公开(公告)号：CN112589108A

公开(公告)日：2021-04-02

申请号：CN202011355643.X

申请日：2020-11-27

Applicant: 青岛科技大学

Inventor： 杜芳林 ,  谢广文 ,  于立岩 ,  董红周 ,  王莉 ,  杨安丽 ,  王兆波 ,  李桂村 ,  蔺玉胜 ,  陈光岭 ,  白强 ,  陈克正 ,  张志焜 ,  崔作林

IPC: B22F9/06 ,  B22F1/00 ,  H01L23/48 ,  H01L23/52 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了一种二元金属壳层结构微米纳米粒子批量制备方法，在专用设备真空室中，将作为内核结构的高熔点贱金属板块放在阳极平面板上，再将作为壳结构的低熔点贵金属薄片放在高熔点金属板块上面；将真空室抽真空后，充入氩气和氢气，用高熔点金属板块接触引发电弧，使高熔点金属和低熔点金属蒸发产生原子蒸汽并逸出，在蒸汽冷凝过程中，高熔点金属冷凝成内核，之后低熔点金属在其表面产生外壳结构，生成的二元金属壳层结构微米纳米粒子沉积在冷阱上，收集到由贵金属外壳和贱金属内核构成的壳层结构粒子，这种二元壳层结构金属粒子作为高技术封装技术中导电膏的导电相，代表导电浆料发展方向，该方法降低贵金属用量及生产成本，提高贱金属性能。