用于形成金属图案的方法和装置

    公开(公告)号:CN102582254A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201110463175.2

    申请日:2011-12-05

    CPC classification number: B41F17/26 B05C1/0808

    Abstract: 提供用于形成金属图案的方法和装置。该方法中,引发剂和金属图案依次结合在预形成的粘接剂图案之上,所述粘接剂改善了基板和金属之间的粘附和/或连接性能。因此,与引发剂和金属图案直接地形成在基板上而没有粘接剂图案的情况相比,金属图案可以精密地形成而没有不合需要的图案缺失,并且金属互连线和电极可以形成具有改进的电子和/或电气可靠性。粘接剂图案可以使用反向平版印刷法形成,这将带来提高的产率。金属图案可以使用无电的电化学镀法形成,因此可使氧化的金属层还原,改善金属互连线的电气特性。而且,即使在最后的步骤,金属图案可以形成为在厚度和平坦区域的改进的均匀性。

    用于形成金属图案的方法和装置

    公开(公告)号:CN102582254B

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201110463175.2

    申请日:2011-12-05

    CPC classification number: B41F17/26 B05C1/0808

    Abstract: 提供用于形成金属图案的方法和装置。该方法中,引发剂和金属图案依次结合在预形成的粘接剂图案之上,所述粘接剂改善了基板和金属之间的粘附和/或连接性能。因此,与引发剂和金属图案直接地形成在基板上而没有粘接剂图案的情况相比,金属图案可以精密地形成而没有不合需要的图案缺失,并且金属互连线和电极可以形成具有改进的电子和/或电气可靠性。粘接剂图案可以使用反向平版印刷法形成,这将带来提高的产率。金属图案可以使用无电的电化学镀法形成,因此可使氧化的金属层还原,改善金属互连线的电气特性。而且,即使在最后的步骤,金属图案可以形成为在厚度和平坦区域的改进的均匀性。

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