公开(公告)号：CN105207053B

公开(公告)日：2019-06-04

申请号：CN201510541116.0

申请日：2006-02-17

Applicant: 镁可微波技术有限公司

Inventor： A·A·贝希尔

IPC: H01S5/028 ,  H01S5/22

CPC classification number: H01S5/323 ,  G02F1/17 ,  H01S5/0042 ,  H01S5/0201 ,  H01S5/0202 ,  H01S5/0203 ,  H01S5/028 ,  H01S5/0282 ,  H01S5/16 ,  H01S5/22 ,  H01S5/2214

Abstract: 本发明公开了高可靠性的蚀刻小面光子器件。半导体光子器件表面被覆盖以电介质或金属保护层。保护层覆盖整个器件，包括在有源区小面附近的区域，以保护裸露或未经保护的半导体区，由此形成非常高可靠性蚀刻小面的光子器件。