公开(公告)号：CN100349068C

公开(公告)日：2007-11-14

申请号：CN03120082.6

申请日：2003-03-12

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： 丹尼尔·N·加尔伯特

IPC: G03F7/22

CPC classification number: G03F7/70758 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/709

Abstract: 揭示一种微影系统中反应负荷的管理方法、系统及设备。一隔离结构被一非隔离结构支撑，此隔离结构则支撑着一移动台座。一线性马达包括第一线性马达组件及第二线性马达组件，此第一线性马达组件被连接到该移动台座上。藉由多数挠曲板而将第二线性马达组件安装在该隔离结构上，一挠曲杆系连接在隔离结构与第二线性马达组件之间。

公开(公告)号：CN1284290C

公开(公告)日：2006-11-08

申请号：CN200410036817.0

申请日：2004-04-19

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： 丹尼尔·N·加尔伯特

IPC: H02K3/24

CPC classification number: G03F7/70858 ,  G03F7/70758 ,  H02K9/19 ,  H02K9/22 ,  H02K41/02

Abstract: 一种致动器线圈组件，具有产生磁场的跑道状绕组。一冷却管具有流经其的冷却流体，且包围所述跑道状绕组的外围。多个导热条一般设置成横向于至少部分所述跑道状绕组，以将热量自所述跑道状绕组传递给所述冷却管。

公开(公告)号：CN1534382A

公开(公告)日：2004-10-06

申请号：CN200410002057.1

申请日：2004-01-09

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： 丹尼尔·N·加尔伯特

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F1/64 ,  G03F7/70983

Abstract: 一种用以在光刻系统中保持薄膜和模版间的光学缝隙的设备，该设备包含：确定第一和第二相对面的框架，利用磁耦合被连接至第一相对面的模版，和利用磁耦合被连接至第二相对面的薄膜。

公开(公告)号：CN1540839A

公开(公告)日：2004-10-27

申请号：CN200410036817.0

申请日：2004-04-19

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： 丹尼尔·N·加尔伯特

IPC: H02K3/24

CPC classification number: G03F7/70858 ,  G03F7/70758 ,  H02K9/19 ,  H02K9/22 ,  H02K41/02

Abstract: 一种致动器线圈，具有产生磁场的跑道状绕组。一冷却管具有流经其的冷却流体，且包围所述跑道状绕组的外围。多个导热条一般设置成横向于至少部分所述跑道状绕组，以将热量自所述跑道状绕组传递给所述冷却管。

公开(公告)号：CN1497357A

公开(公告)日：2004-05-19

申请号：CN200310102441.4

申请日：2003-10-20

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： 圣地亚哥·德尔普艾尔托 ,  丹尼尔·N·加尔伯特 ,  安德鲁·W·迈克库尔劳奇 ,  斯蒂芬·鲁 ,  约斯特·J·奥滕斯

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/00

Abstract: 一种装置与方法，能够消除冷却剂流经短冲程台座时所产生的震动，且通过维持温度与短冲程台座内的温度扭曲成固定值，而不管入射在标线板上的光化热负载，藉此防止短冲程台座的热引发扭曲之变化。这是通过以下步骤而达成的：(1)透过标线板与短冲程台座零件而传热；(2)将热量从短冲程台座辐射式地传送至长冲程台座；及(3)使用对流及一冷却系统，将热量从长冲程台座发散出去。短冲程台座可以从长冲程台座处磁力漂浮起来，这样的方式没有物理上的接触，但是长冲程台座的移动仍然可以控制短冲程台座的移动。通过与长冲程台座之间无物理上的接触，短冲程台座就不会受到流动的冷却剂所引起在长冲程台座中之震动的影响。