公开(公告)号：CN1203467C

公开(公告)日：2005-05-25

申请号：CN99105422.9

申请日：1999-04-06

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 佐藤俊彦 ,  横山雅春 ,  洲崎修

IPC: G11B5/127 ,  G03F7/00

CPC classification number: G11B5/3103 ,  G11B5/3106 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/3967 ,  G11B5/6005

Abstract: 本发明涉及磁头滑块的制造方法，具有在夹具上并列放置若干条其侧面有若干薄膜元件的滑块条、且使滑块条的侧面间打开间隙的工序；在放置于上述夹具上的若干条滑块条的表面粘贴第一耐蚀膜或涂敷液体抗蚀剂，用第一耐蚀膜或液体抗蚀剂堵填若干条滑块条之间间隙的准备工序；用显影液将若干条滑块条上的第一耐蚀膜或液体抗蚀剂除去，使堵填于滑块条之间的间隙中的第一耐蚀膜或液体抗蚀剂依然残留的工序；在若干条滑块条的表面、以及堵填上述间隙的第一耐蚀膜或液体抗蚀剂的表面粘贴第二耐蚀膜的工序；对第二耐蚀膜表面进行曝光、显影，形成悬浮面蚀刻图形的工序；以及用上述蚀刻图形对上述若干条滑块条表面进行干蚀刻的工序。

公开(公告)号：CN1232995A

公开(公告)日：1999-10-27

申请号：CN99105422.9

申请日：1999-04-06

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 佐藤俊彦 ,  横山雅春 ,  洲崎修

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G11B5/3103 ,  G11B5/3106 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/3967 ,  G11B5/6005

Abstract: 在滑块条6之间的间隙11中,堵填耐蚀膜12,使上述滑块条6的表面变得平坦。这样,贴在上述滑块条表面的耐蚀膜13的表面就容易变得平坦,且可在上述耐蚀膜13的表面形成尺寸精确的ABS面蚀刻图形。