公开(公告)号：CN101925859A

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN200880125250.0

申请日：2008-12-11

Applicant: 麦克德米德股份有限公司

Inventor： J·甘耶伊 ,  D·J·哈特 ,  S·阿博特 ,  M·谢尔登

IPC: G03C1/805

CPC classification number: G03F7/161 ,  G03F7/027 ,  G03F7/092 ,  H05K3/0082 ,  H05K3/064 ,  H05K2201/0108 ,  H05K2203/107

Abstract: 一种用于在干膜抗蚀剂积层体中产生图像的方法。该干膜抗蚀剂积层体依次包含可剥离的顶层、一层干膜抗蚀剂、透明或半透明涂层以及可剥离的底层。从该积层体上剥离该顶层并通过加热和加压将该积层体施加至一表面。之后，在该层干膜抗蚀剂中产生图像，并显影该抗蚀剂以与该透明或半透明涂层一起移除该层光致抗蚀剂的未固化部分。