G01N21/359 , G01J3/00 , G01J3/12 , G01J4/00 , G02F1/35
Abstract: 椭偏计、偏振计、反射计和分光光度计系统包括一个或多个波长修改器,其将由电磁辐射源提供的波长转换为用于在调查样品中使用的不同的波长,和/或其检测器可以检测的波长。
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公开(公告)号:CN111542734A
公开(公告)日:2020-08-14
申请号:CN201880078130.3
申请日:2018-12-10
Applicant: J.A.伍兰牡股份有限公司
Inventor: G·A·P·霍沃尔卡 , J·A·范德斯利斯
Abstract: 快照椭圆偏振仪或偏振计,其不需要时间调制的(一个或多个)元件来测量样品,而是使用一个或多个空间上变化的补偿器(例如,微延迟器阵列和复合棱镜)来改变电磁辐射的测量光束内的偏振状态。在与空间上变化的(一个或多个)补偿器和样品相互作用后,对光束的强度轮廓的分析允许表征样品参数,而无需任何移动光学器件。
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公开(公告)号:CN109313116A
公开(公告)日:2019-02-05
申请号:CN201680083711.7
申请日:2016-12-12
Applicant: J.A.伍兰牡股份有限公司
IPC: G01N15/08
Abstract: 用于研究多孔有效衬底表面的光学性质的变化的系统和方法,所述光学性质涉及例如有效表面深度和折射率、孔径、孔体积和大气压力下的孔径分布。
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